氦檢儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分，也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度，光通信行業(yè)的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位，定量漏點，替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應(yīng)用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏，具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2.取出無源器件，使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣。3.將無源器件放入真空測試罐，測試罐連接氦檢儀。4.啟動氦檢儀，開始檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。多功能氦檢儀注意事項
氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散;另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。推車式氦檢機價錢氦檢儀檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏：調(diào)節(jié)閥又名控制閥，在現(xiàn)代化工廠的自動控制中，調(diào)節(jié)閥起著十分重要的作用，如果調(diào)節(jié)閥有漏，將會嚴重影響設(shè)備運行，進而降低整體的生產(chǎn)效率。氦檢儀成功應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應(yīng)用于電廠、生物制藥、化工等行業(yè)。調(diào)節(jié)閥檢漏，閥門氣密性測試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣，如在被檢測處如閥桿等，用氦檢儀正壓法檢測，正壓法檢測的精度可充分滿足氣密性檢測要求。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進行檢漏,檢漏標準是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時需要提供快速,清潔的檢漏環(huán)境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣,然后進行檢漏.氦檢儀同時擁有兩種檢漏模式真空模式及正壓模式，可根據(jù)客戶不同需求，選擇不同的檢漏方法。
氦檢儀的撿漏方法有哪些？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣，迫使氦氣進入泄漏工件，再放入檢漏罐中檢測是否有氦氣漏出?？筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小。可檢測工件的整體漏點。檢測精度較高。適用行業(yè)：電子元器件，電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點：檢測靈敏度高；可以進行批量化檢測；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好，再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣，氦氣進入有漏孔的器件內(nèi)部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時間根據(jù)GB2423，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空，待真空抽至設(shè)定值后自動將夾具連至儀器的測量系統(tǒng)。這時壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來被檢測，其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件，這一批的總漏率沒超過報廢預(yù)定值，說明這一批合格；總漏率超過報廢預(yù)定值可以取出一半，剩下的一半繼續(xù)檢漏，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。氦檢儀自動化程度高；
氦檢儀測量數(shù)據(jù)處理：漏率示值誤差，①漏率的溫度修正，標準漏孔漏率易受溫度變化影響，溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ，所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致，需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦檢儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算，并在測試結(jié)果中加以說明，修正方法如下:方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下，用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值；方法二: 將標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下，用標準漏孔漏率的氦檢儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時經(jīng)過校準的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度。氦氣檢測設(shè)備特點
氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。多功能氦檢儀注意事項
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。多功能氦檢儀注意事項
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