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近年來,國內(nèi)設(shè)計(jì)、建造的潔凈廠房,一般是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或潔凈廠房的布局情況按相鄰潔凈室(區(qū))的潔凈度等級確定潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級,還有一些潔凈廠房雖然沒有對潔凈工作服更衣室、潔凈工作服洗滌室提出空氣潔凈度等級要求,但室內(nèi)采用高效空氣過濾送風(fēng)系統(tǒng),或?qū)崈羰覂?nèi)的凈化空氣部分地引人更衣室、潔凈工作服洗滌室。為此,本次修訂時對潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈區(qū)1級~2級和“潔凈服洗滌室的空氣潔凈度等級不宜低于8級”的規(guī)定取消,修改為將更衣室與潔凈工作服洗滌室對空氣凈化要求的相關(guān)內(nèi)容的規(guī)定合并在一條內(nèi):“宜根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級確定”。不再規(guī)定具體的“等級”或“等級范圍”。潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級別的可供人活動的空間。上海潔凈室檢測公司
1近年來,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造、設(shè)計(jì)中,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),實(shí)際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,實(shí)際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。上海實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測頻率干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。
1凈鞋的目的在于保護(hù)人員凈化用室入口處不致受到嚴(yán)重污染。國內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。為了保護(hù)人員凈化用室的清潔,**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去,換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度,其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮,換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分,避免了清潔鞋被外出鞋污染,如跨越鞋柜式換鞋,清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。
D.3.10自凈時間檢測,應(yīng)符合下列規(guī)定:1自凈時間的檢測,宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測,同時應(yīng)符合下列要求.1)以大氣塵為基準(zhǔn)時,則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時間,在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī),定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時間(t)。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時,應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī),方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n),可得到計(jì)算自凈時間(to),與實(shí)測自凈時間(t)進(jìn)行對比,如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機(jī),再啟動回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)。
7.4.2風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用;2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié);5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,外殼強(qiáng)度應(yīng)滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩;2層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用;3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定;4安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。工業(yè)潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。壓差潔凈室檢測服務(wù)至上
有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。上海潔凈室檢測公司
9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制,這就要求在達(dá)到同一照度值情況下,安裝燈具的個數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,而且發(fā)熱量小,有利于空調(diào)節(jié)能。此外,潔凈室天然采光少,在選用光源時還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光,熒光燈基本能滿足這一要求。因此,目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當(dāng)有些潔凈室層高較高,采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計(jì)照度值,在此情況下,可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求,或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時,也可采用其他形式光源。上海潔凈室檢測公司