金山區(qū)新型泵修理

往復(fù)式真空泵(又稱活塞式真空泵)屬于低真空獲得設(shè)備，用以從內(nèi)部壓力等于或低于一個(gè)大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過35C。往復(fù)泵的極限壓力，單級(jí)為4×10～10Pa，雙級(jí)可達(dá)1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。往復(fù)泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結(jié)晶、真空過濾等方面抽除氣體。 往復(fù)式真空泵對(duì)于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進(jìn)口處必須加裝過濾器。真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。金山區(qū)新型泵修理

水環(huán)真空泵（簡(jiǎn)稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī)，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。 水環(huán)泵初始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到了應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。崇明區(qū)現(xiàn)代泵研發(fā)真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。

滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設(shè)備上?；y泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種型式。單級(jí)泵的極限壓力對(duì)小泵≤0.6Pa，對(duì)大泵≤1.4Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級(jí)泵的極限壓力≤0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。 由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡，在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，因此小廠很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡?？梢酝ㄟ^動(dòng)平衡測(cè)試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)做好滑閥的質(zhì)量平衡。

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場(chǎng)合的需要。常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等。

正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。 真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。 真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。長(zhǎng)寧區(qū)有口碑的泵研發(fā)

真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。金山區(qū)新型泵修理

正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。金山區(qū)新型泵修理

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