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在互連層的連續(xù)上表面正上方形成多個(gè)底電極通孔。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。在步驟中。在多個(gè)底電極通孔正上方形成多個(gè)mtj器件。多個(gè)mtj器件包括工作mtj器件和一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。在步驟中,在多個(gè)mtj器件正上方形成多個(gè)頂電極通孔。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。在步驟中,在多個(gè)頂電極通孔上方形成具有多個(gè)互連結(jié)構(gòu)的互連層。多個(gè)互連結(jié)構(gòu)限定位線和一條或多條字線。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。步驟至在襯底上方形成存儲(chǔ)單元。在一些實(shí)施例中,可以重復(fù)步驟至(如步驟所示)以在存儲(chǔ)單元上方形成存儲(chǔ)單元。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。雖然方法描述了包括具有調(diào)節(jié)訪問裝置(包括mtj器件)的存儲(chǔ)單元(例如,mram單元)的方法存儲(chǔ)器電路,但是應(yīng)該理解,在其它實(shí)施例中,調(diào)節(jié)裝置可以包括電阻器(例如,薄膜電阻器)。在這樣的實(shí)施例中,工作mtj器件可以通過組操作(在步驟中)形成,而包括電阻器的調(diào)節(jié)裝置可以通過組單獨(dú)的操作(在步驟和步驟之間發(fā)生)形成。例如,在工作mtj的形成(在步驟中)之后,可以通過一個(gè)或多個(gè)沉積和蝕刻工藝形成電阻器。因此,在一些實(shí)施例中。涉及不具有驅(qū)動(dòng)晶體管(即。電路設(shè)計(jì)的模塊化方法確保了快速采用標(biāo)準(zhǔn)化集成電路代替了設(shè)計(jì)使用離散晶體管;沈陽通用集成電路價(jià)格
連接至字線wl和wl的工作mtj器件也不受寫入操作的步驟的影響。b的示意圖所示,通過將數(shù)據(jù)狀態(tài)寫入存儲(chǔ)器陣列的行中的存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件來實(shí)施寫入操作的步驟。通過將非零偏置電壓v(例如,v)施加至字線wl和wl,將非零偏置電壓v(例如,v)施加至位線bl和bl并且將第三偏置電壓v(例如,v)施加至位線bl來實(shí)施寫入操作的步驟。非零偏置電壓v(例如,v)和第三偏置電壓v(例如,v)之間的差異使得電流i流過存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件。電流i小于切換電流isw,使得存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件的狀態(tài)不變。然而,電流i(其流過存儲(chǔ)單元a。內(nèi)的工作mtj器件)的兩倍大于切換電流isw,以將數(shù)據(jù)狀態(tài)寫入存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件。存儲(chǔ)單元a,和第三存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件不受寫入操作的步驟的影響,因?yàn)榉橇闫秒妷簐(例如,v)和非零偏置電壓v。例如,v)之間的差異使得小于切換電流的電流i流過存儲(chǔ)單元a,和第三存儲(chǔ)單元a。內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件。然而,電流i的兩倍小于切換電流isw,使得沒有將數(shù)據(jù)狀態(tài)寫入至存儲(chǔ)單元a,和第三存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件。圖c示出了示出從工作mtj器件讀取數(shù)據(jù)狀態(tài)的讀取操作的示意圖的一些實(shí)施例。如示意圖所示,通過將非零偏置電壓v(例如。珠海數(shù)字集成電路企業(yè)大規(guī)模集成電路:邏輯門101~1k個(gè)或 晶體管1,001~10k個(gè)。
v)施加至字線wl,對(duì)存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件實(shí)施讀取操作。非零偏置電壓v將使得讀取電流ir通過存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件。通過工作mtj器件的讀取電流ir具有取決于工作mtj器件的電阻狀態(tài)的值。例如,工作mtj器件處于低電阻狀態(tài)(例如,存儲(chǔ)邏輯“”)時(shí)的讀取電流ir將大于工作mtj器件處于高電阻狀態(tài)(例如,存儲(chǔ)邏輯“”)的讀取電流ir。在一些實(shí)施例中,位線解碼器可以包括多路復(fù)用器,多路復(fù)用器被配置為確定存儲(chǔ)器陣列的期望輸出。多路復(fù)用器被配置為將來自存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件的讀取電流ir選擇性地提供給感測(cè)放大器。感測(cè)放大器被配置為比較ir與由電流源產(chǎn)生的參考電流iref,以確定存儲(chǔ)在存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件中的數(shù)據(jù)狀態(tài)。圖a示出了對(duì)應(yīng)于圖的存儲(chǔ)器陣列的集成芯片的一些實(shí)施例的截面圖。集成芯片包括布置在襯底上方的介電結(jié)構(gòu)。介電結(jié)構(gòu)圍繞存儲(chǔ)單元a,和存儲(chǔ)單元b,,存儲(chǔ)單元b,鄰近于存儲(chǔ)單元a,橫向定位。介電結(jié)構(gòu)還圍繞多個(gè)導(dǎo)電互連層a至c。在一些實(shí)施例中,介電結(jié)構(gòu)可以包括多個(gè)堆疊的ild層。在各個(gè)實(shí)施例中,多個(gè)堆疊的ild層可以包括氧化硅、氟摻雜的氧化硅、碳摻雜的氧化硅等的一種或多種。在各個(gè)實(shí)施例中。
