全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn):1、操作簡便:全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀結(jié)合簡捷的雙鍵操作功能及內(nèi)置智能化系統(tǒng)可以提供簡單但強(qiáng)大的測試性能。2、功能強(qiáng)大:適用于各種檢漏方法,優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜室及真空系統(tǒng)功能強(qiáng)大,能適合各種檢漏方法的要求,以滿足各種各樣的檢漏應(yīng)用。3、配置齊全:多種系統(tǒng)配置,多種可選件,可以靈活地組成各種各樣的系統(tǒng)配置。4、堅(jiān)固耐用:在堅(jiān)固耐用方面的革新設(shè)計(jì),使得全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀能適應(yīng)各種惡劣的工業(yè)環(huán)境。適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。自動(dòng)氦氣檢測儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀常見的幾種檢漏法:1、負(fù)壓法檢漏,負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口,連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體,示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。根據(jù)產(chǎn)品的不同,需要選擇不同尺寸的夾具或輔助工具。2、壓氦法檢漏,壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中,然后連至檢漏儀將其抽空,示蹤氣體通過漏孔泄漏出來,經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。模塊式氦氣檢測儀特點(diǎn)氦檢儀噪聲是哪兒來的?
氦檢儀的型號較多,但基本結(jié)構(gòu)大同小異。它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。質(zhì)譜室:不同類型的氦檢儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異,都是由離子源、分析器和收集器三部分組成,它們放在一個(gè)抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。1)離子源。離子源的作用是使氣體分子電離,形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲(陰極)、離化室及離子加速極組成。2)分析器。分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng),從而將它們彼此分開,只使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場及一個(gè)出口電極組成,磁場方向與離子束入射方向垂直。3)收集極。收集極是對準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的,其作用是收集穿過出口電極狹縫的氦離子并通過一個(gè)電阻輸入到小電流放大器進(jìn)行離子流的放大和測量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A,要使小電流放大器第1極輸入信號電壓足夠大,則輸入電阻必需很大(一般高于1010歐),第1級放大用的靜電計(jì)管必須要高度絕緣,所以把高阻及靜電計(jì)管放在高真空的質(zhì)譜室中。
影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些?氦檢儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括8個(gè)方面:第1,氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二,進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算,這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。第八,之后也就是檢漏操作人員的因素,包括素質(zhì)、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高,用得普遍的氦檢儀器。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測量部分。
氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,而在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的:質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟,又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分;真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣系統(tǒng)的重點(diǎn)功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下,氦質(zhì)譜檢漏可能還會(huì)需要輔助真空系統(tǒng),完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。自動(dòng)氦氣檢測儀工作原理
氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。自動(dòng)氦氣檢測儀工作原理
氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號,而對其他氣體沒有反應(yīng),屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中,一旦出現(xiàn)信號,就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件,從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體,主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕,易于穿過漏孔,擴(kuò)散快,對分析設(shè)備制造的要求相對簡單;同時(shí)氦氣在空氣中含量少,本底壓力小,又為惰性氣體,不易發(fā)生反應(yīng)等等,都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。自動(dòng)氦氣檢測儀工作原理
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