硫酸霧等酸性廢氣選酸霧凈化塔;低濃度有機廢氣用活性炭吸附裝置,中高濃度則考慮催化燃燒裝置;有顆粒物選布袋或靜電除塵器,混合廢氣需組合設(shè)備。
各設(shè)備處理率有別,處理量匹配電鍍規(guī)模,大生產(chǎn)線選大風(fēng)量設(shè)備,小廠選小風(fēng)量的。
涵蓋能耗、耗材及維護費,能耗低、耗材更換便宜、維護簡單的設(shè)備更優(yōu)。場地有限選緊湊設(shè)備,處理易燃易爆廢氣的要防爆。操作管理上,選自動化程度高的。
電鍍設(shè)備中的掛鍍裝置,通過掛具懸掛工件,適用于汽車零件等中大件,可實現(xiàn)鍍層均勻附著。重慶機械電鍍設(shè)備
陽極氧化線的主要組成部分
1. 前處理系統(tǒng)
目的:表面油污、氧化皮和雜質(zhì),確保氧化膜與基體結(jié)合牢固。
工序:
除油-堿蝕 / 酸洗-多級水洗
2. 陽極氧化處理系統(tǒng)
氧化槽:
材質(zhì):耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼,內(nèi)置陰極板(鉛板、不銹鋼)和導(dǎo)電裝置。
控制裝置:
電解液類型:
硫酸:常用,成本低,膜透明度高,適合裝飾性氧化(如鋁型材染色)。
草酸:膜硬度高、耐磨性強,用于硬質(zhì)氧化(如航空零件)。
鉻酸:膜層柔軟、孔隙少,適合復(fù)雜工件或疲勞敏感零件(如汽車部件)。
3.后處理系統(tǒng)(功能拓展)
染色(可選):利用氧化膜的多孔性吸附有機染料或金屬鹽,實現(xiàn)顏色定制。
封孔(關(guān)鍵工序):
熱水封孔:使氧化膜水合生成 Al?O??nH?O,堵塞孔隙,提升耐腐蝕性。
蒸汽封孔:高溫蒸汽加速水合,適合厚膜(如硬質(zhì)氧化)。
化學(xué)封孔:鎳鹽 / 鈷鹽溶液,形成氫氧化物沉淀封孔
干燥:熱風(fēng)循環(huán)或烘箱去除水分,防止封孔后白斑。
4.自動化控制系統(tǒng)
輸送設(shè)備:懸掛式鏈條、龍門行車或機械手,實現(xiàn)工件在各槽間的自動傳輸。
參數(shù)監(jiān)控:PLC 或工業(yè)電腦實時監(jiān)測電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值,自動補加藥劑或調(diào)整工藝參數(shù)。 便攜式電鍍設(shè)備周邊設(shè)備自動化電鍍設(shè)備集成 PLC 控制系統(tǒng),聯(lián)動傳輸裝置實現(xiàn)工序時間、電壓參數(shù)準(zhǔn)確控制,提升效率。
離心風(fēng)機:風(fēng)壓高、風(fēng)量較大,適用于需要克服較大阻力
軸流風(fēng)機:具有風(fēng)量大、風(fēng)壓低的特點。適合在對通風(fēng)量需求大、阻力較小的環(huán)境
屋頂風(fēng)機:安裝于電鍍車間屋頂,可直接將車間內(nèi)廢氣排至室外。其優(yōu)點是不占室內(nèi)空間,安裝簡便
防爆風(fēng)機:針對電鍍廢氣含易燃易爆氣體(如有機溶劑揮發(fā)氣)的情況設(shè)計,采用特殊防爆結(jié)構(gòu)與材料,防止運行中產(chǎn)生電火花引發(fā)炸掉,保障生產(chǎn)安全
玻璃鋼風(fēng)機:處理電鍍過程中產(chǎn)生的強腐蝕性酸堿廢氣,且質(zhì)量較輕、強度較高、使用壽命長
不銹鋼風(fēng)機:用于對耐腐蝕有一定要求且廢氣中顆粒物磨損性較強的電鍍廢氣抽取
防腐涂層或特殊防腐工藝處理的普通金屬風(fēng)機:抽風(fēng)設(shè)備搭配集氣罩、通風(fēng)管道等部件,組成完整的抽風(fēng)系統(tǒng),將電鍍廢氣高效收集并輸送至后續(xù)處理設(shè)備,如酸霧凈化塔、活性炭吸附裝置等。
自動線線外連接抽風(fēng)系統(tǒng)
PP抽風(fēng)管連接,抽風(fēng)連接口采用方形變通連接室外抽風(fēng)系統(tǒng)
可根據(jù)不同種類廢氣和不同排放量以及現(xiàn)場情形適當(dāng)設(shè)計制,并負(fù)責(zé)安裝調(diào)試,抽風(fēng)效果好
