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類金剛石薄膜又稱山膜。碳的一種亞穩(wěn)態(tài),組成主要是碳,也含有氫,其量隨工藝條件而異,多時可達20%。類金剛石具有很高的硬度、高導(dǎo)熱性、高絕緣性、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、從紅外到紫外的高光學(xué)透過率等。這與金剛石相似,但其性能數(shù)值均低于金剛石膜。類金剛石膜已開始用作耐磨涂層。類金剛石碳(DLC)是非晶結(jié)構(gòu),碳原子主要以sp3和sp2雜化鍵結(jié)合。含氫DLC又稱為α-C:H,其中氫含量在20%到50%之間。無氫類金剛石膜包括無氫非晶碳(α-C)和四面體非晶碳(ta-C)膜。α-C膜含有一些sp3鍵;ta-C膜中以sp3鍵為主(sp3>70%)。結(jié)構(gòu)類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學(xué)性能等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式。類金剛石(DLC)的簡介。杭州電鍍DLC
由于DLC屬亞穩(wěn)態(tài)的材料,熱穩(wěn)定性差是限制DLC膜應(yīng)用的一個重要因素,在300°C以上退火時即出現(xiàn)了sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變,為此,人們進行了大量的工作試圖提高其熱穩(wěn)定性。有研究發(fā)現(xiàn):Si的加入可以明顯改善DLC膜的熱穩(wěn)定性,含20 at%Si的DLC膜在740°C退火時才出現(xiàn)sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變。同樣,金屬(如Ti、W、Cr)的摻入也可提高DLC膜的熱穩(wěn)定性,我們正在對這方面進行研究。純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由于摻雜的元素首先被侵蝕,從而破壞了膜的連續(xù)性所致。
昆山塑膠模DLC技術(shù)DLC鍍膜鋼領(lǐng)磨損原因與鍍膜工藝改進。
類金剛石(DLC)薄膜與不銹鋼的結(jié)合強度是DLC薄膜應(yīng)用于血管支架表面改性的關(guān)鍵技術(shù)問題.利用磁過濾陰極真空弧源沉積方法在316L不銹鋼表面沉積DLC薄膜,研究沉積時基體偏壓、薄膜厚度以及鈦過渡層對DLC薄膜與基體結(jié)合強度的影響.研究結(jié)果表明,316L表面制備相同厚度的DLC薄膜,采用-1000V脈沖偏壓制備的薄膜結(jié)合強度明顯優(yōu)于-80V直流偏壓下制備的DLC薄膜;隨著DLC薄膜厚度的增大,DLC薄膜與316L基體的結(jié)合力下降;316L不銹鋼表面制備一層100nm的鈦過渡層之后可以改善DLC薄膜的結(jié)合狀況,并且經(jīng)過20%的拉伸變形后,DLC薄膜完整,耐蝕性優(yōu)于未表面處理的316L不銹鋼.以上研究結(jié)果表明,磁過濾陰極真空弧源方法制備DLC薄膜與316L結(jié)合強度高,可以有效的提高316L的耐腐蝕性,是一種具有應(yīng)用前景的血管支架表面改性方法.上海英屹涂層技術(shù)有限公司引進美國PE-CVD設(shè)備技術(shù)制備的類金剛石DLC膜層沉積速率快膜厚可達60um膜層硬度高膜層摩擦系數(shù)低小于結(jié)合力好耐腐蝕性能好優(yōu)異的耐磨性膜層具有自潤滑性的優(yōu)點。可以解決PVD涂層鍍不到的工件內(nèi)孔的問題。公司涂層已經(jīng)應(yīng)用于航空機械模具電子醫(yī)療汽車發(fā)動機部件等領(lǐng)域。
