蘇州在線環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

中源綠凈為核電部件檢測(cè)潔凈室開(kāi)發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了輻射與潔凈度協(xié)同監(jiān)測(cè)能力。應(yīng)用場(chǎng)景：核電承壓部件無(wú)損檢測(cè)潔凈室。針對(duì)檢測(cè)區(qū) 8 級(jí)潔凈環(huán)境，部署耐輻射監(jiān)測(cè)終端（耐受累計(jì)輻射劑量 100kGy），同步采集 1μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 10 秒）、空氣中放射性氣溶膠含量（量程 0~100Bq/m3，精度 ±5Bq/m3）、溫濕度及氣壓。采用半導(dǎo)體輻射探測(cè)器實(shí)現(xiàn)放射性實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，響應(yīng)時(shí)間≤2 秒，數(shù)據(jù)傳輸采用光纖加密方式，確?？垢蓴_性和保密性。系統(tǒng)具備遠(yuǎn)程操控功能，支持在輻射控制區(qū)外完成參數(shù)配置與數(shù)據(jù)調(diào)取，減少人員輻射暴露風(fēng)險(xiǎn)。通過(guò)與通風(fēng)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)提升換氣次數(shù)至 60 次 / 小時(shí)，使部件檢測(cè)缺陷誤判率下降 45%。已在中核武漢核電運(yùn)行技術(shù)股份有限公司等應(yīng)用，符合 GB 18871 輻射防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈為 30+3D 打印材料企業(yè)降低打印件缺陷率，提升產(chǎn)品質(zhì)量！蘇州在線環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

中源綠凈為精密儀器裝配潔凈室開(kāi)發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)解決了微振動(dòng)與潔凈度的同步管控問(wèn)題。針對(duì)光學(xué)儀器、精密量具的裝配 100 級(jí)潔凈區(qū)，配置了一體化監(jiān)測(cè)終端，可同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 10 秒）、環(huán)境振動(dòng)（頻率范圍 1~1000Hz，測(cè)量精度 ±0.001mm/s）、空氣流速（0.2~0.4m/s）等參數(shù)。采用壓電式振動(dòng)傳感器實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz，確保捕捉細(xì)微振動(dòng)信號(hào)。搭配振動(dòng)源定位算法，能快速識(shí)別設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動(dòng)超標(biāo)，使精密儀器裝配精度提升 40%。該系統(tǒng)已適配蔡司、徠卡等企業(yè)的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，在 顯微鏡裝配車間應(yīng)用中，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.92% 以上。深圳芯片半導(dǎo)體環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中源綠凈在環(huán)境監(jiān)測(cè)方面，為 30 + 核電站提供專業(yè)監(jiān)測(cè)，確保生產(chǎn)安全無(wú)事故！

中源綠凈在半導(dǎo)體光刻潔凈室環(huán)境監(jiān)測(cè)中，打造了微粒 - 溫濕度 - 氣壓多參數(shù)協(xié)同體系。應(yīng)用場(chǎng)景：半導(dǎo)體光刻工藝潔凈室。針對(duì) 10 級(jí)光刻潔凈區(qū)，采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)終端的高密度部署，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 0.1μm 微粒濃度（采樣流量 50L/min，數(shù)據(jù)更新周期 2 秒）、溫度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、濕度（45±2% RH，精度 ±1%）及相鄰區(qū)域壓差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系統(tǒng)搭載的激光粒子計(jì)數(shù)器 小分辨率達(dá) 0.1μm，可捕捉極細(xì)微顆粒變化。通過(guò)與空調(diào)系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)溫濕度偏離設(shè)定值時(shí) 10 秒內(nèi)完成動(dòng)態(tài)補(bǔ)償，使光刻膠涂覆均勻度提升 30%。已在中芯國(guó)際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用，符合 SEMI S2 安全標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定達(dá)標(biāo)率 99.96%。

