在半導(dǎo)體行業(yè),圓晶減薄當(dāng)然是非常精密的加工過程。在減薄過程中,需要用接觸式或非接觸式傳感器嚴(yán)格控制加工過程。從步驟來看,封裝前,圓晶需要達(dá)到正確的厚度,這是半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵。圓晶背面研磨(圓晶減?。┦且环N半導(dǎo)體生產(chǎn)工序,在此期間需要嚴(yán)格控制圓晶厚度,使圓晶達(dá)到超薄的厚度,可疊放和高密度封裝在微型電子器件中。馬波斯傳感器甚至可檢測到砂輪與圓晶接觸的瞬間或檢查任何過載。同時,馬波斯傳感器可在干式和濕式環(huán)境中可靠地在線測量厚度。馬波斯Hetech一直致力于電動汽車發(fā)動機(jī)壓鑄外殼的泄漏檢測系統(tǒng)的研發(fā)與制造,并獲得了市場認(rèn)可。湖北電驅(qū)動檢測設(shè)備
在半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,圓晶減薄是其中一個關(guān)鍵的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。實際上,由于芯片已在圓晶上成形,減薄操作的任何失誤都可能影響芯片成品率和成本。在減薄加工中,可用接觸式或非接觸式傳感器測量,甚至可在去離子水中測量,進(jìn)行嚴(yán)格在線控制。馬波斯傳感器甚至可檢測到砂輪與圓晶接觸的瞬間或檢查任何過載。另外,馬波斯傳感器可控制的厚度從4μm到900μm(單側(cè)測量),智能處理厚度數(shù)據(jù),可正常控制超薄厚度和記錄數(shù)據(jù)(黑盒功能)。半導(dǎo)體 晶圓檢測馬波斯齒輪產(chǎn)品線包括多種類型齒輪尺寸測量,如用于DOB檢查的量規(guī),雙嚙和單嚙齒輪滾子測量的量規(guī)測量系統(tǒng)。
在量產(chǎn)階段,馬波斯可以為量產(chǎn)階段提供動力電池的泄漏檢測的自動化方案。對于馬波斯而言,提供豐富的泄漏檢測解決方案,同時保證在鋰離子電池量產(chǎn)線各個工位檢查鋰離子電池的密封性是重要的。從特征的角度來看,馬波斯不僅能夠提供電池殼氦氣示蹤檢測方案,也能夠提供電解液充入前和充入后的氦氣示蹤檢測方案。另外,馬波斯也能夠在壓氦發(fā)泄漏檢測和電解液示蹤泄漏方面提供良好的檢測方案。這也是馬波斯能夠幫助量產(chǎn)階段提供的動力電池泄漏檢測。
為了滿足電池的高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)要求,必須在生產(chǎn)過程中系統(tǒng)地應(yīng)用測量和測試技術(shù)。這將提高生產(chǎn)效率,減少次品,并滿足安全性和性能要求。電池包電芯的泄漏測試HEV/EV的技術(shù)發(fā)展對汽車行業(yè)提出了新的泄漏測試要求,即每只電芯都必須被可靠地保護(hù)起來,防止任何水氣和空氣滲透。MARPOSS真空氦檢方案能夠檢測到的泄漏率為10-3到10-6scc/s。電池模組和電池包冷卻回路的泄漏測試如果將單個電芯組合成更大的電池模組或電池包,則在生產(chǎn)中必須要確保冷卻回路的密封性。Marposs可為機(jī)電組件的整體裝配提供靈活的解決方案,如逆變器和電池充電器等。
作為電機(jī)關(guān)鍵元件,軸和轉(zhuǎn)子必須承受電機(jī)傳遞給下游部件的高速度和大轉(zhuǎn)矩。因此,所有部件必須精確配合(公差小)。必須對每一個產(chǎn)品進(jìn)行檢查,以確保比較高水平的質(zhì)量。根據(jù)電機(jī)的類型,使用不同的轉(zhuǎn)子型號:永磁轉(zhuǎn)子用于無刷同步電機(jī).繞線轉(zhuǎn)子用于外部勵磁同步電機(jī).鼠籠轉(zhuǎn)子用于異步電機(jī)Marposs在整個制造環(huán)節(jié)提供各種產(chǎn)品和應(yīng)用以進(jìn)行過程控制。Marposs還提供各種方案和設(shè)備以進(jìn)行質(zhì)量檢查、功能測試和轉(zhuǎn)子成品裝配。反電動勢測試(BEMF)和永磁轉(zhuǎn)子EOL功能測試都是十分可靠的解決方案。進(jìn)行氦氣試漏的方法有多種,即對真空腔進(jìn)行整體測試這體現(xiàn)的是優(yōu)異與有效的選擇。半導(dǎo)體 晶圓檢測
泄漏測試是電池pack裝配過程中的要求用于檢查電池pack氣密性,保證電池pack內(nèi)部的高壓零部件不會出現(xiàn)短路。湖北電驅(qū)動檢測設(shè)備
馬波斯(半)自動測量系統(tǒng)Visiquick馬波斯半自動測量系統(tǒng)基于接觸或光學(xué)技術(shù)。被測容器采用人工裝卸,測量周期自動進(jìn)行?;诠鈱W(xué)技術(shù)的系統(tǒng)柔性很高,可以測量許多不同的物品,無論其大小、形狀和顏色,且無需任何操作調(diào)整。2.而在馬波斯自動測量系統(tǒng)中,玻璃容器的裝卸和測量操作可完全自動進(jìn)行,無需任何人為干預(yù)。它們主要基于非接觸式技術(shù),除了外形尺寸外,還可以測量其他特征,如口內(nèi)徑和輪廓、壁厚、重量、瓶底高度、貼標(biāo)區(qū)域輪廓等。與半自動測量系統(tǒng)相比,自動測量系統(tǒng)的優(yōu)勢在于***降低人力成本。使用半自動和自動測量系統(tǒng)執(zhí)行的測量結(jié)果被發(fā)送到MES(制造執(zhí)行軟件),并被決策者用于實時微調(diào)和監(jiān)控制造過程。湖北電驅(qū)動檢測設(shè)備