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分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場(chǎng)合的需要。真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。虹口區(qū)標(biāo)準(zhǔn)泵推薦廠家
正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。 真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。 真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。寶山區(qū)質(zhì)量泵聯(lián)系方式真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。
真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆?;覊m,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。 真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。 真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
水環(huán)真空泵(簡(jiǎn)稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī),稱為水環(huán)式壓縮機(jī),是屬于低壓的壓縮機(jī),其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。 水環(huán)泵初始用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中,如真空過(guò)濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到了應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個(gè)很大的范圍,至今為止還沒(méi)有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個(gè)范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到較好的配置,選擇真空系統(tǒng)時(shí),應(yīng)考慮下述各點(diǎn): 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。 在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的工作真空度。一般來(lái)講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級(jí)泵的極限真空度低50%。 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。松江區(qū)有口碑的泵質(zhì)量服務(wù)
真空泵用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。虹口區(qū)標(biāo)準(zhǔn)泵推薦廠家
在經(jīng)濟(jì)環(huán)境方面,對(duì)照日本、韓國(guó)的各類空調(diào)相關(guān)節(jié)能產(chǎn)品,產(chǎn)品的售后服務(wù),空調(diào)銷售消費(fèi)變遷史,當(dāng)人均GNI(國(guó)民總收入)達(dá)到8000國(guó)際元時(shí),各類空調(diào)相關(guān)節(jié)能產(chǎn)品,產(chǎn)品的售后服務(wù),空調(diào)銷售消費(fèi)開(kāi)始發(fā)生變化。主要是兩方面,一是功能消費(fèi)轉(zhuǎn)向品質(zhì)消費(fèi),二是從剛需轉(zhuǎn)向非必需消費(fèi)。近年來(lái),我國(guó)家用電器產(chǎn)品的需求旺盛,整個(gè)行業(yè)迅猛發(fā)展,相關(guān)產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)的普及率得到較大的提升。目前,中國(guó) 家庭的家用電器以廚房為主,廚房是家用電器中普及度高的子行業(yè)。伴隨互聯(lián)網(wǎng)成長(zhǎng)起來(lái)的80、90后成為主要消費(fèi)群體,年輕一代追求時(shí)尚、注重個(gè)性與品質(zhì),新興品類的產(chǎn)品不僅滿足了他們精致與創(chuàng)新的生活方式,還迎合了當(dāng)下的消費(fèi)潮流。大眾消費(fèi)能力的提升,消費(fèi)人群更迭,促進(jìn)了生產(chǎn)型迅速成長(zhǎng)。我國(guó)的各類空調(diào)相關(guān)節(jié)能產(chǎn)品,產(chǎn)品的售后服務(wù),空調(diào)銷售市場(chǎng)逐漸回暖是一種新常態(tài),很多零售企業(yè)也加快了轉(zhuǎn)型的腳步。根據(jù)**近五年的各類空調(diào)相關(guān)節(jié)能產(chǎn)品,產(chǎn)品的售后服務(wù),空調(diào)銷售市場(chǎng)的發(fā)展情況來(lái)看,我國(guó)的政策紅利逐漸消退。虹口區(qū)標(biāo)準(zhǔn)泵推薦廠家
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