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氧化退火爐可能出現(xiàn)哪些故障及解決方法??

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賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司2025-03-09

常見故障之一是溫度異常,如溫度無法上升到設定值,可能是加熱元件損壞、線路接觸不良或溫度控制系統(tǒng)故障。解決方法是檢查加熱元件和線路,修復或更換損壞部件,重新校準溫度控制系統(tǒng)。若溫度波動過大,可能是溫度傳感器故障或控制系統(tǒng)參數(shù)設置不當,可更換溫度傳感器并重新優(yōu)化參數(shù)。氣體泄漏也是常見問題,一旦發(fā)現(xiàn),應立即停止設備運行,使用專業(yè)工具檢查氣體管道、閥門等連接部位,修復泄漏點。還有爐內(nèi)載具損壞,可能導致材料放置不穩(wěn)或受熱不均,需及時更換載具。如果設備運行時出現(xiàn)異常噪音,可能是機械傳動部件故障,需檢查并對磨損部件進行更換或加強潤滑。?

賽瑞達智能電子裝備(無錫)有限公司
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簡介:賽瑞達成立于2021年,專注于半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司位于無錫,致力于提供定制化解決方案。
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賽瑞達致力于成為半導體裝備的主導品牌。
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