在DLC薄膜應(yīng)用的過程中,選擇合適種類的DLC薄膜顯得尤為重要。因此,DLC薄膜的分類以及分類標(biāo)準(zhǔn)的制定,直接影響了其在眾多領(lǐng)域的應(yīng)用。而傳統(tǒng)的DLC薄膜分類方法通常需要根據(jù)DLC薄膜的微結(jié)構(gòu)定量分析來完成。然而,這一方法需要基于大型同步輻射光源的X射線近邊吸收精細結(jié)構(gòu)譜(NEXAFS)分析碳元素的成分和狀態(tài);需要大型靜電加速器的盧瑟福背散射彈性反沖(RBS/ERDA)或者中子源等分析氫元素含量,執(zhí)行起來非常困難。因此,一般實驗條件難以實現(xiàn)對DLC的準(zhǔn)確分類,從而導(dǎo)致DLC在應(yīng)用領(lǐng)域難以實現(xiàn)精細調(diào)控和定量研發(fā)。DLC真空鍍膜生產(chǎn)工藝影響的膜層原因。
類金剛石膜是一類性質(zhì)類似于金剛石的具有多項質(zhì)量性能的新型膜材料,它的面世是人類膜材料科學(xué)的一大進步。由于類金剛石膜的高耐磨性、低摩擦系數(shù)、熱穩(wěn)定性、紅外透光性、高電阻、低介電常數(shù)及生物相容性,適合于多個領(lǐng)域的應(yīng)用,同時類金剛石膜的制備方法簡單,使其引起人們的關(guān)注。我們來談?wù)勵惤饎偸さ陌l(fā)現(xiàn)、結(jié)構(gòu)和制備方法,介紹一下多層類金剛石膜在機械、光學(xué)、醫(yī)療、電子、航天等領(lǐng)域的應(yīng)用,總結(jié)一下它的研究現(xiàn)狀和發(fā)展前景。隨著人類對金剛石的研究的深入和其應(yīng)用的,人類對其的需求越來越大,但是,由于制備金剛石的工業(yè)化工藝條件比較難以實現(xiàn),因此人們渴望能有一種可以替代金剛石的新材料。類金剛石膜(diamond-like-carbon)簡稱DLC,是一類性質(zhì)類似于金剛石具有高電阻率、高硬度、熱穩(wěn)定性、高電阻、低介電常數(shù)、的光學(xué)性能、及良好的生物相容性等多項優(yōu)良性能的非晶體碳膜,一般利用非平衡氣相工藝合成的以碳或以碳和氫為主要成分的一種兼有自身獨特低摩擦系數(shù)和高耐磨性的材料。隨著人們研究的深入,發(fā)現(xiàn)DLC是一種集多個優(yōu)點于一身的且應(yīng)用前景十分廣闊的新型薄膜材料。世界各國對其的研究也在不斷的深入中。DLC薄膜作為微型鉆頭涂層的應(yīng)用具有很好的指導(dǎo)意義。蘇州塑膠模DLC多少錢
隨著DLC技術(shù)上的成熟,其必將在更多領(lǐng)域發(fā)揮越來越大的作用。杭州電鍍DLC
采用高功率脈沖磁控濺射技術(shù)制備DLC膜層,研究了偏壓的變化對膜層結(jié)構(gòu)及主要力學(xué)性能的影響.利用掃描電鏡、原子力顯微鏡、拉曼光譜儀、X射線光電子能譜儀、納米壓入儀、劃痕儀和磨擦磨損試驗儀分析檢測了DLC膜結(jié)構(gòu)與性能.結(jié)果表明:偏壓的提高,有利于改善DLC膜的表面光潔度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度Rq由不施加偏壓時的9nm降低至偏壓為-350V的7nm;致密性的提高使沉積速率略有下降,膜層厚度減小.偏壓的增加,DLC膜內(nèi)部sp3含量先增加后減小趨勢,在偏壓為-250V時,DLC膜中sp3含量比較高.偏壓的增大,DLC膜的硬度、楊氏模量和摩擦磨損等主要力學(xué)性能均呈先增大后減小的趨勢,并在偏壓為-250V時達到比較高值,與微觀結(jié)構(gòu)變化趨勢相吻合.。杭州電鍍DLC