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當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板20上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外,為了避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上。由上述的實施說明可知,本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設備與現(xiàn)有技術相較之下,本實用新型具有以下優(yōu)點。本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)與以之制備的蝕刻設備主要借由具有復數(shù)個宣泄孔的擋液板結(jié)構(gòu)搭配風刀裝置的硬體設計,有效使風刀裝置吹出的氣體得以經(jīng)由宣泄孔宣泄,并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板蝕刻不均等異常現(xiàn)象。高效蝕刻液,讓您的生產(chǎn)更順暢,品質(zhì)更出眾。安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦貨源
伸縮桿12下端固定安裝有圓環(huán)塊13,圓環(huán)塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14,分隔板2與承載板3相互垂直設置,電解池4內(nèi)部底端的傾斜角度設計為5°,進液管8的形狀設計為l型,且進液管8貫穿分隔板2設置在進液漏斗6與伸縮管9之間,圓環(huán)塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方,且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方,通過設置有伸縮管9與伸縮桿12,能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時,啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動,從而通過圓環(huán)塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動,進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中,避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命,具有保護電解池4的功能;分隔板2右端表面靠近上端固定安裝有增壓泵16,增壓泵16下端與電解池4之間連接有回流管15,增壓泵16上端與進液管8之間連接有一號排液管17,回流管15內(nèi)部左端設置有一號電磁閥18,回流管15與進水管27的形狀均設計為l型,通過在增壓泵16下端設置有回流管15,能夠在蝕刻液電解后,啟動增壓泵16并打開一號電磁閥18,將蝕刻液通過回流管15抽入到一號排液管17中,并由進液管8導入到伸縮管9中,直至蝕刻液由噴頭10重新噴到電解池4中。綿陽格林達蝕刻液主要作用蝕刻液的時刻速率是多少;
圖7:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)運作局部放大圖。圖8:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風刀裝置示意圖。圖9:本實用新型蝕刻設備其一較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖10:本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風刀裝置示意圖。圖11:本實用新型蝕刻設備其三較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風刀裝置示意圖。圖12:本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其二較佳實施例的宣泄孔的表面張力局部放大圖。圖13:本實用新型蝕刻方法的步驟流程圖。圖號說明:傳統(tǒng)擋液板結(jié)構(gòu)a擋液板結(jié)構(gòu)b風刀c氣體本實用新型1蝕刻設備10擋液板結(jié)構(gòu)11***擋板12第二擋板121宣泄孔1211***壁面1212第二壁面122下表面123上表面13第三擋板20基板30輸送裝置31滾輪40風刀裝置41***風刀42第二風刀43氣體50噴灑裝置51藥液s1步驟一s2步驟二s3步驟三s4步驟四h長度θ夾角θ1***夾角θ2第二夾角θ3第三夾角θ4接觸角a0孔徑a1上孔徑a2下孔徑w、w1、w2距離。具體實施方式首先,請參閱圖2與圖3所示,為本實用新型擋液板結(jié)構(gòu)其一較佳實施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖,以及宣泄孔排列示意圖,其中本實用新型的擋液板結(jié)構(gòu)10適用于一濕式蝕刻機(圖式未標示)。
該擋液板結(jié)構(gòu)10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12,以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13,其主要特征在于:該第二擋板12具有復數(shù)個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121。該***擋板11與該第二擋板12呈正交設置,且該第二擋板12與該第三擋板13呈正交設置,以使該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13圍設成一凹槽的態(tài)樣,在一實施例中,該***擋板11、該第二擋板12與該第三擋板13可以為一體成形,其中該第二擋板12的長度h介于10cm至15cm之間,而該等開設于該第二擋板12上的宣泄孔121可呈千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列的態(tài)樣,且該宣泄孔121可為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合;在本實用新型其一較佳實施例中,開設于該第二擋板12上的宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣,且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離(例如:圖3中所示的w),其中該宣泄孔121的一孔徑a0比較好小于3mm,以使該宣泄孔121的孔洞內(nèi)產(chǎn)生毛細現(xiàn)象,若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時,則該水滴不至于經(jīng)由該宣泄孔121落至下表面,但仍舊可以提供空氣宣泄的管道,以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外,請一并參閱圖4圖5所示。剝離液可以有正膠和負膠以及正負膠不同的分類。
silane)系偶聯(lián)劑和水,上述硅烷系偶聯(lián)劑使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。此外,提供一種選擇硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其是選擇用于在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜的蝕刻液組合物的硅烷系偶聯(lián)劑的方法,其特征在于,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以。發(fā)明效果本發(fā)明的蝕刻液組合物提供即使不進行另外的實驗確認也能夠選擇在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜的效果和防蝕能力優(yōu)異的硅烷系偶聯(lián)劑的效果。此外,本發(fā)明的蝕刻液組合物提供在不損傷氧化物膜的同時*選擇性蝕刻氮化物膜的效果。附圖說明圖1是示出3dnand閃存(flashmemory)制造工序中的一部分的圖。圖2和圖3是示出制造3dnand閃存時氮化物膜去除工序(濕法去除氮化物(wetremovalofnitride))中所發(fā)生的工序不良的圖。圖4是示出能夠?qū)?dnand閃存制造工序中發(fā)生的副反應氧化物的殘留以及氧化物膜損傷不良**少化的、硅烷系偶聯(lián)劑適宜防蝕能力范圍的圖。圖5是示出硅烷系偶聯(lián)劑的aeff值與蝕刻程度。蘇州博洋化學股份有限公司用真誠對待每一位顧客。合肥天馬用的蝕刻液蝕刻液配方技術
封裝測試會用到哪些蝕刻液藥水;安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦貨源
618光電行業(yè)ITO**蝕刻液,專門針對氧化銦錫(ITO)玻璃導電薄膜鍍層圖線的脫膜蝕刻,它對于高阻抗ITO玻璃導電膜(PET-ITO)以及低阻抗ITO玻璃導電膜(PET-ITO)都且有優(yōu)良的蝕刻速度與效果。具有速度快、側(cè)蝕小、無沉淀、氣味小、不攻擊抗蝕層,不攻擊基材,操作控制簡便靈活等非常***的優(yōu)點,可采取自動控制系統(tǒng)補加,也可人工補加方式。更重要的是絲毫不改變產(chǎn)品的導電阻抗電性數(shù)據(jù)。二、產(chǎn)品特點1)速度快市場之一般ITO蝕刻液速度大都在0.5nm/s,而KBX-618AITO蝕刻液蝕刻速度正??刂圃?-10nm/s,速度快(具體設備情況有所差異)2)氣味小、無煙霧、對皮膚刺激*目前市場蝕刻液一般有強烈之氣味,溫度升高后放出一種刺鼻氣味,對操作人員身體健康和工作環(huán)境極為不利,但KBX-618A酸性蝕刻液采用的是有機活性添加劑3、用于有機基材膜,及各類玻璃底材,不影響生產(chǎn)材料導電阻抗數(shù)據(jù)。不攻擊底材,不攻擊抗蝕膜。KBX-556ITO**褪膜液一、產(chǎn)品簡介KBX-556引進國外配方,采用進口原料,非常規(guī)易燃溶劑,即非有毒醇醚硫等物質(zhì),是采用環(huán)保的極性活性劑,可以有效、快速地去除水溶性干膜,在板面不會留下殘渣。在褪極細線寬線距板時效果尤其明顯,不會攻擊聚酰亞胺,PET,ITO,硅晶體,液晶屏,及弱金屬。安徽鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液推薦貨源