勻膠機在半導體行業(yè)中的應用有哪些？

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江陰市希瑞電子有限公司2025-03-02

在半導體行業(yè)中，勻膠機主要用于光刻工藝中的光刻膠涂布。它能夠?qū)⒐饪棠z均勻涂布在硅片上，形成納米級厚度的膠層，為后續(xù)的光刻、刻蝕等工藝提供基礎。勻膠機的精度和穩(wěn)定性直接影響半導體器件的性能和質(zhì)量。

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