圖3示出了印刷電路板202、集成電路204a、204b、熱接口材料206a、206b的層、散熱器板208a、208b以及彈性夾210a、210b、210c。所公開的技術(shù)的特別值得注意的特征包括散熱器板208的頂表面302,所述頂表面由越過印刷電路板202的與連接側(cè)304相對(duì)的側(cè)延伸的一個(gè)或多個(gè)側(cè)板208形成。這些特征將在下面更詳細(xì)地討論。圖4a示出了根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的兩個(gè)相同的印刷電路裝配件400a和400b。印刷電路裝配件400a和400b中的每個(gè)包括系統(tǒng)板402,多個(gè)印刷電路板插座平行地安裝在系統(tǒng)板上,所述印刷電路板插座中的一個(gè)印刷電路板插座標(biāo)記為404。冷卻管406鄰接地且平行于每個(gè)印刷電路板插座404地安裝。熱接口材料層408在冷卻管的與系統(tǒng)板402相對(duì)的一側(cè)布置在每個(gè)冷卻管406上,并且熱耦聯(lián)至該冷卻管406。多個(gè)雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件電耦聯(lián)至系統(tǒng)板402,所述雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件中的一個(gè)雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件標(biāo)記為200。特別地,每個(gè)雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件200的連接側(cè)304布置在印刷電路板插座404中的一個(gè)印刷電路板插座中。當(dāng)所述兩個(gè)印刷電路裝配件400a和400b相對(duì)地放置在一起,如圖4b中所示出的那樣??孔V的深圳市美信美科技有限公司,只做原裝進(jìn)口集成電路。
存取晶體管)用于在讀取和/或?qū)懭氩僮髌陂g選擇性地向相關(guān)的mtj器件提供電壓和/或電流。因?yàn)閙ram單元通常對(duì)寫入操作使用相對(duì)高的電壓和/或電流,所以驅(qū)動(dòng)晶體管的尺寸可能相對(duì)較大。雖然可以使mram單元的mtj具有小的尺寸,但是相對(duì)大尺寸的驅(qū)動(dòng)晶體管限制了存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的小型ram單元可以縮小的程度。在一些實(shí)施例中,涉及集成芯片,該集成芯片包括具有多個(gè)存儲(chǔ)單元(例如,mram單元)的存儲(chǔ)器陣列,存儲(chǔ)單元不包括驅(qū)動(dòng)晶體管(即,不使用驅(qū)動(dòng)晶體管來對(duì)存儲(chǔ)單元提供電壓和/或電流)。而且,多個(gè)存儲(chǔ)單元分別包括調(diào)節(jié)訪問裝置。該調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為選擇性地對(duì)存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的工作mtj器件提供訪問。調(diào)節(jié)訪問裝置具有連接至工作mtj器件的一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件。一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件被配置為通過控制(即。調(diào)節(jié))提供給工作mtj器件的電流來選擇性地對(duì)工作mtj器件提供訪問。通過使用調(diào)節(jié)訪問裝置來選擇性地對(duì)存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的工作mtj器件提供訪問,可以減小存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的存儲(chǔ)單元(例如。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR。2020年我國(guó)集成電路產(chǎn)量達(dá)2612.6億塊,同比增長(zhǎng)16.2%。南京中規(guī)模集成電路技術(shù)
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調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為通過控制提供給工作mtj器件的電流來選擇性地對(duì)存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)工作mtj器件提供訪問。在一些實(shí)施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置可以包括一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件,一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件分別包括mtj,mtj具有通過介電遂穿阻擋層b與自由層b分隔開的固定層b。例如,在一些實(shí)施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置可以包括與相關(guān)的工作mtj器件連接的并聯(lián)連接的調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件。在一些實(shí)施例中。調(diào)節(jié)mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和工作mtj器件分別包括mtj,mtj具有通過介電遂穿阻擋層與自由層分隔開的固定層。在一些實(shí)施例中,固定層可以包括鈷(co)、鐵(fe)、硼(b)、鎳(ni)、釕(ru)、銥(ir)、鉑。pt)等。在一些實(shí)施例中,介電遂穿阻擋層可以包括氧化鎂(mgo)、氧化鋁(alo)等。在一些實(shí)施例中,自由層可以包括鈷(co)、鐵(fe)、硼(b)等。在其它實(shí)施例中,調(diào)節(jié)訪問裝置可以包括一個(gè)或多個(gè)電阻器(例如,包括氮化鉭、鉭、氮化鈦、鈦、鎢等的薄膜電阻器)。例如。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR。沈陽通用集成電路價(jià)格