氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名,但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等,主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體,原因主要有以下幾點(diǎn):1、氦氣的質(zhì)量輕,易于穿過(guò)漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快,因此響應(yīng)快,檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,利于離子分離,可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求,使質(zhì)譜室中氦離子通過(guò)的各個(gè)縫隙,從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,檢漏時(shí)本底信號(hào)小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外,氦氣作為一種惰性氣體,性質(zhì)不活潑,不與真空器件起化學(xué)反應(yīng),無(wú)毒,也不會(huì)污染環(huán)境,因此使用起來(lái)也十分安全。噴氦法、吸氦法是在氦質(zhì)譜檢漏儀中常用的兩種方法。溫州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法
氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面:1.智能化:以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助,而現(xiàn)在的觸屏式,自動(dòng)檢測(cè)。2.便捷化:這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。3.自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。4.全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。金華推車式氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢可檢漏率即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。
氦質(zhì)譜檢漏儀故障維修:1、機(jī)械泵不動(dòng)作,檢查項(xiàng)目有:氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓是否正常,開關(guān)是否打開,繞組是否斷路或接地,電機(jī)是否過(guò)熱(泵冷卻后是否能啟動(dòng))。2、機(jī)械泵聲音異常,檢查油位是否合適,油質(zhì)是否變壞,油溫是否<10℃,油霧過(guò)濾器的出口有無(wú)氣體排出(如果無(wú)氣體排出,更換油霧過(guò)濾器)。3、分子泵故障燈亮,檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置,此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止,如風(fēng)扇正常,則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。
氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面:1.智能化:以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助,而現(xiàn)在的觸屏式,自動(dòng)檢測(cè)。2.便捷化:這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。3.自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。4.全無(wú)油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果,為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。
氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法原理:采用正壓法檢漏時(shí),需對(duì)被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室充入高于一個(gè)大氣壓力的氦氣,當(dāng)被檢產(chǎn)品表面有漏孔時(shí),氦氣就會(huì)通孔漏孔進(jìn)入被檢外表面的周圍大氣環(huán)境中,再采用吸口的方式檢測(cè)被檢產(chǎn)品周圍大氣環(huán)境中的氦氣濃度增量,從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏測(cè)量。按照收集氦氣方式的不同,又可以將正壓法分為正壓吸口法和正壓累積法。其中正壓吸口法采用檢漏儀吸口對(duì)被檢產(chǎn)品外表面進(jìn)行掃描探查,可以實(shí)現(xiàn)漏孔的精確定位; 正壓累積法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來(lái),采用檢漏儀吸口測(cè)量一定時(shí)間段前后的氦罩內(nèi)氦氣濃度變化量,實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的精確測(cè)量。正壓法的優(yōu)點(diǎn)是不需要輔助的真空系統(tǒng),可以精確定位,實(shí)現(xiàn)任何工作壓力下的檢測(cè)。氦質(zhì)譜檢漏儀通過(guò)質(zhì)譜室的重點(diǎn)供電和測(cè)量,成為供電的重點(diǎn)部分。金華推車式氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢
具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點(diǎn)。溫州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法
氦質(zhì)譜檢漏儀使用時(shí)的注意事項(xiàng):一、充注檢漏氣體前,試件必須抽空,為了正確試漏,在充注檢漏氣體前將試件預(yù)抽空是完全必要的,特別是對(duì)幾何形狀長(zhǎng)和窄的試件尤為重要。如果充注前未抽空,試件中的空氣將被擠壓至幾何空間的終端,而檢漏氣體不可能進(jìn)入這個(gè)部位,從而潛在的漏孔將只釋放空氣,檢漏儀則不能檢測(cè)到這些漏孔。二、檢漏氣體測(cè)試前切勿使用水槽試漏,檢漏氣體測(cè)試的漏孔通常非常微小或者是狹長(zhǎng)的毛細(xì)管,如果在檢漏氣體測(cè)試前將漏孔置于水槽中,這些漏孔或者毛細(xì)管則將被水堵塞或充滿,而堵在漏孔中的水因?yàn)楸砻鎻埩Φ脑?,?huì)非常不易從小孔中驅(qū)逐,從而影響檢漏結(jié)果。解決這一問(wèn)題的辦法,只能通過(guò)漫長(zhǎng)的干燥過(guò)程來(lái)排除這些水分。溫州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法
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