在電子特氣系統(tǒng)工程中,保壓測試是保障管道安全運行的重要環(huán)節(jié)。電子特氣多為腐蝕性、毒性或易燃易爆氣體,管道一旦泄漏,不僅會污染生產環(huán)境,還可能引發(fā)安全事故。保壓測試需在管道安裝完成后,先進行氮氣置換去除空氣,再充入高純氮氣至設計壓力(通常為 0.6-1.0MPa),關閉閥門后持續(xù)監(jiān)測 24 小時。根據(jù)行業(yè)標準,壓力降需≤0.5% 初始壓力,且每小時壓力波動不超過 0.01MPa。測試過程中,需重點關注閥門接口、焊接點等易泄漏部位,結合壓力曲線判斷是否存在微漏。對于電子特氣系統(tǒng)而言,保壓測試的嚴格執(zhí)行能有效避免因泄漏導致的特氣純度下降,確保半導體芯片等精密產品的生產質量,是第三方檢測機構對電子特氣系統(tǒng)安全評級的重要依據(jù)。大宗供氣系統(tǒng)的氧含量(ppb 級)檢測需≤50ppb,避免氧氣超標導致金屬加工件氧化。云浮氣體管道五項檢測氧含量(ppb級)
大宗供氣系統(tǒng)的管道內若存在 0.1 微米及以上顆粒污染物,會隨氣體進入生產設備,造成產品缺陷。例如在光伏行業(yè),硅片清洗用的高純氮氣若含顆粒,會在硅片表面形成劃痕,影響電池轉換效率;在食品包裝行業(yè),顆??赡芪廴景b材料,引發(fā)食品安全風險。0.1 微米顆粒度檢測需用激光顆粒計數(shù)器,在管道出口處采樣,采樣體積≥100L,每立方米顆粒數(shù)需≤10000 個(0.1μm 及以上)。檢測前需用超凈氮氣吹掃管道 1 小時,去除管道內壁附著的顆粒。大宗供氣系統(tǒng)的管道多為無縫鋼管,焊接時若未采用氬弧焊打底,會產生焊渣顆粒;過濾器濾芯老化也會導致顆粒泄漏,而顆粒度檢測能及時發(fā)現(xiàn)這些問題,確保氣體潔凈度。汕頭大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項檢測保壓測試實驗室氣路系統(tǒng)的水分(ppb 級)檢測,用露點儀連續(xù)監(jiān)測 30 分鐘,數(shù)據(jù)需穩(wěn)定。
高純氣體系統(tǒng)工程中,顆粒是浮游菌的載體,因此需聯(lián)動檢測。例如 0.1 微米以上的顆??晌郊毦?,隨氣體進入生產環(huán)境,導致產品污染。檢測時,顆粒度合格(0.1μm 及以上顆?!?000 個 /m3)后,測浮游菌(≤1CFU/m3);若顆粒度超標,需先凈化再測浮游菌。高純氣體系統(tǒng)需安裝 “高效過濾 + 除菌過濾” 組合裝置,且過濾器需定期完整性測試,而關聯(lián)檢測能驗證過濾效果 —— 若顆粒度合格但浮游菌超標,可能是除菌過濾器失效。這種方法能多方面保障氣體潔凈度,符合生物制藥、微電子等行業(yè)的嚴苛要求。
尾氣處理系統(tǒng)的管道若含水分,會影響處理效果,例如在活性炭吸附中,水分會占據(jù)吸附位點,降低對 VOCs 的吸附能力;在催化燃燒中,水分會導致催化劑失活。ppb 級水分檢測需用水分分析儀,在尾氣進入處理設備前采樣,溫度需≤-20℃(對應水分≤10700ppb),具體限值根據(jù)處理工藝調整。尾氣處理系統(tǒng)的管道若未做保溫,會因溫度變化產生冷凝水;風機選型不當導致壓力過低,也會吸入環(huán)境空氣中的水分。通過水分檢測,可優(yōu)化系統(tǒng)運行參數(shù)(如加熱保溫、調整風機壓力),確保處理效率,這是第三方檢測機構對尾氣處理系統(tǒng)的重要考核項。高純氣體管道的氦檢漏,需覆蓋所有焊接點,泄漏率≤1×10??Pa?m3/s,確保純度。
大宗供氣系統(tǒng)中的氣體(如壓縮空氣、氮氣)若含水分,會導致管道腐蝕、設備故障。例如在氣動控制系統(tǒng)中,水分會使氣缸內壁銹蝕,縮短使用壽命;在食品包裝中,氮氣中的水分會導致包裝內結露,影響食品保質期。ppb 級水分檢測需用露點儀,在管道出口處檢測,溫度需≤-40℃(對應水分≤1070ppb),根據(jù)行業(yè)不同可提高標準(如電子行業(yè)需≤-60℃)。大宗供氣系統(tǒng)需安裝干燥機(如吸附式干燥機),出口溫度需穩(wěn)定,而水分檢測能驗證干燥機性能 —— 若檢測值超標,可能是干燥劑失效或再生系統(tǒng)故障。通過嚴格的水分檢測,可確保氣體干燥度,減少設備維護成本,延長系統(tǒng)壽命。電子特氣系統(tǒng)工程保壓測試后,需測氧含量和水分,確保特氣不受污染。汕頭大宗供氣系統(tǒng)氣體管道五項檢測保壓測試
電子特氣系統(tǒng)工程保壓測試,充氮氣至 0.5MPa,24 小時壓降≤0.5%,保障系統(tǒng)安全。云浮氣體管道五項檢測氧含量(ppb級)
高純氣體系統(tǒng)工程的管道內若存在 0.1 微米顆粒污染物,會隨氣體進入精密設備,造成產品缺陷。例如在光纖拉絲中,高純氦氣中的顆粒會附著在光纖表面,導致光信號傳輸損耗增加;在硬盤磁頭生產中,顆粒會劃傷磁頭,影響存儲性能。0.1 微米顆粒度檢測需用激光顆粒計數(shù)器,在管道出口處采樣,采樣流量 28.3L/min,連續(xù)監(jiān)測 10 分鐘,每立方米顆粒數(shù)(0.1μm 及以上)需≤1000 個。檢測時需關注管道安裝過程 —— 管道切割、焊接產生的金屬顆粒,或安裝人員未穿潔凈服帶入的纖維顆粒,都會導致顆粒超標。因此,高純氣體管道安裝需在潔凈環(huán)境中進行,內壁需用超凈氮氣吹掃,而顆粒度檢測能驗證清潔效果,確保氣體潔凈度達標。云浮氣體管道五項檢測氧含量(ppb級)