氦質(zhì)譜檢漏儀有哪些結(jié)構(gòu)？電氣系統(tǒng)，氦質(zhì)譜儀電氣部分的重點(diǎn)是質(zhì)譜室的供電和測(cè)量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。質(zhì)譜室，形象的說(shuō)，質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個(gè)部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場(chǎng)。為了有利于微小的粒子流放大，將一級(jí)放大用高阻及靜電計(jì)管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部抽空，而外部設(shè)置成磁鐵形成磁分析器的磁場(chǎng)。氦質(zhì)譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測(cè)。江蘇客制化氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
怎么確定氦質(zhì)譜檢漏儀用于鍍膜設(shè)備的靈敏度？較佳工作條件。指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒(méi)有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。動(dòng)態(tài)檢漏。指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時(shí)長(zhǎng)小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的；較小可檢。指其信號(hào)是本底噪聲的兩倍；漏孔的漏率。指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。對(duì)氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號(hào)與裝置噪聲比為一或二時(shí)，當(dāng)中氦的濃度。江蘇客制化氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦質(zhì)譜檢漏儀負(fù)壓法就是常說(shuō)的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率，需要通過(guò)換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。
氦質(zhì)譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測(cè)。在進(jìn)行泄漏檢測(cè)之前，用專門使用的加壓容器將氦氣加壓到試件中（壓力的大小由壓力和時(shí)間控制），然后取出試件，吹走表面以吸收氦氣，然后將其放置在專門使用的專門使用容器中。檢漏罐。泄漏檢測(cè)箱連接到泄漏檢測(cè)器的泄漏檢測(cè)端口，并排空泄漏檢測(cè)箱以執(zhí)行泄漏檢測(cè)。如果設(shè)備中存在泄漏，則被泄漏壓過(guò)的氦會(huì)釋放到泄漏檢測(cè)罐中到達(dá)質(zhì)譜儀管。用這種方法測(cè)得的泄漏率也是總泄漏率。將測(cè)試件連接到儀器的泄漏檢測(cè)端口以排空，并用裝滿氦氣的容器覆蓋測(cè)試件。如果測(cè)試件有泄漏，氦氣會(huì)通過(guò)泄漏進(jìn)入測(cè)試件，后到達(dá)質(zhì)譜儀管。檢測(cè)。測(cè)得的泄漏率是被測(cè)零件的總泄漏率。無(wú)法確定有多少泄漏以及每個(gè)泄漏的確切位置?？梢钥闯觯娬址ㄊ腔趪婌F法的檢漏法。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。
氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名，但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點(diǎn)：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過(guò)漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過(guò)的各個(gè)縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時(shí)本底信號(hào)小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無(wú)毒，也不會(huì)污染環(huán)境，因此使用起來(lái)也十分安全。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素有哪些？江蘇客制化氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
相比于傳統(tǒng)檢漏方法，氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)效率高、檢漏精度要高3-4個(gè)數(shù)量級(jí)，且不會(huì)對(duì)電池造成任何影響。江蘇客制化氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：1、停機(jī)換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機(jī)步驟進(jìn)行。2、不停機(jī)換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時(shí)“加速電壓”示值不應(yīng)有變化，“發(fā)射電流”示值應(yīng)為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應(yīng)取下排除。將閥開關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開關(guān)在“粗抽”的時(shí)間不要超過(guò)五分鐘)，全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等真空過(guò)1×10-2Pa后可啟動(dòng)燈絲，調(diào)氦峰。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。江蘇客制化氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
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