氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度，但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡(jiǎn)單常用的噴吹法，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時(shí)間后，氦檢儀即可發(fā)出信號(hào)。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。國(guó)產(chǎn)氦檢儀售后服務(wù)
氦檢儀的型號(hào)較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。質(zhì)譜室：不同類型的氦檢儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個(gè)抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。1）離子源。離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。2）分析器。分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)，從而將它們彼此分開，只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成，磁場(chǎng)方向與離子束入射方向垂直。3）收集極。收集極是對(duì)準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個(gè)電阻輸入到小電流放大器進(jìn)行離子流的放大和測(cè)量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器第1極輸入信號(hào)電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），第1級(jí)放大用的靜電計(jì)管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計(jì)管放在高真空的質(zhì)譜室中。全自動(dòng)氦氣檢測(cè)儀價(jià)錢氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。
氦檢儀機(jī)械泵故障及處理：1、機(jī)械泵不動(dòng)作，檢查項(xiàng)目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開，繞組是否斷路或接地，電機(jī)是否過熱(泵冷卻后是否能啟動(dòng))。2、機(jī)械泵聲音異常，檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞，油溫是否<10℃，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理：1、燈絲無法正常啟動(dòng)，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路，需要更換燈絲，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。2、本底信號(hào)處于雜亂無章的波動(dòng)狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦檢儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對(duì)故障進(jìn)行定位，交由維修處理。
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦檢儀整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應(yīng)用類型：(例如：生產(chǎn)，維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間，靈敏度，響應(yīng)時(shí)間，恢復(fù)時(shí)間，初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量，主要是通過以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h)，檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：(mbar)，進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：(s)，氦抽速：(l/s))靈敏度，較低可測(cè)的氦信號(hào)：(mbar.l/s)，響應(yīng)時(shí)間：(s)，恢復(fù)時(shí)間：(s)，初抽能力：將決定進(jìn)入檢測(cè)模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測(cè)就可以(是否需要輔助泵)。檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力：〉將決定進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間：是由初抽能力和檢測(cè)允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測(cè)時(shí)間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)是本底噪聲。自動(dòng)氦檢機(jī)廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。國(guó)產(chǎn)氦檢儀售后服務(wù)
氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。國(guó)產(chǎn)氦檢儀售后服務(wù)
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