氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。氦檢儀噪聲是哪兒來的？進(jìn)口氦氣檢測機(jī)品牌推薦
氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng)，儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括：1）主泵。一般用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應(yīng)與氣載匹配。2）前級真空泵。一般采用旋片式機(jī)械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配。3）預(yù)抽真空泵。一般與前級真空泵共同一個泵，預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵，其抽速視被檢件大小而定，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。便攜式氦檢設(shè)備工作原理檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口。
氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：①氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質(zhì)量輕、易擴(kuò)散、易穿越漏孔，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質(zhì)比小，易于進(jìn)行質(zhì)譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設(shè)備;⑤氦氣無毒，不凝結(jié)，極難容于水。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)用于火力發(fā)電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優(yōu)點,特別是可以在正常運行中準(zhǔn)確快捷地對機(jī)組進(jìn)行檢漏,減少停機(jī)帶來的經(jīng)濟(jì)損失。
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機(jī)時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。氦質(zhì)譜檢漏儀的可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度，但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實際情況靈活運用。如較簡單常用的噴吹法，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞，噴吹一定時間后，氦檢儀即可發(fā)出信號。氦檢儀的型號較多，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。便攜式氦檢設(shè)備工作原理
為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器。進(jìn)口氦氣檢測機(jī)品牌推薦
氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。進(jìn)口氦氣檢測機(jī)品牌推薦
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