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在互連層的連續(xù)上表面正上方形成多個(gè)底電極通孔。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。在步驟中。在多個(gè)底電極通孔正上方形成多個(gè)mtj器件。多個(gè)mtj器件包括工作mtj器件和一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。在步驟中,在多個(gè)mtj器件正上方形成多個(gè)頂電極通孔。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。在步驟中,在多個(gè)頂電極通孔上方形成具有多個(gè)互連結(jié)構(gòu)的互連層。多個(gè)互連結(jié)構(gòu)限定位線和一條或多條字線。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。步驟至在襯底上方形成存儲(chǔ)單元。在一些實(shí)施例中,可以重復(fù)步驟至(如步驟所示)以在存儲(chǔ)單元上方形成存儲(chǔ)單元。出了對(duì)應(yīng)于步驟的一些實(shí)施例的截面圖。雖然方法描述了包括具有調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置(包括mtj器件)的存儲(chǔ)單元(例如,mram單元)的方法存儲(chǔ)器電路,但是應(yīng)該理解,在其它實(shí)施例中,調(diào)節(jié)裝置可以包括電阻器(例如,薄膜電阻器)。在這樣的實(shí)施例中,工作mtj器件可以通過(guò)組操作(在步驟中)形成,而包括電阻器的調(diào)節(jié)裝置可以通過(guò)組單獨(dú)的操作(在步驟和步驟之間發(fā)生)形成。例如,在工作mtj的形成(在步驟中)之后,可以通過(guò)一個(gè)或多個(gè)沉積和蝕刻工藝形成電阻器。因此,在一些實(shí)施例中。涉及不具有驅(qū)動(dòng)晶體管(即。集成電路產(chǎn)業(yè)還甚至延伸至設(shè)備、材料市場(chǎng)。東莞混合集成電路排名
圖至圖中公開(kāi)的結(jié)構(gòu)不限于這種方法,而且可以作為于該方法的結(jié)構(gòu)而單獨(dú)存在。的截面圖所示,在襯底上方形成互連層a。在一些實(shí)施例中,通過(guò)在襯底上方形成層間介電(ild)層來(lái)形成互連層a。在一些實(shí)施例中,ild層可以通過(guò)一個(gè)或多個(gè)附加介電層與襯底分隔開(kāi)。圖案化ild層以限定溝槽。在一些實(shí)施例中,可以通過(guò)在ild層上方形成圖案化的掩模層(未示出)并且實(shí)施蝕刻工藝來(lái)去除ild層的未由圖案化的掩模層覆蓋的各部分來(lái)圖案化ild層。在溝槽內(nèi)形成導(dǎo)電材料,以及隨后是平坦化工藝(例如?;瘜W(xué)機(jī)械平坦化工藝)以形成互連層a。在各個(gè)實(shí)施例中,襯底可以是任何類型的半導(dǎo)體主體(例如。硅、sige、soi等),諸如半導(dǎo)體晶圓和/或晶圓上的一個(gè)或多個(gè)管芯,以及任何與其相關(guān)的其它類型的半導(dǎo)體和/或外延層。在一些實(shí)施例中,ild層可以包括一種或多種介電材料,諸如二氧化硅(sio)、sicoh、氟硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃(例如,硼磷硅酸鹽玻璃)等。在一些實(shí)施例中,導(dǎo)電材料可以包括通過(guò)沉積工藝(例如,cvd、pvd、pe-cvd、ald等)形成的金屬(例如,鎢、鋁等)。在各個(gè)實(shí)施例中,互連層a可以是互連線層、互連層、第三互連線層或更高金屬互連線層。的截面圖所示。南京集成電路公司集成電路的分類方法依照電路屬模擬,可以分為:模擬集成電路、數(shù)字集成電路和混合信號(hào)集成電路.
