本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設于地板面的軌道行駛的起重機的結構(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應地，分別設置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設置花費成本，需要用于鋪設各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設置位置與兩個軌道對應，因此對處理裝置等的布局產生限制的問題。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設置；第二區(qū)段內頂棚軌道。江寧區(qū)糖袋真空搬運機推薦廠家！濱湖區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家
另外加上海綿吸盤唇，確保吸盤能安全吸附。對于表面比較光滑的工件如玻璃一般選用天然橡膠或者丁腈膠吸盤。機械手的工作環(huán)境的溫度，濕度以及工件溫度等都會影響的吸盤材質的選擇。權利要求1.一種新型真空搬運機械手，含有萬向輪、移動小車、拉桿、立柱、主升降氣缸、主旋轉座、主旋轉軸、主關節(jié)鎖死裝置、大側板、擺動主臂、擺動副臂、副關節(jié)鎖死裝置、連接板、橫臂旋轉座、旋轉臂主軸、旋轉臂、垂臂旋轉座、副旋轉軸、下垂臂、扶手、真空吸盤，其特征是移動小車截面呈長方形，其底部四角各設有一萬向輪，移動小車頂端中部設有立柱，左側設有拉桿，立柱頂端設有主旋轉座，可旋轉360°，主旋轉座通過主旋轉軸與大側板相連接，立柱頂端與大側板右側下端相連接，大側板內設有氣壓控制閥，氣壓控制閥與主升降氣缸相連接，大側板左側下端設有主升降氣缸，大側板上設有內側板，主旋轉座和大側板之間設有主關節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側板相連接，另一端分別與連接板相連接，擺動主臂位于擺動副臂下側并與擺動副臂相平行，橫臂旋轉座通過旋轉臂主軸與旋轉臂相連接，旋轉臂可旋轉300°，旋轉臂和橫臂旋轉座之間設有副關節(jié)鎖死裝置，旋轉臂末端設有垂臂旋轉座。濱湖區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家雨花臺區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！
在圖1至圖3中包括有：1——機械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動槽12——豎板固定座2——中間活動板3——前端活動架4——水平導軌副41——水平導軌42——水平滑塊5——豎向導軌副51——豎向導軌52——豎向滑塊61——吸盤安裝架62——真空吸盤71——活動架驅動塊72——活動架驅動軸73——軸承8——機械手驅動電機9——驅動軸撥動塊。具體實施方式下面結合具體的實施方式來對本實用新型進行說明。如圖1至圖3所示，一種新式真空搬運式機械手，包括有機械手安裝架1，機械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11，固定安裝豎板11的下端側裝設有豎板固定座12，豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進一步的，固定安裝豎板11的前端側可相對活動地裝設有分別呈豎向布置的中間活動板2、前端活動架3，前端活動架3位于中間活動板2的前端側，中間活動板2與固定安裝豎板11之間裝設有呈水平橫向布置的水平導軌副4，前端活動架3與中間活動板2之間裝設有呈豎向布置的豎向導軌副5，前端活動架3的下端部裝設有吸盤安裝架61，吸盤安裝架61裝設有真空吸盤62。更進一步的，固定安裝豎板11的前表面開設有呈“n”形狀的活動槽111，前端活動架3螺裝有活動架驅動塊71。
第1區(qū)段間頂棚軌道13經由第1連接軌道15與第1區(qū)段內頂棚軌道11和第二區(qū)段內頂棚軌道12各自的一個端部(+y側的端部)連結。第二區(qū)段間頂棚軌道14經由第二連接軌道16與第1區(qū)段內頂棚軌道11和第二區(qū)段內頂棚軌道12各自的另一個端部(-y側的端部)連結。第1連接軌道15具有入口部15a和出口部15b作為兩個軌道。入口部15a形成供高架搬運車50從第1區(qū)段間頂棚軌道13向第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12行駛的路徑。出口部15b形成供高架搬運車50從第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12向第1區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑。第二連接軌道16與第1連接軌道15相同地，具有入口部16a和出口部16b作為兩個軌道。入口部16a形成供高架搬運車50從第二區(qū)段間頂棚軌道14向第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12行駛的路徑。出口部16b形成供高架搬運車50從第1區(qū)段內頂棚軌道11或者第二區(qū)段內頂棚軌道12向第二區(qū)段間頂棚軌道14行駛的路徑。此外，在本實施方式中，示出第1連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子，但第1連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀。如圖1所示，第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1保管區(qū)域sa1。如圖1所示。江寧區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！
可旋轉360°，垂臂旋轉座與副旋轉軸相連接，副旋轉軸與下垂臂相連接，下垂臂上設有扶手，扶手上設有電腦控制盒，下垂臂末端設有真空吸盤，真空吸盤下端吸有工件。摘要一種新型真空搬運機械手，屬于一種機械手。機械手立柱頂端設有主旋轉座，主旋轉座通過主旋轉軸與大側板相連接，大側板左側下端設有主升降氣缸，主旋轉座和大側板之間設有主關節(jié)鎖死裝置，擺動主臂和擺動副臂一端分別與大側板相連接，另一端分別與連接板相連接，橫臂旋轉座通過旋轉臂主軸與旋轉臂相連接，旋轉臂和橫臂旋轉座之間設有副關節(jié)鎖死裝置，旋轉臂末端設有垂臂旋轉座，垂臂旋轉座與副旋轉軸相連接，副旋轉軸與下垂臂相連接，下垂臂末端設有真空吸盤。該機械手利用真空原理，吸附物體，進而平衡物體的重力，使操作人員在基本感覺不到物體重力的情況下，輕松完成物體的搬運、翻轉、裝配等工序，操作簡單、運作省力、高效安全。江寧區(qū)牛皮袋真空搬運機推薦廠家！常州工業(yè)真空搬運機推薦廠家
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驅動部45b被控制裝置60等控制，使第1、第二升降臺43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，驅動部45b被控制裝置60等控制，將第1、第二升降臺43a、43b保持于目標高度。雖然第1、第二升降驅動部45a、45b設置于上部支承體47(第1、第二行駛部41a、41b)，但并不限定于該結構。第1、第二升降驅動部45a、45b例如也可以設置于第1、第二升降臺43a、43b。作為在第1、第二升降臺43a、43b設置第1、第二升降驅動部45a、45b的結構，例如可以利用搭載于第1、第二升降臺43a、43b的升降機等對從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進行卷起或者抽出而使第1、第二升降臺43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降臺43a、43b搭載用于驅動小齒輪的電動馬達等，在第1、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條，驅動電動馬達等而使小齒輪旋轉由此使第1、第二升降臺43a、43b升降。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，第1、第二起重機40a、40b將物品2從當前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1、第二保管部20a、20b搬運。例如。濱湖區(qū)工業(yè)真空搬運機推薦廠家
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