氦質(zhì)譜儀的泄漏檢測(cè)方法通常有兩種,一種是常規(guī)泄漏檢測(cè),另一種是反向擴(kuò)散泄漏檢測(cè)。反向擴(kuò)散泄漏檢測(cè)是將測(cè)試件連接到分子泵出氣口的末端,并且泄漏的氦氣從分子泵出氣口進(jìn)入安裝在泵進(jìn)氣口的質(zhì)譜儀管中,方向相反。泵排氣。這種泄漏檢測(cè)方法基于以下事實(shí):分子泵對(duì)不同的氣體質(zhì)量具有不同的壓縮率(分子泵出口處的氣壓與入口處的壓力之比),即不同氣體的反向擴(kuò)散。反向擴(kuò)散法檢漏可以使試件的內(nèi)部壓力更高。氦質(zhì)譜儀檢漏儀可達(dá)到300Pa(通常傳統(tǒng)檢漏儀小于0.05Pa),適用于檢測(cè)大型容器或泄漏較大的設(shè)備。泄漏。反向擴(kuò)散法還具有不易污染質(zhì)譜儀管且燈絲壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對(duì)各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性,使其普遍應(yīng)用。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀單位
氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)組成:它通過質(zhì)譜室的重點(diǎn)供電和測(cè)量,所以作為供電的重點(diǎn)部分,其中一部分屬于真空部分,對(duì)這部分的重點(diǎn)檢測(cè)要求非常高,通過檢測(cè)中獲得的檢測(cè)數(shù)據(jù)輸出形成重點(diǎn)裝置。然后氦質(zhì)譜檢漏儀主要通過控制電流輸出的大小,由于氣密性檢測(cè)儀離子流收集極接收到的離子流很小,必須放大后才能顯示輸出。通過交流放大器放大調(diào)制的離子流。輸出信號(hào)由顯示儀表和聲音裝置(揚(yáng)聲器)指示。低頻發(fā)生器,低頻發(fā)生器產(chǎn)生頻率為5~7Hz,振幅為14~16V的調(diào)制電壓,該電壓疊加在加速電壓上,實(shí)現(xiàn)離子流調(diào)制。高壓整流器和發(fā)射電流穩(wěn)定裝置。發(fā)射電流穩(wěn)定裝置是調(diào)節(jié)燈絲加熱電流,從而保持燈絲發(fā)射電流穩(wěn)定,提高靈敏度。發(fā)射電流可以分幾個(gè)檔次進(jìn)行有級(jí)調(diào)節(jié),以改變儀器的靈敏度。高壓整流器提供冷陰極磁控電源。真空規(guī)放電電流指示氣體壓力值,由儀器顯示,其放電電流也作為繼電保護(hù)的輸入信號(hào)。當(dāng)質(zhì)譜檢漏儀室真空度惡化時(shí),放電電流增大,使繼電器動(dòng)作,然后切斷燈絲加熱電流,保護(hù)燈絲不被燒毀。嘉興氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔的位置不同于被檢漏孔的位置。
氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法有哪些?背壓法,測(cè)總漏率,電子元器件進(jìn)行的氣密性檢測(cè)時(shí)常用背壓法。檢漏前用專門使用加壓容器向被檢件壓入氦氣(由壓力和時(shí)間控制壓入的量),然后取出被檢件,吹去表面吸附氦后放入專門使用檢漏罐中,再將檢漏罐聯(lián)接到檢漏儀的檢漏口上,對(duì)檢漏罐抽真空,實(shí)施檢漏。若器件有漏,則通過該漏孔壓人的氦氣又釋放出來進(jìn)入檢漏罐,終到達(dá)質(zhì)譜管。用這種方法測(cè)得的漏率也是總漏率。輔助真空系統(tǒng),對(duì)子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件,若直接與檢漏儀相連,檢漏儀的真空度可能抽不上去,使檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng),提高對(duì)被檢件的抽速。
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)?這個(gè)時(shí)候,就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油或無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。氦質(zhì)譜檢漏儀有哪些結(jié)構(gòu)?
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的較小漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到較佳值,被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“較小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí),才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動(dòng)量。如果檢漏時(shí)用輔助系統(tǒng)抽氣(即對(duì)示漏氦氣有分流)?;蛴美鄯e法檢漏時(shí),給出儀器較小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin,能較方便地估計(jì)檢漏效果。濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用出色量計(jì)測(cè)出通過針閥2進(jìn)入儀器的空氣流率qL.o,則儀器濃度靈敏度。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些?金華分體式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好
氦質(zhì)譜檢漏儀主要領(lǐng)域和產(chǎn)品如下:原子能工業(yè)氣體擴(kuò)散處理系統(tǒng)、核燃料容器高能物理研究院加速器等等。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀單位
氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。修長(zhǎng)的體積,優(yōu)越的性能,適用于眾多行業(yè)。運(yùn)用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場(chǎng)和全自動(dòng)控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,具有檢測(cè)速度快、檢測(cè)靈敏度高、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):1.檢測(cè)時(shí)間和響應(yīng)周期非常短,可以達(dá)到2s以內(nèi);2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用,只需壓縮空氣即可;3.多種大漏保護(hù)模式,充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時(shí)分子泵不被沖擊。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀單位
上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司是以提供氦氣檢漏儀,氦氣回收系統(tǒng),檢漏儀,氦檢儀為主的有限責(zé)任公司(自然),公司成立于2020-06-11,旗下妤林,已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。公司主要提供上海妤林真空設(shè)備技術(shù)有限公司,座落于上海市嘉定區(qū)新建一路2255號(hào),是一家專門從事氦質(zhì)譜和真空產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)。 我司提供真空相關(guān)技術(shù)服務(wù),技術(shù)交流,技術(shù)咨詢以及真空管道的設(shè)計(jì),生產(chǎn)以及安裝。等領(lǐng)域內(nèi)的業(yè)務(wù),產(chǎn)品滿意,服務(wù)可高,能夠滿足多方位人群或公司的需要。將憑借高精尖的系列產(chǎn)品與解決方案,加速推進(jìn)全國儀器儀表產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的發(fā)展。