氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：首先要考慮到靈敏度必需充分滿足要求，選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時。但也不是越高越好。便攜式檢漏儀適于檢小件，靈敏度也較高，移動方便。由于本機(jī)真空系統(tǒng)很小，抽氣能力有限，所以檢大容器時就不得不靠較大輔助真空系統(tǒng)抽氣，由于氣體分流、靈敏度將降低。檢大容器時，一般選逆擴(kuò)散型檢漏儀，因被檢件接在分子泵錢級與機(jī)械泵連接管道上，要求真空度不高，而順檢型檢漏儀被檢件接在質(zhì)譜室上，要求真空度高，否則儀器不能工作，所以抽氣時間要長。如果在流水線上測振儀可選用特定檢漏儀或作簡單工裝使用。若平時被檢件什么樣的都可能有，可以選用基本型氦質(zhì)譜檢漏儀，以降低成本。氦質(zhì)譜檢漏儀真空壓力法主要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品。南通真空氦質(zhì)譜檢漏儀
使用氦質(zhì)譜檢漏儀要注意哪些問題？1、切勿放空或溢出檢漏氣體至試漏區(qū)，試漏中的可檢漏率與檢漏氣體的本底濃度關(guān)系甚大，盡管檢漏儀只檢測檢漏氣體的濃度變化，高的本底濃度還趨于出現(xiàn)高的波動。如果在試漏后將檢漏氣體排放在試漏區(qū)內(nèi)，那么在整個工作日內(nèi)本底濃度將不斷地增長。此外，在充注或排放中要確保無氣體溢出，并定期檢查連接件是否有漏。2、充注檢漏氣體前先檢查大漏，在充注檢漏氣體前應(yīng)快速測試是否存在大漏。否則，從大漏孔中溢出的檢漏氣體將污染試漏區(qū)。大漏孔的簡易測漏方法是將試件抽空，在短時間內(nèi)觀察是否保持抽空壓強(qiáng)，如試件能保持抽空壓強(qiáng)，則表明它不存在任何大漏孔，可充注檢漏氣體。無損氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦氦質(zhì)譜檢漏儀檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可。
氦質(zhì)譜檢漏儀開機(jī)步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，戴表壓強(qiáng)的質(zhì)譜室表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對被檢件噴氦檢漏。檢漏完畢。
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)集中體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰，自動調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏儀可以切實(shí)提高汽泵小機(jī)真空系統(tǒng)的檢漏效率。
氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下，以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動態(tài)檢漏時所能檢測出的較小漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到較佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時間不大于3s。所謂“較小可檢”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時，才能認(rèn)定有漏氣訊號輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的波動量。如果檢漏時用輔助系統(tǒng)抽氣（即對示漏氦氣有分流）。或用累積法檢漏時，給出儀器較小可檢氦濃度（即濃度靈敏度）。記為γmin，能較方便地估計(jì)檢漏效果。濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用出色量計(jì)測出通過針閥2進(jìn)入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。鹽城智能氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀在噴氦檢漏應(yīng)該注意檢漏場地要有良好的通風(fēng)條件，不應(yīng)影響噴口噴出的氦氣氣流的方向。南通真空氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸法檢漏；有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵。5、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。南通真空氦質(zhì)譜檢漏儀
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