氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)：氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成。在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到一定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)；否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞；所以被檢件的清潔前處理及對(duì)設(shè)備自身定期的保養(yǎng)清理尤為重要。設(shè)備自身保養(yǎng)小知識(shí)：（1）前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦質(zhì)譜檢漏儀，顧名思義一般都會(huì)采用氦氣作為主要的示漏氣體。四川氦質(zhì)譜檢漏儀推薦廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測(cè)方面有兩種檢測(cè)方法，負(fù)壓法和正壓法，一般化工管道采用的是負(fù)壓法。負(fù)壓法就是常說的抽真空，這是氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法。檢漏的方式是：鏈接被檢化工管道和真空泵組以及氦質(zhì)譜檢漏儀，用真空泵組把管道抽真空，達(dá)到一定真空度。使用氦氣噴口在管道密封接頭，焊縫處噴氦，如果被檢管道某處有泄漏，當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí)，氦氣會(huì)立刻被吸入到真空系統(tǒng)，從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室內(nèi)，氦質(zhì)譜檢漏儀感應(yīng)到氦就會(huì)立刻有響應(yīng)。從而達(dá)到了檢漏的結(jié)果。氦氣是較輕的惰性氣體，在噴出時(shí)會(huì)自動(dòng)上升，為了準(zhǔn)確找到漏孔位置噴氦，使用此方法時(shí)噴氦自上而下，由近至遠(yuǎn)（相對(duì)檢漏儀的位置），這是因?yàn)樵谙路綍r(shí)有可能被上方漏孔吸入；漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。溫州氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)商氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲高是什么原因？一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對(duì)氦有記憶效應(yīng)，其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散。四、檢漏儀中空氣的本底影響。五、殘余氣體分子對(duì)離子的散射作用。六、燈絲和其他電極受機(jī)械振動(dòng)引起的效應(yīng)。因此，為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對(duì)性的采取措施，如減少采用有機(jī)材料，不用磁放電規(guī)，提高檢漏儀的工作真空度，保證穩(wěn)定抽速等等。另外檢漏時(shí)切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器，避免本底太大，難以清理。
氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率，需要通過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。使用氦質(zhì)譜檢漏儀吸口模式檢測(cè)消防鋼瓶是業(yè)界較新所采用的較普遍的檢測(cè)方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀可以切實(shí)提高汽泵小機(jī)真空系統(tǒng)的檢漏效率，使用方法：把氦質(zhì)譜檢測(cè)儀與汽泵機(jī)組的真空系統(tǒng)連接，采取從真空系統(tǒng)外部對(duì)疑漏部位噴吹氦氣的方法來檢測(cè)該部位的漏率。在運(yùn)行中真空泵的汽水分離器排氣口處放置氦質(zhì)譜檢漏儀的探測(cè)口，將一定量的氦氣釋放于真空系統(tǒng)的焊縫、管路接頭、法蘭和閥門等可能泄漏的地方，通過觀察儀器上的漏率顯示數(shù)據(jù)區(qū)間來判斷該位置是否存在泄漏，通過漏率數(shù)值大小確認(rèn)該位置泄漏程度。通過氦質(zhì)譜檢漏試驗(yàn)，運(yùn)行人員精確迅速找到機(jī)組真空漏點(diǎn)并及時(shí)聯(lián)系相關(guān)部門進(jìn)行安全有效處理，切實(shí)提高了機(jī)組的經(jīng)濟(jì)性和安全性。氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)氦峰掃描、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。宿遷氦質(zhì)譜檢漏儀大概價(jià)格多少
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。四川氦質(zhì)譜檢漏儀推薦廠家
氦質(zhì)譜檢漏儀有哪些結(jié)構(gòu)？電氣系統(tǒng)，氦質(zhì)譜儀電氣部分的重點(diǎn)是質(zhì)譜室的供電和測(cè)量，其他部分包括真空系統(tǒng)的電源與控制部分，操縱面板及輸出儀表等。主要含有小電流放大器及輸出裝置、低頻發(fā)生器、高壓整流器及發(fā)射電流穩(wěn)定裝置、高壓整流器供給冷陰極磁控規(guī)電源。質(zhì)譜室，形象的說，質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的心臟，由離子源、分析器和電氣系統(tǒng)三個(gè)部分組成，并將冷陰極磁控規(guī)也放在其內(nèi)，共用其磁場(chǎng)。為了有利于微小的粒子流放大，將一級(jí)放大用高阻及靜電計(jì)管也放在質(zhì)譜室之內(nèi)。質(zhì)譜室殼由非磁性材料制成，內(nèi)部抽空，而外部設(shè)置成磁鐵形成磁分析器的磁場(chǎng)。四川氦質(zhì)譜檢漏儀推薦廠家
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