廈門晶圓級MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

啟樸芯微擁有先進的8英寸MEMS研發(fā)與微納加工服務(wù)中試線，實驗區(qū)內(nèi)設(shè)置有激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機、電子束蒸鍍儀、鍵合機、濕法腐蝕系統(tǒng)、磁控濺射儀、原子層沉積設(shè)備、化學(xué)機械拋光機、自動涂膠顯影系統(tǒng)等整套技術(shù)設(shè)備，配套百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圓級加工，生產(chǎn)過程中嚴格遵守企業(yè)內(nèi)部生產(chǎn)定標準與客戶方需求，遵循生產(chǎn)員與質(zhì)檢員登記對接制度，針對不同業(yè)務(wù)進度進行檢驗工作。在具備技術(shù)能力的基礎(chǔ)上，啟樸芯微持續(xù)助力廣大客戶的技術(shù)迭代與項目推進！廈門晶圓級MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

走進寧波啟樸芯微的實驗區(qū)，仿佛進入了一個科技的世界。先進的設(shè)備琳瑯滿目，科研人員們忙碌地工作著。8英寸MEMS規(guī)?；庸し?wù)ODM產(chǎn)線在這里高效運轉(zhuǎn)，每一道工序都經(jīng)過精心設(shè)計和嚴格把控。**研發(fā)室里，創(chuàng)新的思維不斷碰撞，新的技術(shù)和方法不斷涌現(xiàn)。光學(xué)實驗室中，科研人員們利用先進的光學(xué)設(shè)備，對產(chǎn)品進行深入的研究和分析。百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間和微納加工實驗室，為產(chǎn)品的質(zhì)量提供了堅實的保障。這條產(chǎn)線的建立，不僅提升了我國在芯片領(lǐng)域的自主創(chuàng)新能力，還為我國科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了強大的動力。溫州高精度MEMS微納加工專業(yè)技術(shù)團隊啟樸芯微，一家兼具MEMS產(chǎn)品研發(fā)、成果轉(zhuǎn)化與應(yīng)用的科創(chuàng)企業(yè)。

微機電系統(tǒng)（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）是一種將微型機械結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器與電子電路集成在單一芯片上的技術(shù)。其**是通過微納加工工藝（如光刻、薄膜沉積、離子刻蝕等），在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米級別的三維可動結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)能夠感知或操控物理量（如壓力、加速度、溫度等），并通過嵌入式電路實現(xiàn)信號處理與通信。MEMS的制造技術(shù)借鑒了半導(dǎo)體工藝，但增加了機械部件的設(shè)計，例如通過深反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）形成懸臂梁、空腔或微型齒輪。這種技術(shù)的高度集成性使得MEMS器件在體積、功耗和成本上***優(yōu)于傳統(tǒng)機電系統(tǒng)，同時具備高靈敏度和快速響應(yīng)能力，成為現(xiàn)代智能設(shè)備的**組件之一。

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司成立于2022年9月，是一家專注于像元級光譜和偏振超維光學(xué)芯片及光學(xué)系統(tǒng)解決方案的科技研發(fā)型企業(yè)，自主可控國內(nèi)首條8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線，具備光刻、深硅刻蝕、鍵合、PVD、ALD、濕法腐蝕與清洗、氧化退火、CMP、激光隱形切割、SEM、FIB等加工與測試能力，兼容8/6/4英寸晶圓級微納加工。作為一個兼具產(chǎn)品開發(fā)能力和技術(shù)加工能力的科技型企業(yè)，本著“斫雕為樸，芯程再啟”的企業(yè)宗旨，啟樸芯微將展示在MEMS產(chǎn)品設(shè)計、晶圓加工、工藝檢驗等不同環(huán)節(jié)的技術(shù)服務(wù)能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蝕、鍵合、濕法腐蝕與清洗、氧化退火、激光隱形切割、光譜橢偏測試、傅里葉紅外光譜測試、探針臺階測試等服務(wù)方案和應(yīng)用成果。寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司，具備MEMS加工與測試能力。

小型多光譜相機是科技與藝術(shù)的完美結(jié)合。它的外觀設(shè)計精美，功能強大。多個鏡頭和濾波模組的組合，使得它能夠獲取豐富的光譜信息。光纖傳輸元件和計算機處理系統(tǒng)的配合，使得圖像的傳輸和處理更加高效。啟樸芯微團隊自主研發(fā)的配套PC端應(yīng)用程序，為用戶提供了簡潔易用的操作界面和強大的數(shù)據(jù)處理功能。在人體膚質(zhì)、工業(yè)制品、植物等不同使用環(huán)境中的應(yīng)用，展示了它的***適用性。這一產(chǎn)品的出現(xiàn)，不僅滿足了市場的需求，還推動了科技與藝術(shù)的融合發(fā)展。啟樸芯微，持續(xù)追求“精耕細耘，以業(yè)為本”的服務(wù)目標，精益求精！廈門晶圓級MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

光刻、刻蝕、氧化退火、激光隱切、濕法腐蝕清洗、拋光、濺射鍍膜，啟樸芯微MEMS微納加工服務(wù)值得信賴。廈門晶圓級MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

MEMS技術(shù)已滲透到消費電子、汽車、醫(yī)療、工業(yè)及航空航天等多個領(lǐng)域。在消費電子中，智能手機依賴MEMS加速度計、陀螺儀實現(xiàn)屏幕旋轉(zhuǎn)和運動追蹤，麥克風與氣壓計也基于MEMS技術(shù)；智能手表通過光學(xué)MEMS傳感器監(jiān)測心率。在汽車行業(yè)，MEMS壓力傳感器用于發(fā)動機控制，安全氣囊的觸發(fā)依賴加速度計，胎壓監(jiān)測系統(tǒng)（TPMS）也由其實現(xiàn)。醫(yī)療領(lǐng)域，MEMS被用于可穿戴健康監(jiān)測設(shè)備、微型藥物輸送泵及高精度手術(shù)工具，例如內(nèi)窺鏡中的**頭。此外，工業(yè)自動化中的振動監(jiān)測、環(huán)境傳感（如溫濕度、氣體檢測）以及航空航天中的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)均離不開MEMS。其小型化和低功耗特性尤其適合物聯(lián)網(wǎng)（IoT）設(shè)備，推動了智慧城市和遠程監(jiān)測的發(fā)展。廈門晶圓級MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化