浙江鋁鉬鋁蝕刻液剝離液供應(yīng)商

在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式目前剝離液機(jī)臺(tái)在工作時(shí)，如果過(guò)濾剝離光阻時(shí)產(chǎn)生的薄膜碎屑的過(guò)濾器被阻塞，則需要?jiǎng)冸x液機(jī)臺(tái)內(nèi)的所有工作單元，待被阻塞的過(guò)濾器被清理后，才能重新進(jìn)行剝離制程，使得機(jī)臺(tái)需頻繁停線以更換過(guò)濾器，極大的降低了生產(chǎn)效率。請(qǐng)參閱圖1，圖1為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的過(guò)濾液機(jī)臺(tái)100的種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種剝離液機(jī)臺(tái)100，包括：依次順序排列的多級(jí)腔室10、每一級(jí)所述腔室10對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱20；過(guò)濾器30，所述過(guò)濾器30的一端設(shè)置通過(guò)管道40與當(dāng)前級(jí)腔室101對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱20連接，所述過(guò)濾器30的另一端通過(guò)第二管道50與下一級(jí)腔室102連接；其中，至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門(mén)開(kāi)關(guān)60。剝離液的類別一般有哪些。浙江鋁鉬鋁蝕刻液剝離液供應(yīng)商

利用提升泵將一級(jí)過(guò)濾罐中濾液抽取到攪拌釜內(nèi)；再向攪拌釜中輸入沉淀劑，如酸性溶液，與前述濾液充分?jǐn)嚢杌旌显俅挝龀龀恋砦?，即二?jí)線性酚醛樹(shù)脂，打開(kāi)二級(jí)過(guò)濾罐進(jìn)料管路上的電磁閥，帶有沉淀物的混合液進(jìn)入二級(jí)過(guò)濾罐中，由其中的過(guò)濾筒過(guò)濾得到二級(jí)線性酚醛樹(shù)脂，廢液二級(jí)過(guò)濾罐底部的廢液出口流出，送往剝離成分處理系統(tǒng)。上述過(guò)濾得到的一級(jí)線性酚醛樹(shù)脂可用于光刻膠產(chǎn)品的原料，而二級(jí)線性酚醛樹(shù)脂可用于其他場(chǎng)合。綜上，實(shí)現(xiàn)了對(duì)光刻膠樹(shù)脂的充分的回收利用，回收率得到提高。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是過(guò)濾筒的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式如圖1、圖2所示，該光刻膠廢剝離液回收裝置，包括攪拌釜10和與攪拌釜10連通的過(guò)濾罐，所述過(guò)濾罐的數(shù)量為兩個(gè)，由一級(jí)過(guò)濾罐16和二級(jí)過(guò)濾罐13組成。所述一級(jí)過(guò)濾罐16和二級(jí)過(guò)濾罐13在垂直方向上位于攪拌釜10下方，一級(jí)過(guò)濾罐16和二級(jí)過(guò)濾罐13的進(jìn)料管路15、14分別與攪拌釜10底部連通，且進(jìn)料管路15、14上分別設(shè)有電磁閥18、17。所述一級(jí)過(guò)濾罐16的底部出液口19連接有提升泵6，所述提升泵6的出料管路末端與攪拌釜10頂部的循環(huán)料口7連通。攪拌釜10頂部另設(shè)有廢剝離液投料口5和功能切換口3。深圳銅蝕刻液剝離液生產(chǎn)博洋剝離液供應(yīng)廠商-提供微電子領(lǐng)域個(gè)性化解決方案!

本發(fā)明涉及剝離液技術(shù)領(lǐng)域：，更具體的說(shuō)是涉及一種光刻膠剝離液再生方法。背景技術(shù)：：電子行業(yè)飛速發(fā)展，光刻膠應(yīng)用也越來(lái)越***。在半導(dǎo)體元器件制造過(guò)程中，經(jīng)過(guò)涂敷-顯影-蝕刻過(guò)程，在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后，必須在除去殘余光刻膠的同時(shí)不能損傷任何基材，才能再進(jìn)行下道工序。因此，光刻膠的剝離質(zhì)量也有直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。而隨著電子行業(yè)的發(fā)展以及高世代面板的面世，光刻膠剝離液的使用越來(lái)越多。剝離液廢液中含有光刻膠樹(shù)脂、水和某些金屬雜質(zhì)，而剝離液廢液的處理主要是通過(guò)焚燒或者低水平回收，其大量的使用但不能夠有效地回收，對(duì)環(huán)境、資源等都造成了比較大的影響。有鑒于此，申請(qǐng)人研發(fā)出以下的對(duì)使用后的光刻膠剝離液回收及再生方法。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的是提供一種光刻膠剝離液再生方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：本申請(qǐng)公開(kāi)了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液，包括以下質(zhì)量組分：光刻膠剝離液再生方法，包括以下步驟：s1：回收剝離液新液使用后的剝離液廢液，將剝離液廢液經(jīng)過(guò)蒸餾、加壓工序，得出剝離液廢液的純化液體；純化液體中含有酰胺化合物、醇醚化合物以及胺化合物；s2：制備添加劑。

