晶圓甩干機(jī)控制系統(tǒng)出現(xiàn)故障該如何排查？

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無(wú)錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司2025-04-05

檢查電源是否正常、傳感器是否工作、軟件是否有錯(cuò)誤提示、參數(shù)設(shè)置是否正確等。

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