10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,應(yīng)符合下列要求:1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí),氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時(shí),也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi);4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室。在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是。浙江氣流潔凈室檢測(cè)價(jià)格
9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇,應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求,并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。9.1.2純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi);潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。9.1.3穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管,套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料,不得產(chǎn)生污染物,外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。。。。。。。。。上海電子廠房環(huán)境潔凈室檢測(cè)范圍潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的,潔凈室設(shè)計(jì)必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求,這是理所當(dāng)然的。
5.2.2人員進(jìn)出、材料出入、產(chǎn)品運(yùn)送及設(shè)備、工具搬運(yùn)的頻繁交錯(cuò),不但會(huì)彼此干擾、易發(fā)生混雜、降低生產(chǎn)效率,并可能會(huì)使?jié)崈羰?區(qū))的空氣潔凈度受到影響和氣流受到破壞。因此,在工藝布局時(shí),應(yīng)充分考慮人員、物料設(shè)備,有各自的出入口。人員入口處的凈化設(shè)施包括單人吹淋室、多人吹淋室、通道式吹淋室、氣閘室等,具體選用何種形式,需根據(jù)潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)、人員數(shù)量、未來發(fā)展需求等確定。物料凈化設(shè)施包括貨物吹淋室、氣閘室、壓縮空氣吹掃頭等,一般可根據(jù)物料種類、包裝方式和潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級(jí)等確定。
7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵,對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高、管理要求嚴(yán)格,因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等),以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng),也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè),如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級(jí)換代快,生產(chǎn)工藝變化多。因此,在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量。層流設(shè)備FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)需每月檢測(cè)風(fēng)速均勻性。
潔凈室應(yīng)急處理與持續(xù)改進(jìn)機(jī)制針對(duì)突發(fā)污染事件(如過濾器泄漏、設(shè)備故障),企業(yè)需制定應(yīng)急預(yù)案并定期演練。例如,某潔凈室發(fā)生HEPA破損時(shí),立即啟動(dòng)負(fù)壓隔離、暫停生產(chǎn)并追溯受影響批次。持續(xù)改進(jìn)方面,可運(yùn)用六西格瑪方法分析污染根因(如人員操作、設(shè)備磨損),并通過PDCA循環(huán)優(yōu)化流程。某企業(yè)通過引入AI驅(qū)動(dòng)的環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng),實(shí)時(shí)預(yù)測(cè)污染風(fēng)險(xiǎn)并自動(dòng)調(diào)整送風(fēng)量,使?jié)崈舳冗_(dá)標(biāo)率提升至99.8%。此外,需建立跨部門協(xié)作機(jī)制(如工程部、QA、生產(chǎn)部),共享環(huán)境數(shù)據(jù)并協(xié)同解決問題,確保潔凈室長期穩(wěn)定運(yùn)行。潔凈室檢測(cè)報(bào)告需包含采樣點(diǎn)地圖及異常數(shù)據(jù)溯源。北京壓差潔凈室檢測(cè)
單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動(dòng)。浙江氣流潔凈室檢測(cè)價(jià)格
C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測(cè)項(xiàng)目,對(duì)安裝的過濾器進(jìn)行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測(cè)已獲得業(yè)主認(rèn)可,在緊接著的潔凈度項(xiàng)目檢測(cè)過程中,可進(jìn)行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時(shí),宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測(cè)項(xiàng)目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并;過濾系統(tǒng)檢漏費(fèi)時(shí)、費(fèi)人力,整個(gè)潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時(shí)間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計(jì)法”和“離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)法”。氣溶膠光度計(jì)是測(cè)量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度,而離散粒子計(jì)數(shù)器是測(cè)量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑,2種方法獲得的結(jié)果不能進(jìn)行直接比較。浙江氣流潔凈室檢測(cè)價(jià)格