美國(guó)是早期研制開發(fā)超精密加工技術(shù)的國(guó)家。早在1962年,美國(guó)就開發(fā)出以單點(diǎn)金剛石車刀鏡面切削鋁合金和無氧銅的超精密半球車床,其主軸回轉(zhuǎn)精度為 0.125μm,加工直徑為?100mm的半球,尺寸精度為±0.6μm,粗糙度為Ra0.025μm。1984年又研制成功大型光學(xué)金剛石車床,可加工重1350kg,?1625mm的大型零件,工件的圓度和平面度達(dá)0.025μm,表面粗糙度為Ra0.042μm。在該機(jī)床上采用多項(xiàng)新技術(shù),如多光路激光測(cè)量反饋控制,用靜電電容測(cè)微儀測(cè)量工件變形,32位機(jī)的CNC系統(tǒng),用摩擦式驅(qū)動(dòng)進(jìn)給和熱交換器控制溫度等。美國(guó)利用自己已有的成熟單元技術(shù),只用兩周的時(shí)間便組裝成了一臺(tái)小型的超精密加工車床(BODTM型),用刀尖半徑為5~10nm的單晶金剛石刀具,實(shí)現(xiàn)切削厚度為1nm (納米)的加工。盡管如此,美國(guó)還是繼續(xù)把微米級(jí)和納米級(jí)的加工技術(shù)作為國(guó)家的關(guān)鍵技術(shù)之一,這足以說明美國(guó)對(duì)這一技術(shù)的重視。激光超精密加工技術(shù)領(lǐng)域,全球有多家廠商參與競(jìng)爭(zhēng)并提供各種不同類型的設(shè)備。主要廠商集中在亞洲、德國(guó)等。超精密吸附板
微泰利用自主技術(shù),飛秒激光螺旋鉆孔系統(tǒng)和獨(dú)有ELID(電解在線砂輪修正技術(shù)),飛秒激光拋光技術(shù),飛秒激光切割技術(shù),生產(chǎn)各種超精密零部件。測(cè)包機(jī)分度盤(INDEXTABLE)在MLCC編帶工藝中使用的測(cè)包機(jī)分度盤生產(chǎn)取得了成功。測(cè)包機(jī)分度盤在通過拋光加工形成袋子時(shí)限制了袋子尺寸。經(jīng)過多年的發(fā)展,微泰發(fā)展出一種沒有口袋大小限制的生產(chǎn)方式,可以生產(chǎn)比目前的0201更小的分度盤。微泰MLCC測(cè)包機(jī)分度盤為客戶提供了高質(zhì)量的高穩(wěn)定性和超精密分度盤。適合多種規(guī)格尺寸的MLCC分度盤,0201型/0402型/0603型/1005型/1608型分度盤(黑氧化鋯),尺寸小于0201的分度盤(黑氧化鋯),環(huán)氧玻璃分度盤。微泰分度盤特點(diǎn):1,保證口袋均勻性、高精度,沒有口袋形狀的限制。2,MLCC在所有口袋中都具有同等性能·采用黑色氧化鋯(密度6.05g/cm2)壽命長(zhǎng)(抗蛀牙)。3,與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手相比,交貨速度快/價(jià)格低/質(zhì)量好。5,使用微泰分度盤測(cè)包機(jī)速度可提升一倍。半導(dǎo)體超精密刀具制造超精密激光可以高效實(shí)現(xiàn)微米級(jí)尺寸、特殊形狀、超精度的加工,材料表面無熔化痕跡,邊緣光滑無飛濺物。
超精密加工技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)向更高精度方向發(fā)展:由現(xiàn)在的亞微米級(jí)向納米級(jí)進(jìn)軍,以期達(dá)到移動(dòng)原子的目的,實(shí)現(xiàn)原子級(jí)加工。向大型化方向發(fā)展:研制各類大型的超精密加工設(shè)備,以滿足航空、航天、通信和安全的需要。向微型化方向發(fā)展:以適應(yīng)飛速發(fā)展的微機(jī)械、集成電路的需要。向超精結(jié)構(gòu)、多功能、光、加工檢測(cè)一體化等方向發(fā)展:多采用先進(jìn)的檢測(cè)監(jiān)控技術(shù)實(shí)時(shí)誤差補(bǔ)償。新工藝和復(fù)合加工技術(shù)不斷涌現(xiàn):使加工的材料的范圍不斷擴(kuò)大1。
