氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成的質(zhì)譜室、抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀是一種用氦氣作為示漏氣體進(jìn)行泄漏檢測(cè)的特定儀器,具有性能穩(wěn)定、靈敏度高等特點(diǎn)。在真空檢漏技術(shù)中,采用的是通用型檢漏儀器,具有較高的靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):1.檢測(cè)時(shí)間和周期非常短,可以達(dá)到5s以內(nèi);2.檢測(cè)的介質(zhì)比較常用,只需壓縮空氣即可;3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響;4.檢測(cè)的數(shù)據(jù)精確。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用
氦質(zhì)譜檢漏儀常用的檢漏方法:1、噴氦法,這是比較常用的一種方法,一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)噴氦,如果被檢器件某處有漏孔,當(dāng)氦噴到漏孔上時(shí),氦氣立即會(huì)被吸入到真空系統(tǒng),從而擴(kuò)散到質(zhì)譜室中,氦質(zhì)譜檢漏儀的輸出就會(huì)立即有響應(yīng)。2、吸氦法,吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如導(dǎo)彈彈體、彈頭、氣罐、油罐等,先將容器抽真空,再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量,可以用低濃度氦氣),在氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)氣法蘭處接上橡皮管,橡皮管的前端有直徑很小的毛細(xì)管,使毛細(xì)管在充了氦的被檢容器外壁的焊縫和密封接頭等處移動(dòng),如果該容器有漏隙,經(jīng)漏隙滲出的氦會(huì)被毛細(xì)管吸入,檢漏儀就會(huì)響應(yīng)。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用氦質(zhì)譜檢漏儀作為一種測(cè)量?jī)x器。
氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)集中體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:(1)便攜式:很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動(dòng)化程度高:自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,菜單選擇功能,一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,可采用干式泵,達(dá)到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。
氦質(zhì)譜檢漏儀使用時(shí)的注意事項(xiàng):一、充注檢漏氣體前,試件必須抽空,為了正確試漏,在充注檢漏氣體前將試件預(yù)抽空是完全必要的,特別是對(duì)幾何形狀長(zhǎng)和窄的試件尤為重要。如果充注前未抽空,試件中的空氣將被擠壓至幾何空間的終端,而檢漏氣體不可能進(jìn)入這個(gè)部位,從而潛在的漏孔將只釋放空氣,檢漏儀則不能檢測(cè)到這些漏孔。二、檢漏氣體測(cè)試前切勿使用水槽試漏,檢漏氣體測(cè)試的漏孔通常非常微小或者是狹長(zhǎng)的毛細(xì)管,如果在檢漏氣體測(cè)試前將漏孔置于水槽中,這些漏孔或者毛細(xì)管則將被水堵塞或充滿,而堵在漏孔中的水因?yàn)楸砻鎻埩Φ脑?,?huì)非常不易從小孔中驅(qū)逐,從而影響檢漏結(jié)果。解決這一問題的辦法,只能通過漫長(zhǎng)的干燥過程來排除這些水分。選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮的問題有哪些?
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則:1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),由于一個(gè)設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個(gè)單個(gè)漏孔,所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。如一個(gè)設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對(duì)象,所用方法簡(jiǎn)便易行,經(jīng)濟(jì)實(shí)用。低噪聲、低振動(dòng),設(shè)備堅(jiān)實(shí)牢固;性能可靠,操作簡(jiǎn)便,造型美觀,售后服務(wù)周到;自保護(hù)功能,防止本底被污染;檢漏效率高,帶故障提示和報(bào)警功能。氦質(zhì)譜檢漏儀在充注檢漏氣體前,試件必須抽空。妤林氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)
氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用
氦質(zhì)譜檢漏儀常見的檢漏法:1、負(fù)壓法檢漏,負(fù)壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測(cè)口,連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體,示蹤氣體通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測(cè)。一般電子器件的外殼、高壓開關(guān)管、氧化鋅、避雷器等都應(yīng)采用這種方法檢漏。2、正壓法檢漏,正壓法檢漏與負(fù)壓法檢漏相反,吸口接在檢漏儀的檢測(cè)口,而被檢件充入規(guī)定壓力的示蹤氣體,漏孔泄漏出來氦氣被吸入檢漏儀被檢測(cè)。大型容器或內(nèi)部放氣管量很大的容器做負(fù)壓檢漏很不經(jīng)濟(jì),而且檢漏速度慢,一般采取正壓檢漏。3、壓氦法檢漏,壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中,然后連至檢漏儀將其抽空,示蹤氣體通過漏孔泄漏出來,經(jīng)檢漏儀檢測(cè)總泄漏量。江蘇模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用
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