氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)展集中體現(xiàn)如下方面：1.智能化：以往的氦質(zhì)譜檢漏儀操作非常輔助，而現(xiàn)在的觸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。2.便捷化：這幾年市場(chǎng)上各種小型便捷的檢漏儀能夠?yàn)樾袠I(yè)提供小巧而靈敏性高的設(shè)備。3.自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過(guò)程。4.全無(wú)油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸氣的效果，為無(wú)油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。5.檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不只可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。氦質(zhì)譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測(cè)。臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機(jī)械泵油，適時(shí)對(duì)機(jī)械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時(shí)對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗，排除漏點(diǎn)。?氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？先用較細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無(wú)水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使檢漏儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過(guò)清洗維護(hù)后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。蘇州無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀單位氦質(zhì)譜檢漏儀適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏。
氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過(guò)漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測(cè)量。檢漏儀給出的漏率值為測(cè)量漏率，需要通過(guò)換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可以進(jìn)行批量化檢測(cè)。
妤林JQ-3300型全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀。主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)芯的制造借鑒國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，整機(jī)設(shè)計(jì)合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高，反應(yīng)快，開(kāi)機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)。檢漏效果達(dá)到國(guó)外先進(jìn)水平。電氣部件采用模塊式設(shè)計(jì)，使維護(hù)更方便，信號(hào)干擾更少，檢漏效果更好。 放大器采用世界先進(jìn)技術(shù)的晶圓(原裝），相比老款設(shè)備使用的美國(guó) AD 放大器，有效降低了檢漏儀本身的噪音，提高了檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間，靈敏度和檢漏效果。產(chǎn)品具有快速清理本底的功能。在一般檢漏情況下，本儀器不需要按下調(diào)零鍵，就能快速清理氦本底信號(hào)，這一技術(shù)在國(guó)內(nèi)是創(chuàng)新。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場(chǎng)等。
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中比較常用的兩種方法。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門(mén)、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。常州進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
氦質(zhì)譜檢漏儀需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測(cè)品工藝要求定期使用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)設(shè)備自身進(jìn)行校準(zhǔn)。臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)，由于常見(jiàn)氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級(jí)機(jī)械泵組成，因此在常規(guī)檢測(cè)時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測(cè)前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)
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