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來源: 發(fā)布時間:2022-07-03

    其從第二處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第二處理裝置的裝載端口設置;區(qū)段間頂棚軌道,其將第1區(qū)段內頂棚軌道與第二區(qū)段內頂棚軌道連結;第1保管部和第二保管部,它們在第1區(qū)段內頂棚軌道和第二區(qū)段內頂棚軌道各自的下方且側方沿上下方向設置有多層,并用于保管物品;第1交接端口和第二交接端口,它們設置于第1區(qū)段內頂棚軌道和第二區(qū)段內頂棚軌道各自的下方且側方;第1起重機,其具備沿著第1區(qū)段內頂棚軌道行駛的第1行駛部、從第1行駛部垂下的第1桅桿、以及被第1桅桿引導而升降的第1移送部,并且在第1處理裝置的裝載端口、第1保管部、以及第1交接端口之間搬運物品;第二起重機,其具備沿著第二區(qū)段內頂棚軌道行駛的第二行駛部、從第二行駛部垂下的第二桅桿、以及被第二桅桿引導而升降的第二移送部,并且在第二處理裝置的裝載端口、第二保管部、以及第二交接端口之間搬運物品;以及高架搬運車,其具備行駛部、用于保持物品的保持部、懸掛保持部且使保持部升降的升降驅動部、以及使升降驅動部向側方突出的橫向伸出機構,并且在第1交接端口與第二交接端口之間搬運物品,上述行駛部沿著第1區(qū)段內頂棚軌道、第二區(qū)段內頂棚軌道、以及區(qū)段間頂棚軌道行駛。另外。棲霞區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家!閔行區(qū)牛皮袋真空搬運機哪家有

    發(fā)明內容本實用新型的目的在于克服以上不足,提供一種新型真空搬運機械手,利用真空原理,吸附物體,進而平衡物體的重力,使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下,輕松完成物體的搬運、翻轉、裝配等工序,操作簡單、運作省力、高效安全。本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉座、主旋轉軸、主關節(jié)鎖死裝置、大側板、擺動主臂、擺動副臂、副關節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉座、旋轉臂主軸、旋轉臂、垂臂旋轉座、副旋轉軸、下垂臂、扶手、真空吸盤,移動小車截面呈長方形,其底部四角各設有一萬向輪,移動小車頂端中部設有立柱,左側設有拉桿,立柱頂端設有主旋轉座,可旋轉360°,主旋轉座通過主旋轉軸與大側板相連接,大側板內設有氣壓控制閥,氣壓控制閥與主升降氣缸相連接,大側板左側下端設有主升降氣缸,大側板上設有內側板,主旋轉座和大側板之間設有主關節(jié)鎖死裝置,擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側板相連接,另一端分別與連接板相連接,擺動主臂位于擺動副臂下側并與擺動副臂相平行,橫臂旋轉座通過旋轉臂主軸與旋轉臂相連接,旋轉臂可旋轉300°,旋轉臂和橫臂旋轉座之間設有副關節(jié)鎖死裝置。閔行區(qū)牛皮袋真空搬運機哪家有高淳區(qū)糖袋真空搬運機推薦廠家!

    第二行駛部41b同樣具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6),并沿著第二區(qū)段內頂棚軌道12行駛。行駛驅動部例如可以是設置于第1、第二行駛部41a、41b且驅動車輪71a的電動馬達,也可以是使用頂棚軌道10設置的線性馬達。第1行駛部41a也可以能夠從第1區(qū)段內頂棚軌道11駛入第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。第二行駛部41b也可以能夠從第二區(qū)段內頂棚軌道12駛入第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14地進行行駛。根據(jù)該結構,第1、第二起重機40a、40b根據(jù)需要而能夠容易地經由第1區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14在第1區(qū)段內頂棚軌道11與第二區(qū)段內頂棚軌道12之間移動。第1、第二桅桿42a、42b從第1、第二行駛部41a、41b垂下并沿上下方向延伸,引導第1、第二升降臺43a、43b。第1、第二桅桿42a、42b形成為中空或者實心的棒狀,截面形成為圓形狀、橢圓形狀、長圓形狀、或者四邊形狀等多邊形狀。第1、第二桅桿42a、42b的下端被設定為從地板面隔開規(guī)定間隔的狀態(tài)。在圖4中,在第1、第二行駛部41a、41b的下方經由安裝部46安裝有上部支承體47。第1、第二桅桿42a、42b安裝于上部支承體47的下表面?zhèn)取?/p>

