昆山餐具類金剛石工藝

來源: 發(fā)布時間:2022-06-08

采用直流磁控濺射法在硅基底上交替沉積類金剛石碳(DLC)和氮化碳(CNx)薄膜,制備了不同DLC層厚度的CNx/DLC納米多層膜.使用X射線衍射、場發(fā)射掃描電子顯微鏡、X射線光電子譜、Raman光譜等測試手段表征了薄膜的微觀組織形貌、化學(xué)成分和原子價鍵結(jié)構(gòu)等.采用原位納米壓入技術(shù)、涂層附著力劃痕儀、球盤式摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)對薄膜的力學(xué)和摩擦學(xué)性能進(jìn)行了測試.結(jié)果表明:所制備的CNx/DLC多層膜均為微晶或非晶結(jié)構(gòu),組織致密.隨著DLC層厚度的減小,多層膜內(nèi)sp3雜化鍵的含量先升高后下降,壓應(yīng)力由135MPa增至538MPa,結(jié)合力先上升后降低,而磨損率則呈相反變化趨勢.多層膜在大氣和真空中的摩擦因數(shù)約為nm的多層膜的性能比較好,硬度可達(dá)GPa,比較低磨損率為×10-18m3/(N·m)。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。類金剛石涂層的可控制備及其性能。昆山餐具類金剛石工藝

離子束濺射法DLC膜的制備及其性能表征采用離子束濺射方法,較低溫度下在Ti6A14V合金基底上沉積了DLC薄膜,重點(diǎn)考察了直流疊加脈沖共生偏壓大小對薄膜形貌、結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能的影響。制備薄膜為菲晶碳膜,薄膜表面粗糙度隨施加迭加偏壓增大有先減小后增大趨勢,而膜中sp3含量變化趨勢則與之相反。在選定的實(shí)驗(yàn)條件下,-100V偏壓時所制備的薄膜在空氣環(huán)境及Hank’s溶液潤滑下都具有比較優(yōu)異的摩擦學(xué)性能。上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。金華合金模具類金剛石價格類金剛石薄膜材料結(jié)構(gòu)特點(diǎn)。

DLC薄膜在發(fā)動機(jī)上的應(yīng)用效果,在技術(shù)上DLC薄膜將極低的摩擦阻力和極高的硬度完美地結(jié)合在一起,該技術(shù)已被初步應(yīng)用于汽車零部件的各個運(yùn)動系統(tǒng)中,尤其是自20世紀(jì)90年代中期以來,作為汽車零部件保護(hù)性薄膜材料得到快速發(fā)展。除上述性能與應(yīng)用外,DLC薄膜的潤濕性能也受到了人們的關(guān)注。某些需要疏水的領(lǐng)域如電子元器件、窗口等都對DLC薄膜的潤濕性能提出了新的要求,目前主要通過對其進(jìn)行化學(xué)改性來改善DLC薄膜的疏水性能。利用DLC薄膜的耐腐蝕性和低溫合成的特點(diǎn)!既可以將其鍍在塑料飾件上,防止酸、堿及有機(jī)試劑的侵蝕,又可以在橡膠、樹脂等有機(jī)材料上鍍一層DLC薄膜。從而增加其柔軟性,這在對有機(jī)材料有滑動性和密封性要求的領(lǐng)域用途很廣。

為提高紡織機(jī)高速紡紗工況下鋼絲圈表面的磨損性能,采用直流等離子氣相沉積法在鋼絲圈表面制備類金剛石涂層(DLC),采用原位掃描探針顯微鏡觀測涂層表面形貌,測量并計(jì)算涂層硬度.結(jié)果發(fā)現(xiàn),DLC涂層顆粒粒徑約為100nm,呈島狀聚集分布,硬度約為18GPa.采用球-盤式摩擦試驗(yàn)機(jī)研究DLC涂層在不同載荷(20~100N)和不同轉(zhuǎn)速(100~600r/min)條件下的摩擦特性.結(jié)果表明,在低載高速的條件下,DLC涂層具有良好的耐磨特性,符合鋼絲圈的實(shí)際工況.采用傅里葉變換紅外光譜分析涂層的磨損機(jī)制,結(jié)果發(fā)現(xiàn),在摩擦磨損過程中從薄膜中釋放出來的氫和涂層的剪切變形引起了DLC薄膜的石墨化SP3/SP2轉(zhuǎn)變,從而降低了摩擦因數(shù)和磨損率.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進(jìn)美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達(dá)60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點(diǎn)??梢越鉀QPVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機(jī)械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機(jī)部件等領(lǐng)域。如何對類金剛石薄膜進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析?

類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學(xué)惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產(chǎn)品的保護(hù)膜。如噴墨打印機(jī)墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機(jī)磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護(hù)層、不僅能有效的減少機(jī)械損傷,又不影響數(shù)據(jù)存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強(qiáng)、化學(xué)惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機(jī)械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機(jī)械或化學(xué)腐蝕方法,且同時不會破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質(zhì)材料。類金剛石薄膜的損耗嚴(yán)重嗎?金華鉸刀類金剛石公司

類金剛石薄膜的微觀結(jié)構(gòu)與其物理特性。昆山餐具類金剛石工藝

類金剛石薄膜的制備方法根據(jù)制備DLC薄膜碳源的不同,可將DLC薄膜的制備方法分為固體靶材為碳源的物相沉積法和含碳?xì)怏w為碳源的化學(xué)氣相沉積法。其中DLC薄膜的制備方法和性能也隨著相應(yīng)沉積技術(shù)的發(fā)展獲得改進(jìn)和提升。傳統(tǒng)的氣相沉積技術(shù)制備薄膜的能量來自于熱源。為制備性能更為優(yōu)異,功能應(yīng)用多樣化的新型特殊薄膜,傳統(tǒng)的鍍膜技術(shù)無法滿足實(shí)際的需求。為使薄膜達(dá)到更優(yōu)異的性能,逐漸地把各種氣體放電技術(shù)引入到薄膜材料制備的過程中,進(jìn)而發(fā)展形成了離子鍍膜技術(shù)。離子鍍膜技術(shù)能很大程度上增加膜層粒子的離化率,提高膜層粒子的整體能量,終高效地進(jìn)行薄膜的制備。相應(yīng)的,對于制備DLC薄膜的兩種主要方法也進(jìn)行了一定程度的補(bǔ)充優(yōu)化。昆山餐具類金剛石工藝

標(biāo)簽: DLC 類金剛石 鍍鈦