mram單元),各存儲單元具有被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。雖然關(guān)于方法描述了圖至圖,但是應(yīng)該理解,圖至圖中公開的結(jié)構(gòu)不限于這種方法,而且可以作為于該方法的結(jié)構(gòu)而單獨存在。的截面圖所示,在襯底上方形成互連層a。在一些實施例中,通過在襯底上方形成層間介電(ild)層來形成互連層a。在一些實施例中,ild層可以通過一個或多個附加介電層與襯底分隔開。圖案化ild層以限定溝槽。在一些實施例中,可以通過在ild層上方形成圖案化的掩模層(未示出)并且實施蝕刻工藝來去除ild層的未由圖案化的掩模層覆蓋的各部分來圖案化ild層。在溝槽內(nèi)形成導(dǎo)電材料,以及隨后是平坦化工藝(例如。化學(xué)機(jī)械平坦化工藝)以形成互連層a。在各個實施例中,襯底可以是任何類型的半導(dǎo)體主體(例如,硅、sige、soi等),諸如半導(dǎo)體晶圓和/或晶圓上的一個或多個管芯,以及任何與其相關(guān)的其它類型的半導(dǎo)體和/或外延層。在一些實施例中,ild層可以包括一種或多種介電材料,諸如二氧化硅(sio)、sicoh、氟硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃(例如,硼磷硅酸鹽玻璃)等。在一些實施例中,導(dǎo)電材料可以包括通過沉積工藝(例如,cvd、pvd、pe-cvd、ald等)形成的金屬(例如,鎢、鋁等)。當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)大多數(shù)應(yīng)用的是基于硅的集成電路;長沙數(shù)字集成電路企業(yè)
國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本申請的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖示出依據(jù)本申請一實施例的單芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu);圖示出依據(jù)本申請另一實施例的雙芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu)。具體實現(xiàn)方式為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本申請方案,下面將結(jié)合本申請實施例中的附圖,對本申請實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚地描述,顯然,所描述的實施例是本申請一部分的實施例,而不是全部的實施例。基于本申請中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都應(yīng)當(dāng)屬于本申請保護(hù)的范圍。下面結(jié)合本申請實施例的附圖,對本實用新型實施例的技術(shù)方案描述如下。圖示出依據(jù)本申請一實施例的單芯片集成電路封裝結(jié)構(gòu),包括上基板、元件及下基板。上基板上的上層金屬層、下層金屬層以及下層金屬層上的聯(lián)結(jié)pad6、、。廣東射頻集成電路排名靠譜集成電路,找深圳美信美科技幫你解決。
深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù),誠信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)?;ミB層從工作mtj器件正下方連續(xù)延伸至調(diào)節(jié)mtj器件正下方。在一些實施例中,集成電路還包括連接在字線和工作mtj器件之間的調(diào)節(jié)mtj器件,字線和字線連接至字線解碼器。在一些實施例中,調(diào)節(jié)mtj器件與調(diào)節(jié)mtj器件具有不同的尺寸。在一些實施例中。集成電路還包括連接在位線和工作mtj器件之間的調(diào)節(jié)mtj器件,字線連接至字線解碼器并且位線連接至位線解碼器。在一些實施例中。集成電路還包括連接在調(diào)節(jié)mtj器件和工作mtj器件之間的偏置電壓線,偏置電壓線連接至偏置電路,偏置電路被配置為選擇性地將偏置電壓施加至偏置電壓線。在又一些其它實施例中,涉及一種形成集成電路的方法。
