真空泵相關(guān)的術(shù)語解釋——真空系統(tǒng)常用名稱： ①主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。 ②前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強(qiáng)低于其臨界前級壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。 ③粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵。 干泵的應(yīng)用情況： 國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動(dòng)來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，較大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。真空泵運(yùn)行必須安裝電機(jī)保護(hù)開關(guān)。江蘇隔膜真空泵經(jīng)銷商
干式真空泵關(guān)鍵在半導(dǎo)體業(yè)、化工、塑料薄膜產(chǎn)業(yè)鏈獲得運(yùn)用于發(fā)展趨勢。海外的干泵銷售市場正處在紅紅火火的環(huán)節(jié)，如日本國，半導(dǎo)體業(yè)已所有用干式真空泵替代骨架密封式機(jī)械泵，而毆美半導(dǎo)體業(yè)45%之上用干式真空泵替代了骨架密封式機(jī)械泵，進(jìn)一步提高了商品的特性和品質(zhì)。以便考慮不一樣主要用途和不一樣工作狀況的規(guī)定，海外有螺桿式機(jī)械泵、多級別羅茨真空泵、多級別爪式機(jī)械泵、往復(fù)活塞桿機(jī)械泵、渦旋式機(jī)械泵及其增壓式無油真空泵等。干泵極限工作壓力從10Pa～10-2Pa，泵效從50m3/h～1000m3/h。北京減壓蒸餾真空泵哪里有賣氣體捕集泵是真空泵的一種。
真空泵卡死是常見故障，下面我們可依次分析： 首先檢查電機(jī)是否與聯(lián)軸器脫離，導(dǎo)致泵體無法運(yùn)轉(zhuǎn)。 驅(qū)動(dòng)電機(jī)是否確實(shí)電源相。 分清是電機(jī)卡死，還是泵體卡死。 檢查潤滑密封油真空油，是否乳化變質(zhì)，或者缺油。 解決辦法如下： 分離電機(jī)與泵體確認(rèn)電機(jī)無卡死并運(yùn)轉(zhuǎn)正常，拆泵前注意各管道閥門已經(jīng)關(guān)閉，拆卸真空泵檢查油路是否回油正常，檢查旋片是否損壞卡死，旋片損壞更換新的旋片，泵腔與轉(zhuǎn)子無損壞可以繼續(xù)使用，裝泵時(shí)著重注意安裝密封。
動(dòng)量傳輸真空泵具體可分為下述幾種類型： （1） 分子真空泵：它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式： ① 牽引分子泵：氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得力量，被送到出口，因此，是一種動(dòng)量傳輸泵。 ②渦輪分子泵：泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。 ③ 復(fù)合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復(fù)合式分子真空泵。 （2） 噴射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效應(yīng)的壓力降生產(chǎn)的高速射流把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵，適于在粘滯留和過渡流狀態(tài)下工作。這種泵又可詳細(xì)地分成以下幾種： ① 液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質(zhì)的噴射真空泵。 ② 氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。 ③ 蒸汽噴射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作為工作介質(zhì)的餓噴射真空泵。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝。
真空泵使用要點(diǎn)：真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、溶劑及粉末等。如易燃?xì)怏w、含國家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體等。這些氣體容易導(dǎo)致軸承失效。進(jìn)氣溫度必須＜50℃，否則在被抽真空室與泵進(jìn)氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。抽含有水蒸汽的氣體要打開氣鎮(zhèn)閥抽氣，被抽氣體的水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限，將會(huì)造成氣鎮(zhèn)閥壽命縮短。真空泵禁止在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽的環(huán)境中工作，否則會(huì)造成炸裂、火災(zāi)等危險(xiǎn)。禁止由一兩個(gè)人移動(dòng)此泵。要由專業(yè)人員搬運(yùn)、安裝、配置、配線、操作、維護(hù)和檢查，不然會(huì)導(dǎo)致觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險(xiǎn)。禁止繼續(xù)使用已經(jīng)損壞的泵，否則會(huì)有受傷、觸電甚至被抽系統(tǒng)損壞等危險(xiǎn)。真空泵結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。江蘇隔膜真空泵經(jīng)銷商
真空泵壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差。江蘇隔膜真空泵經(jīng)銷商
真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。江蘇隔膜真空泵經(jīng)銷商
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