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無(wú)塵室管理規(guī)范:1、進(jìn)入潔凈室的管理,包括對(duì)潔凈室工作人員進(jìn)入,物料進(jìn)入,各類(lèi)設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備,管線的維護(hù)管理,應(yīng)做到不得將微粒,微生物帶人潔凈室2、操作管理技術(shù),對(duì)潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作,穿著和其清洗,操作人員的移動(dòng)和動(dòng)作,室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃,滅菌等,盡可能減少,防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒,微生物的產(chǎn)生,滯留,繁殖等3、嚴(yán)格各類(lèi)設(shè)備,設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類(lèi)設(shè)備,設(shè)施按要求正常運(yùn)轉(zhuǎn),包括凈化系統(tǒng),各類(lèi)水,氣,電系統(tǒng),生產(chǎn)工藝設(shè)備和工具(工具夾)等,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級(jí)別4、清掃,滅菌管理,對(duì)潔凈室內(nèi)的各類(lèi)設(shè)備,設(shè)施的清掃,滅菌以及方法,周期和檢查明確的規(guī)定,防止,梢除潔凈室內(nèi)塵粒,微生物的生產(chǎn),滯留,繁殖.5、潔凈室環(huán)境控制的內(nèi)容包括:空氣凈化,潔凈建筑,與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備,工具等的污染物控制以及微粒振動(dòng),噪音,靜電的控制,防止等。無(wú)塵室內(nèi)無(wú)菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過(guò)300個(gè)/ min.人,動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過(guò)1000個(gè)/ min/人。成都百級(jí)無(wú)塵室施工
無(wú)塵室是指將環(huán)境因素控制在某個(gè)規(guī)定范圍內(nèi)的空間。主要控制的要素包括:環(huán)境溫度、濕度、氣流組織型式、風(fēng)速、塵埃粒子、微生物、氣體分子、壓差、照度、噪音、微振動(dòng)、靜電、風(fēng)量等;它是為了滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求或生物、醫(yī)學(xué)等特殊要求,而將給予特別設(shè)計(jì)和建造的生產(chǎn)車(chē)間或具有特殊用途的房間(如:手術(shù)室);不論外在的空氣條件如何變化,其潔凈室內(nèi)的環(huán)境均能達(dá)到原本設(shè)定的空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、靜電、微生物等多項(xiàng)性能指標(biāo),并保持穩(wěn)定。佛山100000級(jí)無(wú)塵室施工塵室目前是半導(dǎo)體工業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施,其主要的作用是控制產(chǎn)品所接觸空氣環(huán)境的潔凈度。
有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用無(wú)塵室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨無(wú)塵室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)無(wú)塵室工程而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:(1)無(wú)塵室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;(2)無(wú)塵室內(nèi)氣流流型及分布:?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆颉⑵降鹊牧骶€,但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;(3)自?xún)魰r(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求:無(wú)塵室中事故釋放或帶入污染物。
影響無(wú)塵室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、無(wú)塵室組裝材、照明器具等,同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn),亦應(yīng)列入考慮因素。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn),應(yīng)設(shè)于無(wú)塵室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時(shí),氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時(shí)大部分的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺(tái)因而將受到污染,良率也勢(shì)必降低。無(wú)塵室內(nèi)的工作桌等障礙物,在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少比較低;組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。 無(wú)塵室該怎么清潔呢?
無(wú)塵室價(jià)格、無(wú)塵室工程、無(wú)塵室廠家、無(wú)塵室裝修無(wú)塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。如表所示。 無(wú)塵室能除去空氣中飄游之微塵粒子。江門(mén)無(wú)塵室裝修
無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間。成都百級(jí)無(wú)塵室施工
若想檢驗(yàn)無(wú)塵室是否達(dá)到應(yīng)用標(biāo)準(zhǔn),大家可以先從遮蔽率;風(fēng)速、溫濕度;壓差、構(gòu)成要求這四個(gè)方面考慮。其中風(fēng)速、溫濕度的氣流速度為:0.3-0.5m/s(60-100ft/min),一般溫度控制范圍:T=(21±2)℃,一般濕度控制范圍:(45±5)%RH;壓差是在兩個(gè)無(wú)塵室間合理的設(shè)計(jì)壓力差應(yīng)為10Pa,而在無(wú)塵室和未確認(rèn)潔凈等級(jí)的區(qū)域應(yīng)保持有15Pa的壓力差。當(dāng)產(chǎn)生這些壓力差有實(shí)際困難時(shí),維持5Pa的較小壓力差是可以接受的。無(wú)塵室的構(gòu)成要求是不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕,也不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子,而且吸濕性小,但是為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高。
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