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中源綠凈在電子元器件潔凈車間潔凈度監(jiān)測中,構(gòu)建了多粒徑微粒全流程管控體系。應(yīng)用場景:電子元器件生產(chǎn)潔凈車間。針對(duì) 100 級(jí)至 1000 級(jí)潔凈環(huán)境,采用每 2 平方米 1 個(gè)監(jiān)測終端的高密度部署,可實(shí)時(shí)采集 0.3μm、0.5μm、1μm、5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達(dá) 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期為 2 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光散射式粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測粒徑達(dá) 0.1μm,檢測精度誤差≤±10%。通過自研的微粒溯源算法,能快速定位污染源位置,當(dāng)微粒濃度超過閾值時(shí)自動(dòng)聯(lián)動(dòng) FFU 風(fēng)機(jī)過濾單元調(diào)節(jié)風(fēng)速,使元器件表面微粒附著率下降 58%。已在富士康、立訊精密等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 潔凈室標(biāo)準(zhǔn),連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.94%。中源綠凈為 55 + 鋼鐵企業(yè)監(jiān)測廢氣,脫硫效率提高 18%,排放更環(huán)保!凈化車間環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看
中源綠凈在半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈室潔凈度監(jiān)測中,推出了微粒 - 氣體純度聯(lián)動(dòng)方案。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體薄膜沉積潔凈車間。針對(duì) 10 級(jí)沉積區(qū),部署超高精度監(jiān)測終端,同步檢測 0.1μm 微粒濃度(采樣流量 100L/min)、沉積氣體純度(99.999%~99.9999%,精度 ±0.0001%)及腔體壓差(≥20Pa)。采用激光散射法與氣相色譜聯(lián)用技術(shù),氣體純度響應(yīng)時(shí)間≤1 秒,微粒檢測分辨率達(dá) 0.05μm。系統(tǒng)與沉積設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng)氣體雜質(zhì)或微粒超標(biāo)時(shí)自動(dòng)切斷氣源,使薄膜沉積缺陷率下降 50%。已在中微公司、北方華創(chuàng)等企業(yè)應(yīng)用,符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn),潔凈度穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率 99.95%。蘇州凈化車間環(huán)境監(jiān)測監(jiān)測中源綠凈環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),為 90 + 養(yǎng)殖場實(shí)時(shí)測氨氮,異味減少 30%,改善周邊環(huán)境!
中源綠凈在半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈室潔凈度監(jiān)測中,打造了超微顆粒 管控體系。應(yīng)用場景:半導(dǎo)體晶圓光刻潔凈車間。針對(duì) 10 級(jí)光刻 區(qū),采用每 1.5 平方米 1 個(gè)監(jiān)測終端的高密度部署,可實(shí)時(shí)采集 0.1μm、0.3μm、0.5μm 多粒徑微粒濃度,采樣流量達(dá) 50L/min,數(shù)據(jù)更新周期為 1 秒 / 次。系統(tǒng)搭載激光誘導(dǎo)擊穿光譜粒子計(jì)數(shù)器, 小檢測粒徑達(dá) 0.05μm,檢測精度誤差≤±5%。通過與光刻設(shè)備聯(lián)動(dòng),當(dāng) 0.1μm 微粒濃度超過 35 粒 / 升時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)曝光環(huán)境,配合微粒溯源算法快速定位污染源,使晶圓光刻缺陷率下降 52%。已在中芯國際、臺(tái)積電等企業(yè)應(yīng)用,符合 SEMI F21 潔凈度標(biāo)準(zhǔn),連續(xù)運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示潔凈度達(dá)標(biāo)率達(dá) 99.96%。
中源綠凈為生物安全柜潔凈室開發(fā)的環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),重點(diǎn)強(qiáng)化了氣流與微生物的 監(jiān)測。應(yīng)用場景:生物安全柜操作潔凈室。針對(duì) P2 級(jí)生物安全實(shí)驗(yàn)室,部署 監(jiān)測終端,同步采集安全柜出風(fēng)口風(fēng)速(0.38±0.02m/s,精度 ±0.01m/s)、下沉氣流速度(0.25~0.3m/s)、浮游菌濃度(每小時(shí)采樣 1 次,檢測下限 1CFU/m3)及室內(nèi)壓差(≥10Pa)。采用熱球式風(fēng)速儀實(shí)現(xiàn)高精度氣流監(jiān)測,數(shù)據(jù)采樣頻率 10 次 / 秒,確保捕捉氣流波動(dòng)。系統(tǒng)具備與安全柜聯(lián)動(dòng)功能,當(dāng)氣流速度異常時(shí)立即聲光報(bào)警并自動(dòng)關(guān)閉操作窗口,使微生物泄漏風(fēng)險(xiǎn)下降 70%。已在中科院生物所、協(xié)和醫(yī)院實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用,符合 GB 50346 實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)規(guī)范,環(huán)境監(jiān)測數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。中源綠凈的環(huán)境監(jiān)測方案,助力 30 + 企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程,提高產(chǎn)品競爭力!
