氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因為選用氦氣作為示漏氣體而得名，但實際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。氦質(zhì)譜檢漏儀維護保養(yǎng)方法：機械泵維護，檢查機械泵油量，如低于較低標(biāo)線則添加泵油。無損氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀的日常保養(yǎng)與維護：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間。2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護工程師，才能使用此儀器。江蘇智能氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測。
VC均溫板散熱器為什么要用氦檢漏儀？如果VC均溫板產(chǎn)品密封不良，則會導(dǎo)致散熱效率降低，所以需要檢漏。通過銅管對腔體抽真空，當(dāng)真空度和氦檢儀的本底達(dá)到一定數(shù)值后，在產(chǎn)品表面噴吹氦氣，如果產(chǎn)品有泄露，氦氣會通過漏孔進入產(chǎn)品內(nèi)部，被氦檢儀捕捉到，實時顯示漏率，達(dá)到查找漏點的目的。也可以將產(chǎn)品包裹在氦氣的環(huán)境下，以達(dá)到檢測整體漏率的目的。使用氦質(zhì)譜檢漏儀時燈絲脆斷怎么辦？氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中，常見的故障就是燈絲脆斷，氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。因為純鎢絲高溫使用發(fā)生再結(jié)晶以后變得很脆，再受到?jīng)_擊或震動時極易斷裂。1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋；2.避免電離室泄入有害氣體（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。
氦質(zhì)譜檢漏儀開機如何操作？1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語。
氦質(zhì)譜檢漏儀開機步驟：1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴散泵”，燈亮，擴散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，戴表壓強的質(zhì)譜室表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請不要長時間開冷規(guī)，可等一會兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。5、將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對被檢件噴氦檢漏。檢漏完畢。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。江蘇智能氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀撿漏方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種。無損氦質(zhì)譜檢漏儀
氦質(zhì)譜檢漏儀的使用方法：1、氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。2、是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。3、質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。4、由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。無損氦質(zhì)譜檢漏儀
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