需要說(shuō)明的是，本發(fā)明剝離液中，推薦*由上述成分構(gòu)成，但只要不阻礙本發(fā)明的效果，可以含有例如聚氧化烯烷基醚系、硅系的消泡劑等其它成分。以上說(shuō)明的本發(fā)明剝離液可以通過(guò)將上述成分溶于水中來(lái)制備。需要說(shuō)明的是，本發(fā)明剝離液的ph若為堿性則沒(méi)有特別限定，但通常**將上述成分溶于水就成為堿性，因此沒(méi)有特別必要調(diào)整ph。另外，本發(fā)明剝離液可以通過(guò)將上述成分分別分開(kāi)預(yù)先溶于水，成為抗蝕劑的剝離液套件，將它們混合來(lái)制備。具體來(lái)說(shuō)，可以舉出以包含含有鉀鹽的第1液和含有溶纖劑的第2液為特征的抗蝕劑的剝離液套件、其中還包含含有硅酸鹽的第3液的抗蝕劑的剝離液套件、進(jìn)而在其中使上述其它成分適當(dāng)含有于各液中的抗蝕劑的剝離液套件等。通過(guò)使用本發(fā)明剝離液對(duì)施加有抗蝕劑的基材進(jìn)行處理，抗蝕劑被細(xì)小地粉碎。哪家的剝離液比較好用點(diǎn)？

光電行業(yè)的大力發(fā)展，致使剝離液被國(guó)內(nèi)外研究人員所關(guān)注及研究，雖然在**網(wǎng)及技術(shù)網(wǎng)上對(duì)剝離液的闡述較少，但當(dāng)前國(guó)內(nèi)與國(guó)外均在剝離液廢液如何利用及處置方面有了一定的成果，。美國(guó)專利US7273560公布了包含單乙醇胺與二乙二醇單丁醚組合的光刻膠剝離液廢液中含有、77%的二乙二醇單丁醚、3%的光刻膠和?，F(xiàn)有技術(shù)***采用的光刻膠剝離液廢液回收方法通常是通過(guò)薄膜蒸發(fā)器回收大部分的有機(jī)成分，回收得到的有機(jī)組分或再經(jīng)脫色脫水等處理后可再次作為光刻膠剝離液應(yīng)用。這種方法雖然流程簡(jiǎn)便，但在使用薄膜蒸發(fā)器蒸發(fā)溶劑過(guò)程中，光刻膠濃度達(dá)到一定程度后其傳熱傳質(zhì)效率快速下降，使溶劑回收效率大為降低，處理能耗***升高。且除去溶劑后殘留的光刻膠等物質(zhì)需要定期將其***干凈，進(jìn)而影響工藝操作效率。另外，美國(guó)專利US公布了在蝕刻產(chǎn)線上設(shè)置過(guò)濾回收裝置，通過(guò)粗孔和細(xì)孔過(guò)濾器的兩步組合過(guò)濾法除去光刻膠，將光刻膠剝離液在產(chǎn)線上循環(huán)使用。哪家的剝離液性價(jià)比比較高？池州配方剝離液

華星光電用的哪家的剝離液？浙江鋁鉬鋁蝕刻液剝離液供應(yīng)商

閥門(mén)開(kāi)關(guān)60設(shè)置在每一子管道301上。在一些實(shí)施例中，閥門(mén)開(kāi)關(guān)60設(shè)置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實(shí)施例中，閥門(mén)開(kāi)關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上。具體的，閥門(mén)開(kāi)關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過(guò)濾器30的任意管道上，在此不做贅述。在一些實(shí)施例中，請(qǐng)參閱圖4，圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。第二管道50包括多個(gè)第三子管道503，每一所述第三子管道503與一子過(guò)濾器連通301，且每一所述第三子管道503與所述下一級(jí)腔室連通102。其中，閥門(mén)開(kāi)關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上。本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)，包括：依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱；過(guò)濾器，所述過(guò)濾器的一端設(shè)置通過(guò)管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接，所述過(guò)濾器的另一端通過(guò)第二管道與下一級(jí)腔室連接；其中，至少在管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門(mén)開(kāi)關(guān)。通過(guò)閥門(mén)開(kāi)關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過(guò)濾器相互獨(dú)立，從而在過(guò)濾器被阻塞時(shí)通過(guò)閥門(mén)開(kāi)關(guān)將被堵塞的過(guò)濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程，提高生產(chǎn)效率。本申請(qǐng)實(shí)施例還提供一種剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法，請(qǐng)參閱圖5，圖5為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)的工作方法的流程示意圖。浙江鋁鉬鋁蝕刻液剝離液供應(yīng)商