在精密制造業(yè),特別是半導(dǎo)體晶圓加工領(lǐng)域,環(huán)境的潔凈度是至關(guān)重要的。半導(dǎo)體晶圓的加工需要在無塵車間中進(jìn)行,因為哪怕是微小的塵埃顆粒都可能在晶圓表面造成缺陷,影響芯片的性能。電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)通過微米級位移控制氣流閥門,從而維持無塵車間的環(huán)境潔凈度。在這個過程中,電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)需要具備極高的精度和穩(wěn)定性。它能夠根據(jù)車間內(nèi)的氣流狀況和潔凈度要求,精確地調(diào)整氣流閥門的開度,確保車間內(nèi)的空氣流動和潔凈度始終保持在較好狀態(tài)。由于其快速響應(yīng)速度,撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)非常適合用于頻繁啟停的場合?;し煮w式執(zhí)行器原理
撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的撥叉盤使扭矩轉(zhuǎn)換的杠桿更大,傳統(tǒng)齒輪齒條式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)小齒輪的半徑轉(zhuǎn)換為對應(yīng)的扭矩杠桿相對較小。在執(zhí)行器開啟的過程中,撥叉式執(zhí)行機(jī)構(gòu)在軸轉(zhuǎn)動0°、45°、90°輸出的力矩成線性,分別是輸出力矩的100%、50%、100%,而齒輪齒條式執(zhí)行器輸出力矩成直線,整個開啟過程都是一樣的。在撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)運(yùn)作時,輸出力扭能隨角度改變而改變,而且在閥門開啟或關(guān)閉位置,力矩輸出值至大,這正好與閥門的啟閉規(guī)律相符。相比齒輪齒條式執(zhí)行機(jī)構(gòu),撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)更能節(jié)省力矩,因為齒輪齒條式執(zhí)行機(jī)構(gòu)的力矩是恒定。石化閥門執(zhí)行機(jī)構(gòu)隨著技術(shù)的發(fā)展,無線通信功能逐漸成為前端電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的配置之一。
根據(jù)使用環(huán)境確定合適的防爆認(rèn)證(如Exd II CT4)是確保電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)安全、穩(wěn)定運(yùn)行的重要措施。 在化工、油氣等危險場景中,由于存在易燃易爆的氣體或粉塵,一旦發(fā)生電氣火花,就可能引發(fā)嚴(yán)重的危險事故。所以,在這些場景下使用的電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)必須具備防爆設(shè)計。防爆認(rèn)證等級如Exd II CT4,這個等級標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了執(zhí)行機(jī)構(gòu)在不同危險環(huán)境中的防爆性能要求。例如,“Ex”表示防爆標(biāo)志,“d”表示隔爆型,這種類型的執(zhí)行機(jī)構(gòu)能夠?qū)?nèi)部可能產(chǎn)生的危險限制在一個密封的外殼內(nèi),防止傳播到周圍環(huán)境;“II”表示適用于除煤礦瓦斯氣體之外的其他危險性氣體環(huán)境;“C”表示可用于氫氣、乙炔等危險程度較高的可燃性氣體;“T4”表示設(shè)備的表面溫度不超過135℃。這一系列的規(guī)定就像一個嚴(yán)格的安全標(biāo)準(zhǔn),確保電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)在危險環(huán)境中不會成為引發(fā)危險的源頭。
故障診斷與周期維護(hù)是保障電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)可靠運(yùn)行的重要手段,定期檢查能夠及時發(fā)現(xiàn)問題并采取有效的解決措施。常見故障處理包括:電源跳閘時排查電路板積水、固態(tài)繼電器損壞或電機(jī)接地問題;執(zhí)行機(jī)構(gòu)無響應(yīng)時檢查信號斷連、保險熔斷或控制模塊故障;異響或振動異常時排查齒輪磨損或外部設(shè)備共振。建議每季度進(jìn)行深度維護(hù):測試開關(guān)速度,如果開關(guān)速度不符合設(shè)計要求,可能會影響整個工業(yè)流程的效率;測試限位精度如果限位精度不準(zhǔn)確,可能會導(dǎo)致閥門過度開啟或關(guān)閉,從而影響介質(zhì)的流量控制或者設(shè)備的安全運(yùn)行;模擬斷電驗證保位功能,如果斷電時閥門不能保持原位,可能會導(dǎo)致反應(yīng)物泄漏或者反應(yīng)失控。電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)廣泛應(yīng)用于電力、石油、化工等多個行業(yè),確保了各種閥門和擋板的精確控制。
撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)在水處理行業(yè)的應(yīng)用:在城市供水、污水處理、海水淡化等水處理領(lǐng)域,氣動撥叉式執(zhí)行器可用于各種水處理設(shè)備中的閥門控制。如在自來水廠的取水口、沉淀池、過濾池等部位的管道上,安裝氣動撥叉式執(zhí)行器驅(qū)動的蝶閥或球閥,實(shí)現(xiàn)對水流的控制和調(diào)節(jié);在污水處理廠的曝氣系統(tǒng)、污泥處理系統(tǒng)中,也廣泛應(yīng)用氣動撥叉式執(zhí)行器來控制相關(guān)閥門,保障污水處理工藝的順利進(jìn)行;在海水淡化廠反滲透膜組件的閥門控制中,其平穩(wěn)扭矩輸出特性能減少水錘效應(yīng),保護(hù)精密膜元件。撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)體積小,重量輕、便于安裝。化工分體式執(zhí)行器原理
具備自診斷功能的電動執(zhí)行機(jī)構(gòu)可以在發(fā)生故障前預(yù)警,從而減少意外停機(jī)的可能性。化工分體式執(zhí)行器原理
撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)的分類:按照作用類型的不同,可分為單作用撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)和雙作用撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)。執(zhí)行機(jī)構(gòu)的開關(guān)動作都是通過氣源驅(qū)動完成的,就是雙作用撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu);而只有開動作是由氣源驅(qū)動完成,關(guān)動作為彈簧復(fù)位的就是單作用撥叉式氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)。按照結(jié)構(gòu)的不同,可分為單氣缸活塞式和雙氣缸活塞式。按主要材質(zhì)的不同,可分為鋁合金型、不銹鋼型、碳鋼型等。高于7000Nm的扭矩要求時,齒輪齒條式執(zhí)行機(jī)構(gòu)往往不符合成本效益,而大功率撥叉式氣動執(zhí)行器可以提供更高的扭矩輸出,可達(dá)到10000Nm?;し煮w式執(zhí)行器原理