諧振式氣敏傳感器不需要對器件進行加熱,且輸出信號為頻率量,是硅微氣敏傳感器發(fā)展的重要方向之一。北京大學微電子所提出的1種微結(jié)構(gòu)氣體傳感器,由硅梁、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成。硅梁被置于被測氣體中后,表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加,使梁的諧振頻率減小。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對NO2氣體濃度的檢測實驗表明,在0×10~1×10的范圍內(nèi)有較好的線性,濃度檢測極限達到1×10,當工作頻率是19kHz時,靈敏度是1.3Hz/10。德國的M.Maute等人在SiNx懸臂梁表面涂敷聚合物PDMS來檢測己烷氣體,得到-0.099Hz/10的靈敏度。顯然,要獲取大量人類感官無法直接獲取的信息,沒有相適應的傳感器是不可能的。普陀區(qū)品牌傳感器性能
4、微流量傳感器微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達到很低的測量量級,而且死區(qū)容量小,響應時間短,適合于微流體的精密測量和控制。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導式和熱飛行時間式)、機械式和諧振式3種。清華大學精密儀器系設(shè)計的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應力,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測出流量信號。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的氣體流量下,線性度優(yōu)于5%。5、微氣體傳感器根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底,敏感層為非硅材料,是當前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),因而要同時制作加熱元件和溫度探測元件,以監(jiān)測和控制溫度。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測元件制作在一起,保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。青浦區(qū)常見傳感器推薦貨源按照生物敏感物質(zhì)相互作用的類型分類,可分為親和型和代謝型兩種。
手機拍照帶給我們隨時隨地的便捷,但是面對復雜的環(huán)境、多樣的拍照場景,人手拍照有無法避免的抖動,像是走著跑著躺著拍照,或者把手伸長、手握自拍桿自拍,無論哪種抖動,憑借MEMS DRIVE馬達獨有的五軸防抖,和快速、精細控制的技術(shù)優(yōu)勢,都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖片 [1]。1、微機械壓力傳感器微機械壓力傳感器是**早開始研制的微機械產(chǎn)品,也是微機械技術(shù)中**成熟、**早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號檢測方式來看,微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類,分別以體微機械加工技術(shù)和**層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看,有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達0.05%~0.01%,年穩(wěn)定性達0.1%/F.S,溫度誤差為0.0002%,耐壓可達幾百兆帕,過壓保護范圍可達傳感器量程的20倍以上,并能進行大范圍下的全溫補償?,F(xiàn)階段微機械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個方面。
液位1、浮球式液位傳感器浮球式液位傳感器由磁性浮球、測量導管、信號單元、電子單元、接線盒及安裝件組成。一般磁性浮球的比重小于0.5,可漂于液面之上并沿測量導管上下移動。導管內(nèi)裝有測量元件,它可以在外磁作用下將被測液位信號轉(zhuǎn)換成正比于液位變化的電阻信號,并將電子單元轉(zhuǎn)換成4~20mA或其它標準信號輸出。該傳感器為模塊電路,具有耐酸、防潮、防震、防腐蝕等優(yōu)點,電路內(nèi)部含有恒流反饋電路和內(nèi)保護電路,可使輸出最大電流不超過28mA,因而能夠可靠地保護電源并使二次儀表不被損壞。在基礎(chǔ)學科研究中,傳感器更具有突出的地位。
在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動化生產(chǎn)過程中,要用各種傳感器來監(jiān)視和控制生產(chǎn)過程中的各個參數(shù),使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或比較好狀態(tài),并使產(chǎn)品達到比較好的質(zhì)量。因此可以說,沒有眾多的優(yōu)良的傳感器,現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了基礎(chǔ)。在基礎(chǔ)學科研究中,傳感器更具有突出的地位?,F(xiàn)代科學技術(shù)的發(fā)展,進入了許多新領(lǐng)域:例如在宏觀上要觀察上千光年的茫茫宇宙,微觀上要觀察小到fm的粒子世界,縱向上要觀察長達數(shù)十萬年的天體演化,短到 s的瞬間反應。此外,還出現(xiàn)了對深化物質(zhì)認識、開拓新能源、新材料等具有重要作用的各種極端技術(shù)研究,如超高溫、**溫、超高壓、超高真空、***磁場、超弱磁場等等。電阻應變片主要有金屬和半導體兩類,金屬應變片有金屬絲式、箔式、薄膜式之分。青浦區(qū)標準傳感器設(shè)計
其基片可直接作為測量傳感元件,擴散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。普陀區(qū)品牌傳感器性能
電容式液位傳感器由電容式傳感器與電子模塊電路組成,它以兩線制4~20mA恒定電流輸出為基型,經(jīng)過轉(zhuǎn)換,可以用三線或四線方式輸出,輸出信號形成為 1~5V、0~5V、0~10mA等標準信號。電容傳感器由絕緣電極和裝有測量介質(zhì)的圓柱形金屬容器組成。當料位上升時,因非導電物料的介電常數(shù)明顯小于空氣的介電常數(shù),所以電容量隨著物料高度的變化而變化。傳感器的模塊電路由基準源、脈寬調(diào)制、轉(zhuǎn)換、恒流放大、反饋和限流等單元組成。采用脈寬調(diào)特原理進行測量的優(yōu)點是頻率較低,對周圍元射頻干擾、穩(wěn)定性好、線性好、無明顯溫度漂移等。普陀區(qū)品牌傳感器性能
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