    各子吸盤下端面相平,所述子吸盤包括氣罩,所述氣罩上端與密封腔連通,所述氣罩下端密封設置有皮套。進一步地,所述皮套中間位置連接有向上的拉桿,所述氣罩上端與拉桿對應位置處開有導向孔,所述氣罩上環(huán)繞導向孔還環(huán)繞設置有2-6個氣孔,所述氣孔下端外側還設置有緩沖環(huán),所述拉桿上還設置有擋板,擋板隨拉桿上升時能夠與緩沖環(huán)密封,所述拉桿上端還設置有限位環(huán)。進一步地,所述皮套中間位置設置有夾板,所述拉桿與夾板相連。進一步地,所述擋板截面為向下的錐形。進一步地,所述密封腔的上壁和下壁之間設置有3-6根支撐桿。進一步地,所述氣罩靠近下端的截面面積大于靠近上端的截面面積。本實用新型的有益效果在于:增加子吸盤,子吸盤包括氣罩,所述氣罩上端與密封腔連通,所述氣罩下端密封設置有皮套,任一個子吸盤吸附石板均能夠為石板提供支撐;設置皮套能夠保證不與石板密封的子吸盤不漏氣;設置拉桿、導向孔、擋板、限位環(huán)、氣孔、緩沖環(huán),能夠有效的限制皮套的變形量,在保證真空吸力的情況下避免拉壞皮套,提高使用壽命;設置夾板,能夠提高皮套的受力面積,保證皮套使用壽命;設置支撐桿,能夠防止密封腔變形。附圖說明圖1為真空吸吊機結構圖示意圖。江寧區(qū)室內深加工真空搬運機推薦廠家!

    第1、第二起重機40a、40b在下層的第1、第二保管部20a、20b與上層的第1、第二保管部20a、20b之間搬運物品2。高架搬運車50沿著頂棚軌道10(第1區(qū)段內頂棚軌道11、第二區(qū)段內頂棚軌道12、第1區(qū)段間頂棚軌道13、以及第二區(qū)段間頂棚軌道14)移動,在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之間進行物品2的交接。圖5是表示高架搬運車50的一個例子的圖。如圖5所示,高架搬運車50具有行駛部51和主體部52。行駛部51與第1、第二行駛部41a、41b相同地,具備未圖示的行駛驅動部和多個車輪71a(參照圖6),并沿著頂棚軌道10行駛。行駛驅動部例如可以是設置于行駛部51且驅動車輪71a的電動馬達,也可以是使用頂棚軌道10設置的線性馬達。主體部52經由安裝部52a安裝于行駛部51的下部。主體部52具有:保持部53,其保持物品2;升降驅動部54,其懸掛保持部53且使其升降;以及橫向伸出機構55,其使升降驅動部54移動。保持部53通過把持物品2的凸緣部2a而懸掛保持物品2。保持部53例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部53a的卡盤,使爪部53a侵入至物品2的凸緣部的下方,使保持部53上升,由此保持物品2。江寧區(qū)糖袋真空搬運機推薦廠家!睢寧多功能真空搬運機哪里可以買到

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    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術:在半導體制造工廠等制造工廠中,為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運,提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如,參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運車和起重機對應地,分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此,存在不僅對軌道的設置花費成本,需要用于鋪設各軌道的空間,而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應,因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本,并且分擔高架搬運車與起重機的作用,由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備:第1區(qū)段內頂棚軌道,其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置;第二區(qū)段內頂棚軌道。閔行區(qū)牛皮袋真空搬運機哪家有

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