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盡管半導(dǎo)體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來看,要想替代進口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國內(nèi)半導(dǎo)體測試探針還只能用于要求不高的測試需求,比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測試和性能測試還有待突破。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉及精微加工設(shè)備、經(jīng)驗、工藝能力缺一不可。值得注意的是,由于半導(dǎo)體測試探針市場一直被國外廠商占據(jù),同時也實施了技術(shù)封鎖,國內(nèi)并沒有相應(yīng)的技術(shù)人才,包括生產(chǎn)人員和設(shè)計人員都缺乏。國內(nèi)大部分測試探針廠商基本不具備全自動化生產(chǎn)制造能力。半導(dǎo)體設(shè)備價值普遍較高,一條先進半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,設(shè)備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。甘肅手動探針臺哪里有
針尖有鋁粉:測大電流時,針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮氣吹干,同時測試時邊測邊吹氮氣,以減少針尖上的AL粉。針尖有墨跡:測試時打點器沒有調(diào)整好,尼龍絲碰到針尖上,針尖上沾上墨跡,然后針尖與壓點接觸時,壓點窗口上墨跡沾污,使片子與AL層接觸不良,參數(shù)通不過,還有對后續(xù)封裝壓焊有影響,使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,所以平時裝打點器時,不要把打點器裝得太前或太后和太高或太低,而應(yīng)該使尼龍絲與硅片留有一定距離,然后靠表面漲力使墨水打到管芯中心,如已經(jīng)沾上墨跡,要立即用酒精擦干凈,并用氮氣吹干。云南射頻探針臺上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創(chuàng)碧水藍天。
探針治具的校準(zhǔn):我們希望校準(zhǔn)過程盡可能的把測試網(wǎng)絡(luò)中除DUT外所有的誤差項全部校準(zhǔn)掉,當(dāng)使用探針夾具的方式進行操作有兩種校準(zhǔn)方法:1一種方式是直接對著電纜的SMA端面進行校準(zhǔn),然后通過加載探針S2P文檔的方式進行補償;2第二種方法是直接通過探針搭配的校準(zhǔn)板在探針的端面進行校準(zhǔn)。是要告訴大家如果直接在SMA端面進行校準(zhǔn)之后不補償探針頭,而直接進行測量的話會帶來很大的誤差。探針廠商一般都會提供探針的S2P文檔與校準(zhǔn)片,校準(zhǔn)片如下圖所示,上面有Open、Short、Load及不同負載的微帶線。
探針臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格的芯片,并提供多個可調(diào)測試及探卡測試針臺座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,下面就由上海勤確給大家簡要介紹。探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化測試,在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,線纜,探針,探針定位器,探針臺,校準(zhǔn)設(shè)備及軟件,電源偏置等。手動或者自動移動晶圓片,并通過探針卡實現(xiàn)這一部分的電子線路連接。
“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對高產(chǎn)出的進階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強化更小晶粒定位的精確性,需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無謂的產(chǎn)出損失。通常探針是由鎢制成的,它如果長期不用,針尖要形起氧化。甘肅手動探針臺哪里有
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探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。甘肅手動探針臺哪里有