激光劃片是利用高能激光束照射工件表面，使被照射區(qū)域局部熔化、氣化，從而達(dá)到去除材料，實(shí)現(xiàn)劃片的過(guò)程。激光劃片是非接觸式加工，無(wú)機(jī)械應(yīng)力損傷，加工方式靈活，不存在刀具損耗和水污染，設(shè)備使用維護(hù)成本低。為避免激光劃透晶圓時(shí)損傷支撐膜，采用耐高溫?zé)g的UV膜。目前，激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器，波長(zhǎng)主要有1064nm、532nm、355nm三種，脈寬為納秒、皮秒和飛秒級(jí)。理論上，激光波長(zhǎng)越短、脈寬越短，加工熱效應(yīng)越小，有利于微細(xì)精密加工，但成本相對(duì)較高。355nm的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低、加工熱效應(yīng)小，應(yīng)用非常***。近幾年1064nm的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速，應(yīng)用到很多新領(lǐng)域，獲得了很好的效果。超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的市場(chǎng)應(yīng)用分析。重慶銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備哪家強(qiáng)
碳化硅是寬禁帶半導(dǎo)體器件制造的**材料，SiC 器件具有高頻、大功率、耐高溫、耐輻射、抗干擾、體積小、重量輕等諸多優(yōu)勢(shì)。對(duì)于它的加工也有很多方式，其中激光劃片是目前較為理想的方式之一。激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器，波長(zhǎng)主要有 1 064 nm、532 nm、355 nm 三種，脈寬為納秒、皮秒和飛秒級(jí)。理論上，激光波長(zhǎng)越短、脈寬越短，加工熱效應(yīng)越小，有利于微細(xì)精密加工，但成本相對(duì)較高。355 nm 的紫外納秒激光器因其技術(shù)成熟、成本低、加工熱效應(yīng)小，應(yīng)用非常多。近幾年 1 064 nm 的皮秒激光器技術(shù)發(fā)展迅速，應(yīng)用到很多新領(lǐng)域，獲得了很好的效果。安徽先進(jìn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的制作方法難嗎？無(wú)錫超通智能告訴您。
與YAG和CO2激光通過(guò)熱效應(yīng)來(lái)切割不同，紫外激光直接破壞被加工材料的化學(xué)鍵，從而達(dá)到切割目的，這是一個(gè)“冷”過(guò)程，熱影響區(qū)域小。另外，紫外激光的波長(zhǎng)短、能量集中且切縫寬度小，因此在精密切割和微加工領(lǐng)域具有***的應(yīng)用，目前，激光劃片設(shè)備采用工業(yè)激光器，波長(zhǎng)主要有 1064nm、532nm、355nm 三種，脈寬為ns（納秒）、ps（皮秒）和fs（飛秒）級(jí)。理論上，激光波長(zhǎng)越短脈寬越短，加工熱效應(yīng)越小，越有利于微細(xì)精密加工，但成本相對(duì)較高。
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激光隱形切割是激光切割晶片的一種方案，很好地避免了砂輪雕刻的問(wèn)題。如圖1所示，激光隱身切割將脈沖激光的單脈沖通過(guò)光學(xué)成型，通過(guò)材料表面聚焦于材料內(nèi)部，聚焦區(qū)域能量密度高，形成多光子吸收非線性吸收效應(yīng)，導(dǎo)致材料變形出現(xiàn)裂紋。各激光脈沖等距作用可以形成等距損傷，在材料內(nèi)部形成變質(zhì)層。在變質(zhì)層中，材料的分子結(jié)合被破壞，材料的連接減弱，容易分離。切割完成后，通過(guò)拉伸軸承膜完全分離產(chǎn)品，并在芯片和芯片之間形成間隙。這種加工方式避免了機(jī)器的直接接觸和純凈水現(xiàn)象造成的破壞。目前，激光隱身切割技術(shù)可應(yīng)用于藍(lán)寶石/玻璃/硅及多種化合物半導(dǎo)體晶圓。無(wú)錫超通智能簡(jiǎn)述超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。浙江智能制造超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備廠家報(bào)價(jià)
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激光功率是影響劃片深度和劃片寬度的主要因素，在其他參數(shù)固定不變時(shí)，劃片寬度和劃片深度隨著激光功率的增加而增大，這是因?yàn)?，紫外激光雖然屬于“冷切割”，但還是存在一定的熱效應(yīng)，熱量會(huì)積累在切割處。當(dāng)激光功率一定時(shí)，晶圓受到照射的時(shí)間越長(zhǎng)，獲得的能量就越多，燒蝕現(xiàn)象就越嚴(yán)重。頻率會(huì)影響激光脈沖的峰值功率和平均功率，從而對(duì)劃片深度、劃片寬度和劃片質(zhì)量均產(chǎn)生影響。增大頻率，脈沖峰值功率會(huì)下降，但整體平均功率會(huì)上升，這相當(dāng)于在劃片過(guò)程中提供了更高的能量，又避免了激光功率持續(xù)輸出產(chǎn)生的熱效應(yīng)累積，給熱量的耗散預(yù)留了空間。重慶銷售超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備哪家強(qiáng)
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