半導(dǎo)體VOCs治理方案

VOCs末端治理的整體要求：1、新、改、擴建項目禁止使用光催化、光氧化、水噴淋 （吸收可溶性VOCs和預(yù)處理除外）、低溫等離子等低效VOCs治理設(shè)施（惡臭處理除外），并針對上述組合技術(shù)的低效VOCs治理設(shè)施進行整治，對不能達到治理要求的實施要求進行更換或升級改造。2、企業(yè)應(yīng)依據(jù)排放廢氣的濃度、組分、風量、溫度、濕度、壓力，以及生產(chǎn)工況等，合理選擇治理技術(shù)，采用多種技術(shù)的組合工藝，提高 VOCs 治理效率。3、企業(yè)應(yīng)做到治理設(shè)施較生產(chǎn)設(shè)備“先啟后?！?，在治理設(shè)施達到正常運行條件后方可啟動生產(chǎn)設(shè)備，在生產(chǎn)設(shè)備停止、殘留 VOCs 廢氣收集處理完畢后，方可停運治理設(shè)施。VOCs廢氣處理需要綜合考慮環(huán)境、經(jīng)濟和社會的因素。半導(dǎo)體VOCs治理方案

沸石轉(zhuǎn)輪原理介紹，研究得出：若是將加工好的波紋形以及平板形陶瓷纖維紙采用無機粘合的方式做成蜂窩狀的轉(zhuǎn)輪，然后再將具有吸水性的沸石涂抹在這個轉(zhuǎn)輪的通道上，該轉(zhuǎn)輪就成為了吸附性轉(zhuǎn)輪，經(jīng)過實驗證明，該吸附性轉(zhuǎn)輪對于VOCs的凈化處理十分有效。沸石轉(zhuǎn)輪濃縮區(qū)可分為處理區(qū)、再生區(qū)、冷卻區(qū)三部分，濃縮轉(zhuǎn)輪在各個區(qū)內(nèi)連續(xù)運轉(zhuǎn)。 VOCs有機廢氣通過前置過濾器過濾后，再通過濃縮轉(zhuǎn)輪裝置的處理區(qū)。在處理區(qū)VOCs被吸附劑吸附去除，凈化后的空氣從濃縮轉(zhuǎn)輪的處理區(qū)排出。吸附在濃縮轉(zhuǎn)輪中的有機廢氣VOCs,在再生區(qū)經(jīng)熱風處理而被脫附、濃縮到5~15倍的程度。濃縮轉(zhuǎn)輪在冷卻區(qū)被冷卻，經(jīng)過冷卻區(qū)的 空氣，加熱后作為再生空氣使用，達到凈化節(jié)能的效果。沸石轉(zhuǎn)輪結(jié)構(gòu)如圖所示。上海污水站VOCs催化劑VOCs廢氣處理需要定期監(jiān)測和維護，以確保系統(tǒng)的有效性。

案例分析，以某汽車制造企業(yè)為例，該企業(yè)在其涂裝車間采用了以下廢氣處理方案：首先在噴漆室和烘烤房設(shè)置合理的集氣系統(tǒng)，確保廢氣收集率超過90%；廢氣通過濕式洗滌塔初步處理，去除大部分漆霧和水分；廢氣進一步通過沸石轉(zhuǎn)輪濃縮裝置，將VOCs濃度提高；濃縮后的廢氣進入蓄熱式熱氧化爐進行高溫氧化，幾乎完全分解VOCs；該企業(yè)還引進了先進的在線監(jiān)測系統(tǒng)，實時監(jiān)控VOCs排放濃度，確保符合環(huán)保部門的要求；通過對處理過程中產(chǎn)生的熱量回收，該企業(yè)降低了能耗，實現(xiàn)了綠色生產(chǎn)的目標。通過上述工藝流程和嚴謹?shù)墓芾?，該汽車廠成功地大幅減少了噴漆廢氣的排放，既符合了環(huán)保政策，也提升了自身的可持續(xù)發(fā)展能力。

蓄熱式焚燒(RTO)，適用范圍：適用于高濃度有機廢氣的凈化，凈化效率高，熱回收效率高，處理含氮化合物時可能造成煙氣中NOx超標。不適用范圍：不適用于處理易自聚、易反應(yīng)等物質(zhì)（苯乙烯），其會發(fā)生自聚現(xiàn)象，產(chǎn)生高沸點交聯(lián)物質(zhì)，造成蓄熱體堵塞。理論效率：95%以上。處理原理：把有機廢氣加熱到760攝氏度以上，使廢氣中的揮發(fā)性有機物(VOCs)氧化分解為二氧化碳和水。氧化過程產(chǎn)生的熱量存儲在特制的陶瓷蓄熱體，使蓄熱體升溫“蓄熱”。陶瓷蓄熱體內(nèi)儲存的熱量用于預(yù)熱后續(xù)進入的有機廢氣。精細化管理是提高VOCs廢氣處理效果的關(guān)鍵。

膜分離工藝：（1）膜分離工藝簡介，在石油開采和儲運過程中，部分油品揮發(fā)到大氣中形成的油氣中，除空氣外，主要C4-C5以及少量芳香烴。這些有機蒸氣排放不只造成嚴重的資源浪費，而且對空氣質(zhì)量有很大影響，進而影響人類的健康，目前，有機蒸氣的分離回收方法主要是冷凝、活性炭吸附、膜分離法、溶劑吸收法。膜分離技術(shù)是一種效率較高的分離方法 。（2）膜分離工藝的影響因素，支撐層的材質(zhì)對滲透速率和烴類VOCs回收率產(chǎn)生重要影響，對于同一種材質(zhì)的支撐層，滲透速率和烴類VOCs 回收率隨孔徑的減小而增大，但當孔徑減到某一臨界值時，隨孔徑的繼續(xù)減小，滲透速率和烴類VOCs 回收率將減小。VOCs是大氣污染的重要來源，有效處理VOCs廢氣對我國空氣質(zhì)量改善具有重要意義。上海污水站VOCs催化劑

化學方法涉及氧化、還原和催化等反應(yīng)，以將VOCs轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)。半導(dǎo)體VOCs治理方案

VOCs的處理方法如下：生物處理法：這是近年發(fā)展起來的空氣污染控制技術(shù)，比傳統(tǒng)工藝投資少，運行費用低，操作簡單，應(yīng)用范圍廣，有望替代燃燒法和吸附凈化法。此外，還可以采取一些措施來減少VOCs的排放，如安裝和使用高效的排放控制設(shè)備，優(yōu)化生產(chǎn)過程以減少或消除VOCs的產(chǎn)生，使用低VOCs替代品等。同時，嚴格控制儲存和裝卸過程中的損失，以及強化廢水處理系統(tǒng)逸散廢氣治理，都是有效的VOCs處理方法。具體選擇哪種方法取決于廢氣的性質(zhì)、濃度、處理要求以及經(jīng)濟成本等因素。在實際應(yīng)用中，通常需要根據(jù)具體情況選擇適合的處理工藝和技術(shù)，并進行合理的設(shè)計和操作，以達到較佳的處理效果。半導(dǎo)體VOCs治理方案