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等離子體表面處理機(jī)也叫等離子清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、plasma清洗機(jī);用戶對(duì)它的稱呼非常多,它實(shí)際功能在于對(duì)物體表面處理,清洗、改性、刻蝕等;解決用戶不同的表面處理需求。表面活化:設(shè)備生產(chǎn)的等離子體內(nèi)有大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,通過物理及化學(xué)反應(yīng),將表面污染物、雜質(zhì)處理,達(dá)到表面清洗的作用;表面改性:等離子體與物體表面發(fā)生反應(yīng),使得物體表面的化學(xué)鍵斷裂,等離子體中的自由基反應(yīng)生產(chǎn)新鍵,提高表面活性,有利于粘接、涂覆等工藝。表面刻蝕:通入腐蝕性氣體進(jìn)行等離子體反應(yīng)時(shí),氣體與物體表面反應(yīng)生產(chǎn)揮發(fā)性物質(zhì),通過真空泵抽離,在表面形成需要的圖案、形狀,完成刻蝕效果。利用等離子體反應(yīng)特性能夠高效去除表面污染層,包括有機(jī)物、無機(jī)物、氧化物等,同時(shí)不會(huì)對(duì)表面造成損傷。重慶低溫等離子清洗機(jī)廠家推薦
目前,在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)領(lǐng)域,油底殼與曲軸箱、曲軸箱與缸體等密封面通常采用硅膠密封,這些硅膠密封面常因殘留有機(jī)物(如珩磨油、切削液、清洗液等)造成硅膠的附著力不足,從而導(dǎo)致密封失效,發(fā)動(dòng)機(jī)漏油。目前的常規(guī)工藝為涂膠前對(duì)涂膠面進(jìn)行人工擦拭,而人工擦拭存在諸多缺點(diǎn),無法達(dá)到清潔的要求。等離子清洗機(jī)的應(yīng)用能夠很好地解決這些問題,目前已經(jīng)應(yīng)用到光學(xué)行業(yè)、航空工業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)等領(lǐng)域,并成為關(guān)鍵技術(shù),變得越來越重要。等離子清洗機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)涂膠面上的應(yīng)用:發(fā)動(dòng)機(jī)涂膠面殘留的有機(jī)物薄膜,通常為碳?xì)溲趸衔?CHO,);等離子清洗的過程如下:將壓縮空氣電離成低溫等離子體,通過噴槍噴射到涂膠表面,利用等離子體(主要利用壓縮空氣中的氧氣作為反應(yīng)氣體)對(duì)有機(jī)物的分解作用,將涂膠表面殘留的有機(jī)物進(jìn)行分解,以達(dá)到清潔目的。反應(yīng)過程主要有兩種:第一種化學(xué)反應(yīng),將壓縮空氣電離后獲得大量氧等離子體:氧等離子體與有機(jī)物作用,把有機(jī)物(CHO,)分解成二氧化碳和水,CHyOz+O*→H20+CO2,二種是物理反應(yīng),壓縮空氣電離成等離子體后,等離子體內(nèi)的高能粒子以高能量、高速度轟擊涂膠面表面,使分子分解。重慶真空等離子清洗機(jī)工作原理是什么等離子處理可以有效地去除內(nèi)飾件表面的有機(jī)污染物,并生成活性基團(tuán),達(dá)到清潔和活化的雙重效果。
在Mini LED封裝工藝中,針對(duì)不同污染物并根據(jù)基板及芯片材料的不同,采用不同的清洗工藝可以得到理想的效果,但是使用錯(cuò)誤的工藝氣體方案,都會(huì)導(dǎo)致清潔效果不好甚至產(chǎn)品報(bào)廢。例如銀材料的芯片采用氧等離子工藝,則會(huì)被氧化發(fā)黑甚至報(bào)廢。一般情況下,顆粒污染物及氧化物采用氫氬混合氣體進(jìn)行等離子清洗,鍍金材料芯片可以采用氧等離子體去除有機(jī)物,而銀材料芯片則不可以。在封裝工藝中對(duì)等離子清洗的選擇取決于后續(xù)工藝對(duì)材料表面的要求、材料表面的特征、化學(xué)組成以及污染物的性質(zhì)等。等離子清洗機(jī)可以增強(qiáng)樣品的粘附性、浸潤(rùn)性和可靠性等,不同的工藝會(huì)使用不同的氣體。
半導(dǎo)體封裝過程中,等離子清洗機(jī)扮演著至關(guān)重要的角色。在封裝前,芯片表面往往會(huì)殘留微量的有機(jī)物、金屬氧化物和微粒污染物,這些污染物不僅影響芯片的性能,還可能導(dǎo)致封裝過程中的失效。因此,清潔度成為了封裝工藝中不可或缺的一環(huán)。等離子清洗機(jī)利用高能等離子體對(duì)芯片表面進(jìn)行非接觸式的清洗。在清洗過程中,高能粒子轟擊芯片表面,打斷有機(jī)物的化學(xué)鍵,使其轉(zhuǎn)化為易揮發(fā)的小分子;同時(shí),等離子體中的自由基與金屬氧化物反應(yīng),將其還原為金屬單質(zhì)或易于清洗的化合物。此外,等離子體的高活性還能有效地去除微粒污染物,提高芯片表面的清潔度。相較于傳統(tǒng)的濕法清洗,等離子清洗具有更高的清潔度、更低的損傷率和更好的環(huán)境友好性。它不需要使用化學(xué)試劑,因此不會(huì)產(chǎn)生廢液,符合現(xiàn)代綠色制造的理念。等離子清洗機(jī)屬于干式工藝,無需添加化學(xué)藥劑,無廢水排放,對(duì)環(huán)境無污染,完全符合節(jié)能和環(huán)保的需求。
等離子處理機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域:它具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,主要包括以下幾個(gè)方面:表面處理:可以用于金屬、陶瓷、塑料等材料的清洗、去污、活化、刻蝕等表面處理過程,提高材料的表面性能。材料改性:可以用于金屬材料的滲碳、滲氮、滲硼等表面改性過程,提高金屬材料的耐磨性、耐腐蝕性等性能。半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中具有重要作用,如晶圓清洗、薄膜沉積、光刻膠去除等過程都需要使用等離子處理機(jī)。微電子封裝:可以用于微電子封裝過程中的金屬焊盤活化、絕緣層刻蝕等過程,提高封裝器件的性能和可靠性。生物醫(yī)學(xué):可以用于生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的生物材料表面改性、細(xì)胞培養(yǎng)基制備等過程,提高生物材料的性能和生物相容性。等離子表面處理機(jī)常用的氣體為:空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等。重慶低溫等離子清洗機(jī)廠家推薦
等離子清洗機(jī)可以用于活化不銹鋼片表面,提高材料表面活性,提高潤(rùn)濕性和表面附著力,解決粘接不良的問題。重慶低溫等離子清洗機(jī)廠家推薦
等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。等離子清洗機(jī)的主要作用機(jī)理是通過產(chǎn)生等離子體來處理樣品表面,使得表面變得更加清潔、活化或蝕刻。等離子體是一種由離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等組成的特殊狀態(tài),它具有極高的化學(xué)活性,可以有效地與樣品表面發(fā)生反應(yīng),從而清潔表面或改變表面的性質(zhì)。重慶低溫等離子清洗機(jī)廠家推薦