中源綠凈針對(duì)航空電子裝配潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案,聚焦于微振動(dòng)與靜電的 管控。應(yīng)用場景:航空機(jī)載電子設(shè)備裝配潔凈室。依據(jù) AS9100 航空質(zhì)量管理體系要求,在 100 級(jí)潔凈裝配區(qū)部署一體化監(jiān)測終端,同步監(jiān)測 0.3μm 微粒濃度、環(huán)境振動(dòng)(頻率范圍 1~500Hz,測量精度 ±0.001mm/s)、靜電電壓(量程 - 500~+500V,精度 ±5V)及氣流速度(0.2~0.3m/s)。采用壓電式振動(dòng)傳感器和非接觸式靜電探頭,數(shù)據(jù)采樣率達(dá) 1000Hz,確保捕捉細(xì)微參數(shù)變化。通過振動(dòng)源識(shí)別算法,可快速定位設(shè)備運(yùn)行引發(fā)的振動(dòng)超標(biāo),配合靜電消除器聯(lián)動(dòng)控制,使電子元件靜電損傷率下降 58%。已服務(wù)于霍尼韋爾航空、中航工業(yè)電子等 8 家企業(yè),助力其通過 DO-160 航空電子環(huán)境測試,環(huán)境穩(wěn)定性達(dá)標(biāo)率保持在 99.93% 以上。中源綠凈為 20 + 企業(yè)提供環(huán)境監(jiān)測設(shè)備安裝調(diào)試服務(wù),確保設(shè)備正常運(yùn)行!深圳潔凈室環(huán)境監(jiān)測源頭廠家
中源綠凈為 35 + 化妝品廠做環(huán)境監(jiān)測,微生物控制嚴(yán),產(chǎn)品投訴率降 20%!凈化車間環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看
中源綠凈針對(duì)醫(yī)療器械注塑潔凈室的環(huán)境監(jiān)測方案,強(qiáng)化了粉塵與模具溫度的協(xié)同管控。依據(jù) ISO 13485 醫(yī)療器械質(zhì)量管理體系要求,在注塑成型的 8 級(jí)潔凈區(qū),部署了防高溫監(jiān)測終端,可耐受車間 60℃的環(huán)境溫度,監(jiān)測參數(shù)包括 1μm 粉塵濃度(檢測下限 0.001mg/m3)、模具表面溫度(測量范圍 20~200℃,精度 ±1℃)、車間濕度(控制在 30%~50% RH)。采用紅外測溫技術(shù)實(shí)現(xiàn)非接觸式模具溫度監(jiān)測,數(shù)據(jù)采樣間隔 1 秒 / 次,確保及時(shí)發(fā)現(xiàn)溫度波動(dòng)。通過粉塵 - 溫度關(guān)聯(lián)分析,提前預(yù)警注塑件粘模風(fēng)險(xiǎn),使醫(yī)療器械注塑合格率提升 38%。已服務(wù)于美敦力、強(qiáng)生醫(yī)療等 10 家企業(yè),助力其通過 FDA 現(xiàn)場檢查,環(huán)境數(shù)據(jù)合規(guī)率 100%。凈化車間環(huán)境監(jiān)測計(jì)數(shù)器結(jié)果怎么看