在互連層a的上表面上方形成多個底電極通孔。多個底電極通孔由介電層圍繞。在一些實施例中,介電層可以沉積在互連層a上方,并且然后選擇性地被圖案化以限定底電極通孔開口。然后通過在底電極通孔開口內(nèi)的沉積工藝形成多個底電極通孔。在各個實施例中,介電層可以包括碳化硅、富硅氧化物、teos(正硅酸乙酯)等的一種或多種。在各個實施例中,多個底電極通孔可以包括導(dǎo)電材料,諸如鈦、氮化鈦、鉭等。在多個底電極通孔上方形成多個mtj器件、和。多個mtj器件、和分別包括mtj,mtj具有通過介電遂穿阻擋層與自由層分隔開的固定層。在一些實施例中,固定層可以形成為接觸底電極通孔。在其它實施例中。自由層可以形成為接觸底電極通孔。多個mtj器件、和中的一個包括被配置為存儲數(shù)據(jù)狀態(tài)的工作mtj器件。多個mtj器件、和中的一個或多個包括設(shè)置在調(diào)節(jié)訪問裝置內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件和,調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為控制(即,調(diào)節(jié))提供給相關(guān)的工作mtj器件的電流。在一些實施例中,可以同時形成多個mtj器件、和。例如,在一些實施例中,可以通過在介電層和多個底電極通孔上方沉積磁固定膜。在磁固定膜上方形成介電阻擋膜,并且在介電阻擋膜上方形成磁自由膜來形成多個mtj器件、和。然設(shè)計開發(fā)一個復(fù)雜集成電路的成本非常高,但是當(dāng)分散到通常以百萬計的產(chǎn)品上,每個集成電路的成本極小化。
圖b示出了對應(yīng)于圖a的存儲器電路的集成電路的一些實施例的截面圖。如截面圖所示,調(diào)節(jié)mtj器件具有尺寸(例如。寬度w),并且調(diào)節(jié)mtj器件具有與尺寸不同的尺寸(例如,寬度w)。調(diào)節(jié)mtj器件的尺寸賦予調(diào)節(jié)mtj器件更大的切換電流,這可以允許更大的電流。在一些實施例中,工作mtj器件具有與尺寸和尺寸不同的第三尺寸(例如,第三寬度w)。圖a至圖b示出了包括存儲器電路的集成芯片的一些額外實施例,存儲器電路具有被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。圖a示出了具有以行和列布置的多個存儲單元a,至c,的存儲器電路的示意圖。多個存儲單元a,至c,分別包括被配置為存儲數(shù)據(jù)的工作mtj器件和被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。調(diào)節(jié)訪問裝置包括連接在字線wlx(x=,,)和偏置電壓線bvly(y=,,)之間的調(diào)節(jié)mtj器件。工作mtj器件連接在偏置電壓線bvly(y=,,)和位線blz(z=,,)之間。多個存儲單元a,至c,連接至控制電路??刂齐娐钒ū慌渲脼檫x擇性地將信號施加至一條或多條位線blz的位線解碼器、被配置為選擇性地將信號施加至一條或多條字線wlx的字線解碼器以及被配置為選擇性地將信號施加至一條或多條偏置電壓線bvly的偏置電路。在一些實施例中。集成電路廠家就找深圳美信美!南京數(shù)字集成電路器件
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圖a至圖b示出了具有調(diào)節(jié)訪問裝置的存儲器電路的一些額外實施例,該調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問。圖a至圖b示出了具有調(diào)節(jié)訪問裝置的存儲器電路的一些額外實施例,該調(diào)節(jié)訪問裝置被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問。圖至出了形成具有存儲器電路的集成芯片的方法的一些實施例,該存儲器電路包括存儲單元,該存儲單元包括被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。出了形成具有存儲器電路的集成芯片的方法的一些實施例的流程圖,該存儲器電路包括存儲單元。該存儲單元包括被配置為選擇性地對工作mtj器件提供訪問的調(diào)節(jié)訪問裝置。具體實施方式以下公開內(nèi)容提供了許多用于實現(xiàn)所提供主題的不同特征的不同實施例或?qū)嵗?。下面描述了組件和布置的具體實例以簡化。當(dāng)然,這些是實例,而不旨在限制。例如,以下描述中,在部件上方或者上形成部件可以包括部件和部件直接接觸形成的實施例。并且也可以包括在部件和部件之間可以形成額外的部件,從而使得部件和部件可以不直接接觸的實施例。此外。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括:一般經(jīng)營項目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售;國內(nèi)貿(mào)易等。長沙數(shù)字集成電路企業(yè)