該方法包括在襯底上方形成互連層;在互連層正上方形成多個(gè)mtj器件,多個(gè)mtj器件包括工作mtj器件和一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件,調(diào)節(jié)mtj器件被配置為選擇性地控制流至工作mtj器件的電流;以及在多個(gè)mtj器件上方形成互連層,互連層和互連層中的一個(gè)或兩個(gè)限定位線和一條或多條字線。在一些實(shí)施例中,一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件分別包括固定層、自由層和設(shè)置在固定層和自由層之間的介電阻擋層。在一些實(shí)施例中,該方法還包括同時(shí)形成工作mtj器件和一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件。上面概述了若干實(shí)施例的特征。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢(shì)服務(wù),誠(chéng)信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢(shì)的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長(zhǎng)期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場(chǎng)客戶提供優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品服務(wù)。
深圳市美信美科技有限公司于年月日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本申請(qǐng)涉及一種集成電路封裝結(jié)構(gòu),尤其是集成電路的小型化與高功率密度化的封裝結(jié)構(gòu)。背景技術(shù):集成電路在滿足摩爾定律的基礎(chǔ)上尺寸越做越小。尺寸越小,技術(shù)進(jìn)步越困難。而設(shè)備的智能化,小型化,功率密度的程度越來(lái)越高,為解決設(shè)備小型化,智能化,超高功率密度這些問(wèn)題,不但需要提升各種功能的管芯的功能,效率,縮小其面積,體積;還需要在封裝技術(shù)層面上完成小型化,集成化,高功率密度化等技術(shù)要求,并解決由此帶來(lái)的集成電路的散熱問(wèn)題,生產(chǎn)工藝復(fù)雜,生產(chǎn)周期長(zhǎng),生產(chǎn)成本高等問(wèn)題?,F(xiàn)有很多集成電路封裝結(jié)構(gòu),有沿用常規(guī)的封裝方式,采用框架安裝各種管芯,采用線材鍵合作電氣聯(lián)結(jié),在功率較大時(shí),常常采用較粗的鍵合線和較多的鍵合線。此類封裝方式有比如ipm模組的dip封裝,單顆mosfet的to封裝等,此類封裝體積通常都比較大。不適宜小型化應(yīng)用。先進(jìn)的集成電路是微處理器或多核處理器的關(guān)鍵,可以控制計(jì)算機(jī)到手機(jī)到數(shù)字微波爐的一切。
圖2a和圖2b示出了根據(jù)一個(gè)實(shí)施例的雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件200。圖2a是雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件200在其裝配狀態(tài)下的圖。雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件200的分解圖在圖2b中示出。雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件200包括印刷電路板202,印刷電路板202上安裝有一個(gè)或多個(gè)集成電路(一般地以204示出)。印刷電路板202一般是雙側(cè)的,集成電路204安裝在印刷電路板202的兩側(cè)上。熱接口材料206a、206b的層熱耦聯(lián)至集成電路204。一種常見(jiàn)的熱接口材料是熱間隙墊。然而,可以使用其他的熱接口材料,例如,使用諸如導(dǎo)熱膏及類似物。在所描繪的實(shí)施例中,具有一對(duì)側(cè)板208a、208b的能夠移除的散熱器與熱接口材料206a、206b的層物理接觸,并且因此所述散熱器熱耦聯(lián)至所述熱接口材料206a、206b。側(cè)板208a、208b可以由鋁制成。然而,可以使用其他材料來(lái)形成側(cè)板208a、208b,例如,使用諸如不銹鋼或類似物來(lái)形成側(cè)板。為了降造成本,側(cè)板208a、208b可以是相同的。能夠移除的一個(gè)或多個(gè)彈性?shī)A210a、210b、210c、210d可以定位在側(cè)板208a、208b周圍,以將側(cè)板壓靠在熱接口材料206a、206b上,以確保合適的熱耦聯(lián)。圖3示出了圖2的雙列直插式存儲(chǔ)模塊組件200的一側(cè)的視圖。集成電路哪家好?深圳美信美好!常州模擬集成電路IC
大規(guī)模集成電路:邏輯門101~1k個(gè)或 晶體管1,001~10k個(gè)。東莞混合集成電路排名
國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖是本申請(qǐng)的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖示出依據(jù)本申請(qǐng)一實(shí)施例的單芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu);圖示出依據(jù)本申請(qǐng)另一實(shí)施例的雙芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu)。具體實(shí)現(xiàn)方式為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本申請(qǐng)方案,下面將結(jié)合本申請(qǐng)實(shí)施例中的附圖,對(duì)本申請(qǐng)實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本申請(qǐng)一部分的實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒旧暾?qǐng)中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都應(yīng)當(dāng)屬于本申請(qǐng)保護(hù)的范圍。下面結(jié)合本申請(qǐng)實(shí)施例的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案描述如下。圖示出依據(jù)本申請(qǐng)一實(shí)施例的單芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu),包括上基板、元件及下基板。上基板上的上層金屬層、下層金屬層以及下層金屬層上的聯(lián)結(jié)pad6、、。東莞混合集成電路排名