工具與治具清潔:晶圓載具: 清潔用于傳輸和存儲晶圓的卡匣、FOUP/FOSB門、內(nèi)部表面上的微粒、有機物殘留和靜電吸附的灰塵。機器人手臂末端執(zhí)行器: 清潔用于搬運晶圓的機械手上的微粒和污染物,防止污染晶圓。工藝腔室內(nèi)的夾具和基座: 去除靜電卡盤、固定裝置等表面的沉積物。封裝與測試環(huán)節(jié):模具、封裝設備部件: 清潔封裝設備(如鍵合機、塑封機)模具表面、頂針、傳送帶等部件上的溢料、脫模劑殘留、環(huán)氧樹脂等。測試插座、探針卡: 去除探針卡、測試插座接觸點上的氧化物、有機物殘留、助焊劑殘留等,確保良好的電接觸。需要極其精細的控制以避免損壞精密探針。PCB板/基板預處理: 在鍵合或組裝前,清潔PCB或基板表面的氧化物、指紋、油脂等輕微污染物??釥柹h(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰镜母杀逑醇夹g在芯片(半導體)制造行業(yè)中的應用是一種高效、精密且環(huán)保的清潔方法,尤其適用于對污染極度敏感、不能接觸液體或化學溶劑、且需要避免物理損傷的精密設備和組件。不可思議的酷爾森干冰清洗,陳年污垢一掃而光!云南不銹鋼干冰清洗哪里買
酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰靖杀逑醇夹g要點與挑戰(zhàn)工藝參數(shù)精密控制:壓力: 通常使用較低壓力(如 2-10 bar),遠低于常規(guī)工業(yè)干冰清洗,以避免對精密部件造成損傷或?qū)е挛⒘G度胲浶圆牧稀8杀w粒尺寸: 使用非常細小的顆粒(如米粒級或更細),以獲得更溫和、更精細的清潔效果。噴射距離與角度: 需要精確控制噴嘴到目標的距離和噴射角度,優(yōu)化清潔效率同時**小化潛在影響。流量: 根據(jù)污染程度和部件敏感度調(diào)節(jié)干冰流量。微粒控制:干冰沖擊會將污染物打散成更小的微粒。因此,高效的真空回收系統(tǒng)是必不可少的配套設備,必須能即時、徹底地吸走剝離下來的污染物和升華的CO?氣體,防止二次污染。系統(tǒng)需要高過濾效率(HEPA/ULPA級別)。靜電控制:高速氣流和干冰顆粒撞擊可能產(chǎn)生靜電。在半導體潔凈室環(huán)境中,需要考慮靜電消散措施,如使用防靜電噴嘴、接地設備、或引入可控的電離氣流。材料兼容性:雖然對大多數(shù)硬質(zhì)材料安全,但對于非常脆弱的涂層、軟性金屬(如金線)、裸露的精密電路、某些塑料或復合材料,仍需進行嚴格的兼容性測試,確認不會造成損傷(如微凹痕、劃痕、涂層剝離)。山東無污染干冰清洗生產(chǎn)商干冰清洗的功能強大可靠,清潔速度快。流程科學高效,優(yōu)勢眾多。
封裝模具與載板清潔清潔對象:塑封模具(型腔、澆道)、晶圓載板(Wafer Carrier)。污染問題:塑封過程中,環(huán)氧樹脂(封裝材料)會在模具型腔殘留、固化,導致封裝體出現(xiàn)飛邊、缺膠;載板表面若有焊錫殘渣、粉塵,會影響晶圓定位精度。干冰清洗作用:干冰的低溫使殘留環(huán)氧樹脂脆化,輕松剝離模具死角(如型腔拐角、澆道狹窄處)的固化物,無需使用脫模劑(傳統(tǒng)脫模劑可能污染芯片)。清潔載板表面的微小焊錫顆粒和粉塵,保障晶圓在測試或封裝時的定位精度(誤差需控制在 ±5μm 內(nèi))。半導體設備與潔凈室維護半導體生產(chǎn)依賴大量精密設備(如光刻機、量測儀器)和 Class 1 級潔凈室,其清潔直接影響生產(chǎn)穩(wěn)定性:1. 精密設備部件清潔光刻機光學系統(tǒng):清潔鏡頭表面的油污、粉塵(鏡頭精度達納米級,任何污染都會影響曝光精度),酷爾森的干冰顆粒(1μm 以下)可在不接觸鏡頭的情況下去除污染物,避免劃傷鍍膜層。自動化機械臂:清潔機械臂抓手(End Effector)表面的晶圓殘留顆粒(如硅粉),避免對下一片晶圓造成二次污染。量測儀器探頭:如膜厚儀、橢偏儀的檢測探頭,去除表面的有機污染物,保障量測數(shù)據(jù)的準確性(誤差需≤0.1nm)。
