潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級(jí)的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場(chǎng)所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級(jí)要求相同的工序或工作室相對(duì)集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中,在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時(shí),應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室,一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等。對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測(cè)流程
空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量;3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段;4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端;5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近;6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近;7對(duì)化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置;8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用;2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置,3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié);5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時(shí),外殼強(qiáng)度應(yīng)滿足檢修要求。半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測(cè)方法管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行,應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì)、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí),應(yīng)符合下列規(guī)定:1總平面布置時(shí),應(yīng)核實(shí)相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備、儀器的振動(dòng)影響;2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房,其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì);3對(duì)設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道,應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施;4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器,經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí),應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施。
9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制,這就要求在達(dá)到同一照度值情況下,安裝燈具的個(gè)數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,而且發(fā)熱量小,有利于空調(diào)節(jié)能。此外,潔凈室天然采光少,在選用光源時(shí)還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光,熒光燈基本能滿足這一要求。因此,目前國(guó)內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當(dāng)有些潔凈室層高較高,采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計(jì)照度值,在此情況下,可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對(duì)光源光色有特殊要求,或熒光燈對(duì)生產(chǎn)工藝和測(cè)試設(shè)備有干擾時(shí),也可采用其他形式光源。當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí),選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí),選用亂流流型。
隨著生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì)的不斷提高,甚至到了理論純水的程度,尤其是集成電路的發(fā)展不但對(duì)水中電解質(zhì)的含量要求極其嚴(yán)格,而且對(duì)細(xì)菌、微粒、有機(jī)物及溶解氧等都有極其嚴(yán)格的要求;醫(yī)藥工業(yè)中要求供應(yīng)的注射用水,對(duì)水中含菌量、熱源均有嚴(yán)格要求。除了嚴(yán)格的純水制造過程外,純水輸送管道的管材選擇和管網(wǎng)設(shè)計(jì)是保證使用點(diǎn)水質(zhì)的關(guān)鍵。實(shí)踐證明,采用循環(huán)供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內(nèi)的流速和盡量減少不循環(huán)段的死水區(qū),以減少純水在管道內(nèi)的停留時(shí)間,減少管道材料微量溶出物(即使目前質(zhì)量比較好的管道也會(huì)有微量物質(zhì)溶出)對(duì)超純水水質(zhì)的影響,同時(shí),基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止細(xì)菌微生物的滋生。嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。江蘇溫濕度潔凈室檢測(cè)頻率
潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行控制的密閉性較好的空間。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測(cè)流程
C.1.3已裝過濾系統(tǒng)其過濾器檢漏C.1.3.1**的檢測(cè)項(xiàng)目,對(duì)安裝的過濾器進(jìn)行檢漏。C.1.3.2調(diào)試過程中承建商的檢測(cè)已獲得業(yè)主認(rèn)可,在緊接著的潔凈度項(xiàng)目檢測(cè)過程中,可進(jìn)行抽檢或免檢。C.1.3.3有條件時(shí),宜將過濾系統(tǒng)安裝調(diào)試過程的檢漏與檢測(cè)項(xiàng)目中**的過濾系統(tǒng)檢漏合并;過濾系統(tǒng)檢漏費(fèi)時(shí)、費(fèi)人力,整個(gè)潔凈室建造過程中只給出一定的作業(yè)時(shí)間周期。C.1.4檢漏方法檢漏方法通常有“氣溶膠光度計(jì)法”和“離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)法”。氣溶膠光度計(jì)是測(cè)量空氣中懸浮粒子的質(zhì)量濃度,而離散粒子計(jì)數(shù)器是測(cè)量空氣中懸浮粒子的數(shù)量和粒徑,2種方法獲得的結(jié)果不能進(jìn)行直接比較。安徽醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測(cè)流程