中源綠凈為電子封裝潔凈室開(kāi)發(fā)的環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)解決了微塵與有害氣體的復(fù)合監(jiān)測(cè)問(wèn)題。針對(duì)芯片封裝的 100 級(jí)潔凈區(qū)，配置了多參數(shù)集成監(jiān)測(cè)終端，同步采集 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 5 秒）、VOCs 濃度（檢測(cè)范圍 0~5ppm，精度 ±0.05ppm）、溫濕度及靜電電壓（量程 - 1000~+1000V）。采用光離子化傳感器（PID）檢測(cè)有機(jī)揮發(fā)物，響應(yīng)時(shí)間≤2 秒，配合微粒溯源算法，可快速定位污染源頭。系統(tǒng)支持與 FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元）聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)，當(dāng)微粒濃度超標(biāo)時(shí)自動(dòng)提升風(fēng)速至 0.45m/s，使封裝缺陷率降低 42%。該系統(tǒng)已適配英特爾、三星電子的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，在先進(jìn)封裝車間應(yīng)用中，環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.95% 以上。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備，幫 55 + 蓄電池廠控制鉛污染，排放降低 40%！

中源綠凈為半導(dǎo)體芯片封裝潔凈室開(kāi)發(fā)的潔凈度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，重點(diǎn)強(qiáng)化了微粒與靜電協(xié)同監(jiān)測(cè)能力。應(yīng)用場(chǎng)景：芯片封裝測(cè)試潔凈車間。依據(jù) JEDEC J-STD-033 標(biāo)準(zhǔn)，在 100 級(jí)封裝區(qū)部署每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)，同步監(jiān)測(cè) 0.3μm 微粒濃度（采樣頻率 1 次 / 3 秒）、靜電電壓（量程 - 1000~+1000V，精度 ±5V）及空氣流速（0.3~0.5m/s）。采用非接觸式靜電傳感器與激光粒子計(jì)數(shù)器組合方案，響應(yīng)時(shí)間均≤0.5 秒。系統(tǒng)具備與鍵合設(shè)備聯(lián)動(dòng)功能，參數(shù)異常時(shí)立即觸發(fā)離子風(fēng)扇調(diào)節(jié)，使引線鍵合不良率下降 48%。已在長(zhǎng)電科技、通富微電等企業(yè)應(yīng)用，通過(guò)半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室認(rèn)證，監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈為 80 + 企業(yè)提供的環(huán)境監(jiān)測(cè)方案，減少維修成本 60%，為企業(yè)節(jié)省大量開(kāi)支！深圳百萬(wàn)級(jí)環(huán)境監(jiān)測(cè)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)照表

中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測(cè)設(shè)備，幫 25 + 調(diào)味品廠發(fā)酵監(jiān)測(cè)，風(fēng)味穩(wěn)定性提 12%！蘇州在線環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

中源綠凈在鋰電池電芯潔凈車間環(huán)境監(jiān)測(cè)中，推出了粉塵 - 濕度 - 靜電多參數(shù)協(xié)同方案。針對(duì)鋰電池勻漿、涂布工序的 1000 級(jí)潔凈區(qū)，配置了防爆型監(jiān)測(cè)終端，同步監(jiān)測(cè) 0.1μm 粉塵濃度（檢測(cè)下限 0.01mg/m3）、相對(duì)濕度（控制范圍 20%~30% RH，精度 ±2%）、靜電電位（量程 - 500~+500V，精度 ±10V）等參數(shù)。采用 β 射線吸收法測(cè)量粉塵濃度，響應(yīng)時(shí)間≤1 秒，數(shù)據(jù)采樣間隔 10 秒 / 次，確保及時(shí)發(fā)現(xiàn)粉塵聚集風(fēng)險(xiǎn)。通過(guò)靜電消除聯(lián)動(dòng)控制，使電芯粉塵附著導(dǎo)致的不良率下降 50%。該系統(tǒng)已在寧德時(shí)代、比亞迪電池車間應(yīng)用，滿足 IEC 62133 安全標(biāo)準(zhǔn)，環(huán)境管控達(dá)標(biāo)率維持在 99.85%。蘇州在線環(huán)境監(jiān)測(cè)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)