適用于氧化、電鍍、涂裝、印刷等行業(yè)多種堿性、有毒氣體抽排(退掛、除銹等)
對比項 傳統(tǒng)滾鍍 半導(dǎo)體滾鍍 對象 小型金屬零件(螺絲、紐扣等) 晶圓、芯片、微型半導(dǎo)體元件 精度 微米級 納米級(≤100nm) 潔凈度 普通工業(yè)環(huán)境 無塵室(Class100~1000) 工藝控制 電流/時間粗調(diào) 實時閉環(huán)控制(電流、流量、溫度) 鍍液類型 酸性/堿性鍍液 高純度鍍液(低雜質(zhì))
大尺寸晶圓兼容:適配12英寸(300mm)晶圓,向18英寸過渡。環(huán)保鍍液:無物、低毒配方,減少廢水處理壓力。智能化集成:AI工藝優(yōu)化:通過機器學(xué)習(xí)預(yù)測鍍層缺陷。與CMP(化學(xué)機械拋光)、PVD設(shè)備聯(lián)動,形成全自動金屬化產(chǎn)線
半導(dǎo)體滾鍍設(shè)備是封裝與芯片制造的關(guān)鍵裝備,通過精密旋轉(zhuǎn)與鍍液控制,實現(xiàn)納米級金屬鍍層的均勻沉積。其技術(shù)在于潔凈環(huán)境下的高精度工藝控制 工件籃設(shè)備用于籃鍍工藝,網(wǎng)孔大小根據(jù)工件尺寸定制,兼顧電解液流通性與防止小件掉落。
案例1:MLCC端電極電鍍
流程:陶瓷燒結(jié)→端面研磨→濺射鎳層→電鍍銅/錫層→激光切割分粒。
設(shè)備:濺射鍍膜機+滾鍍線,確保端電極導(dǎo)電性與焊接性。
案例2:薄膜電阻調(diào)阻后電鍍
流程:氧化鋁基板→濺射鎳鉻電阻膜→激光調(diào)阻→電鍍鎳/錫保護層。
作用:電鍍層防止調(diào)阻后的敏感膜層氧化,并提升端面焊接性能。
案例3:功率電感引腳鍍錫
流程:磁芯繞線→引腳焊接→電鍍純錫→熱風(fēng)整平。
目標(biāo):降低接觸電阻,適應(yīng)大電流場景。 滾鍍機滾筒采用聚氯乙烯材質(zhì)打孔設(shè)計,確保電解液流通,配合變頻電機調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,保障小件鍍層均勻。重慶電鍍設(shè)備供應(yīng)商家
脈沖電化學(xué)拋光設(shè)備結(jié)合電鍍與拋光功能,通過瞬間高電流溶解凸起部分,實現(xiàn)鏡面級鍍層表面。重慶機械電鍍設(shè)備
掛鍍工藝:晶圓固定在掛具上,浸入電鍍液,通過精細(xì)控制電流、電壓及溶液成分,在表面沉積均勻金屬層。
電鍍槽:耐腐蝕材質(zhì),配備溫控、循環(huán)過濾系統(tǒng),維持鍍液均勻性
掛具與陽極:鈦或鉑金陽極,掛具設(shè)計適配晶圓尺寸,確保電場分布均勻
自動化傳輸:機械臂自動上下料,減少人工污染風(fēng)險
控制系統(tǒng):PLC/計算機實時調(diào)控電流密度、電鍍時間、pH值等參數(shù)
高均勻性:通過脈沖電鍍或水平電鍍技術(shù)(如ECP),減少邊緣效應(yīng),實現(xiàn)亞微米級鍍層均勻性
低缺陷率:鍍液雜質(zhì)控制(<0.1ppm)與膜厚在線監(jiān)測,降低孔洞、結(jié)節(jié)等缺陷
高產(chǎn)能:支持多晶圓并行處理
銅互連:在邏輯芯片中沉積多層銅導(dǎo)線,替代傳統(tǒng)鋁工藝以降低電阻
TSV填充:為3D封裝提供垂直導(dǎo)電通道,實現(xiàn)芯片堆疊
凸塊電鍍:在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊,用于Flip-Chip鍵合
RDL(重布線層):沉積銅層實現(xiàn)芯片I/O端口的重新布局
半導(dǎo)體掛鍍設(shè)備通過精密電化學(xué)控制與自動化技術(shù),解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題,是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關(guān)聯(lián)芯片的導(dǎo)電性、散熱及良率 重慶機械電鍍設(shè)備