客戶可以信賴的超精密K半導(dǎo)體材料和元件的加工品牌,微泰,將客戶滿意度放在中心半導(dǎo)體晶圓真空卡盤、半導(dǎo)體孔卡盤和半導(dǎo)體流量計(jì)。專業(yè)制造半導(dǎo)體設(shè)備的精密組件,包括半導(dǎo)體液位傳感器(ODM/OEM)。處理無氧銅等特殊材料半導(dǎo)體設(shè)備,以及精密零件制造。為模件裝配提供解決方案。精密零件加工方面,對(duì)于特殊材料,精密加工急件、具有快速服務(wù)及應(yīng)急響應(yīng)能力。加工半導(dǎo)體晶圓真空卡盤,半導(dǎo)體精密卡盤,半導(dǎo)體精密流量計(jì),半導(dǎo)體液位傳感器,半導(dǎo)體精設(shè)備精密元件,JIG制作。模組部件組裝方面,根據(jù)客戶要求組裝模組型元件,生產(chǎn)半導(dǎo)體重要零部件,半導(dǎo)體精密流量計(jì)。研發(fā)中心開發(fā)新產(chǎn)品,研發(fā)新材料,新的加工技術(shù)。激光超精密加工質(zhì)量的影響因素少,加工精度高,在一般情況下均優(yōu)于其它傳統(tǒng)的加工方法。
超精密加工超精密加工(Ultra-precision machining)是一種高度精確的制造技術(shù),通常用于生產(chǎn)具有極高表面質(zhì)量和尺寸精度的零部件。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、航空航天、醫(yī)療器械等領(lǐng)域。以下是一些關(guān)于超精密加工的關(guān)鍵點(diǎn):特點(diǎn)和應(yīng)用高精度:超精密加工能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的精度,這使得它非常適合用于制造光學(xué)鏡頭、半導(dǎo)體器件和其他需要極高精度的產(chǎn)品。表面質(zhì)量控制:超精密加工的目標(biāo)是通過表面質(zhì)量控制獲得預(yù)定的表面功能。例如,光學(xué)鏡片的表面需要非常光滑以確保光線的正確傳播。激光超精密加工打孔在PCB行業(yè)應(yīng)用廣,激光在PCB上不僅加工速度快,能打2μm以下的小孔微孔及隱形孔的鉆孔。半導(dǎo)體超精密倒裝芯片鍵合
目前超精密加工技術(shù)能應(yīng)用在所有的金屬材料、塑料、木材、石磨與玻璃上。超精密吸附板
微泰憑借30年的精密加工技術(shù)和銳利刀具的邊緣技術(shù),利用激光的微孔加工技術(shù),生產(chǎn)了客戶所需的各種產(chǎn)品。除了零件,我們還生產(chǎn)和供應(yīng)需要裝配的部件。與液晶面板(LCD)這樣的大尺寸元件相比,微泰更傾向于半導(dǎo)體/MLCC/新能源電池等更小、更精密的領(lǐng)域,并且在尚未成功國(guó)產(chǎn)化的元件的國(guó)產(chǎn)化方面也取得了很大成就。從塑料樹脂系列開始,我們生產(chǎn)和供應(yīng)的材料幾乎與客戶提供的所有圖紙相符,包括不銹鋼、碳化鎢、陶瓷和MMC材料,沒有限制。應(yīng)用于多個(gè)部件其他半導(dǎo)體/高水平平面度的金屬板、由微孔構(gòu)成的金屬板、超精密加工件、多數(shù)部件組成的設(shè)備配件、組裝件、半導(dǎo)體/MLCC/電池行業(yè)所需超精密元件。真空卡盤,晶圓卡盤、模組組裝治具。倒裝芯片鍵合TOOL。超精密吸附板