配套耗材—3mm顆粒干冰。干冰易揮發(fā),不易存放太久,建議每次購買夠用即可,盡量不要過多儲存。干冰保溫箱小型周轉(zhuǎn)保溫箱:儲存容量:50KG保溫時間:2--3天。**溫干冰保溫柜儲存容量:100kg-300kg保溫時間:每天保存損耗量<1%。酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰臼且患壹杀逑丛O備研發(fā)、設計、制造、銷售、服務、干冰制造為一體的實體型企業(yè)。目前主要做以下產(chǎn)品系列,干冰清洗系統(tǒng),雪花清洗系統(tǒng)(液態(tài)二氧化碳清洗)各種清洗解決方案。目前在國內(nèi)干冰清洗行業(yè)處于**地位,尤其在鋰電池產(chǎn)線清潔細分領域始終保持行業(yè)***,是中國智能環(huán)保清洗的**者?,F(xiàn)廠區(qū)占地面積12000平方米,設有零件制造車間、產(chǎn)品總裝車間、干冰制造車間、質(zhì)量檢測室等作業(yè)車間,已量產(chǎn)各種系列型號干冰清洗機、雪花清洗機、積碳清洗機、純氣動干冰清洗機等十多種產(chǎn)品。公司已經(jīng)通過了ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認證。干冰清洗的功能令人滿意,可快速清潔污漬。流程高效有序,優(yōu)勢突出。
酷爾森環(huán)??萍迹ㄉ虾#┯邢薰靖杀逑礊镻CBA清洗提供了一種獨特且強大的解決方案,尤其在需要避免水分、化學溶劑、高應力損傷以及清洗難以觸及區(qū)域的應用中具有不可替代的優(yōu)勢。它非常適合:高可靠性要求的領域(航空航天、醫(yī)療設備、汽車電子)。包含對水或溶劑敏感的元件的PCBA。帶有BGA、QFN等底部焊點器件的高密度板卡。在線清洗和返工維修場景。深入清潔:干冰顆粒能有效進入傳統(tǒng)方法難以觸及的區(qū)域,如高密度IC引腳之間、BGA/QFN封裝底部與PCB之間的狹窄縫隙、連接器內(nèi)部、散熱片鰭片下方等。環(huán)境友好與操作安全:無二次污染: ***的廢物是被去除的污染物本身,易于收集處理。不產(chǎn)生廢水、廢溶劑等危險廢物。無毒: 使用食品級二氧化碳,過程安全(需注意通風,防止CO2聚集導致缺氧)。非易燃易爆: 無火災風險。高效快捷:在線清洗,減少生產(chǎn)停頓時間。清洗效果立即可見。提升可靠性:徹底去除離子性殘留物,防止電化學遷移,提高長期可靠性和絕緣性能。避免水洗/溶劑清洗后烘干不徹底帶來的潛在風險。干冰清洗功能強大無比,清潔快速徹底。流程便捷科學,優(yōu)勢明顯。廣東氣動干冰清洗聯(lián)系方式
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注意事項針對極敏感部件(如光刻機鏡頭、光罩鍍鉻層),需采用“超細亞微米干冰顆?!保?.5-1μm)和“脈沖式低壓力噴射”,避免氣流沖擊導致的微損傷。清潔過程需在潔凈室內(nèi)**區(qū)域進行,配合高效過濾器(HEPA)回收剝離的污染物,防止二次擴散。綜上,酷爾森icestorm干冰清洗通過解決半導體行業(yè)“微污染去除難、精密部件易損傷、清潔與效率矛盾”三大痛點,成為提升芯片良率(尤其先進制程,如7nm及以下)和生產(chǎn)穩(wěn)定性的**工藝輔助技術,在半導體國產(chǎn)化趨勢中,其應用場景正從設備維護向晶圓直接清潔(如先進封裝前的焊盤處理)進一步拓展。在半導體行業(yè),生產(chǎn)環(huán)境(如 Class 1 級潔凈室)和產(chǎn)品(晶圓、芯片、精密部件)對 “零污染、無損傷、超高潔凈度” 的要求堪稱工業(yè)領域**嚴苛標準之一。干冰清洗憑借無殘留、化學惰性、低溫無損、適配精密場景等特性,成為解決半導體生產(chǎn)中 “微污染物去除、設備維護、產(chǎn)品良率提升” 的關鍵技術。云南不銹鋼干冰清洗哪里買