國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,較大的提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。真空泵用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。崇明區(qū)有名的泵出廠價格
滑閥泵由于其結構特點,容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設備上?;y泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa,對大泵≤1.4Pa(均關氣鎮(zhèn)),雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(關氣鎮(zhèn))。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。 由于滑閥泵的旋轉質(zhì)量有較大的偏心,如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡,在運轉時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉質(zhì)心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線,因此小廠很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。可以通過動平衡測試和雙缸或三缸結構做好滑閥的質(zhì)量平衡。黃浦區(qū)質(zhì)量泵客戶至上真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。
真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補焊高溫產(chǎn)生的熱應力無法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復金屬,無法改變“硬對硬”的配合關系,在各力綜合作用下,仍會造成再次磨損。當代西方國家針對以上問題多使用高分子復合材料的修復方法,而應用較多的有美國美嘉華技術體系,其具有較強的粘著力,優(yōu)異的抗壓強度等綜合性能。應用高分子材料修復,可免拆卸,免機加工。既無補焊熱應力影響,修復厚度也不受限制,同時產(chǎn)品所具有的金屬材料不具備的退讓性,可吸收設備的沖擊震動,避免再次磨損的可能,并延長設備部件的使用壽命,為企業(yè)節(jié)省大量的停機時間,創(chuàng)造巨大的經(jīng)濟價值。
油封式真空泵結構特點分類: a旋片式真空泵:轉子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近,在轉子槽內(nèi)裝有兩個(或兩個以上)旋片,當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸,此旋片隨轉子一起旋轉,可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。 b.滑閥式真空泵:在偏心轉子外部裝有一個滑閥,轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動,而泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。 c.定片式真空泵:在泵殼內(nèi)裝有一個與泵內(nèi)表面靠近的偏心轉子,泵殼上裝有一個始終與轉子表面接觸的徑向滑片,當轉子旋轉時,滑片能上下滑動將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。 d.余擺線式真空泵:在泵腔內(nèi)偏心裝有一個型線為余擺線的轉子,它沿泵腔內(nèi)壁轉動并將泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。 e.多室旋片式真空泵:在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機驅(qū)動的多個單獨的工作室的旋片真空泵。真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。
正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空泵的價格、運轉及維修費用。常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等。徐匯區(qū)自制泵出廠價格
真空泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養(yǎng)。崇明區(qū)有名的泵出廠價格
真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。 了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。 真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。崇明區(qū)有名的泵出廠價格
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