卡爾斯魯厄高精度雙光子聚合無掩光刻

來源: 發(fā)布時間:2025-08-17

Nanoscribe公司的PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術(shù)融入強大了3D打印工作流程,實現(xiàn)了各種不同的打印方案。雙光子聚合技術(shù)用于3D微納結(jié)構(gòu)的增材制造,可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結(jié)構(gòu)制作。PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)可以實現(xiàn)精度上限的3D打印,突破了微納米制造的限制。該打印系統(tǒng)的易用性和靈活性的特點配以比較廣的打印材料選擇使其成為理想的實驗研究儀器和多用戶設施。我們的3D微納加工技術(shù)可以滿足您對于制作亞微米分辨率和毫米級尺寸的復雜微機械元件的要求。3D設計的多功能性對于制作復雜且響應迅速的高精度微型機械,傳感器和執(zhí)行器是至關(guān)重要的?;陔p光子聚合原理的激光直寫技術(shù),可適用于您的任何新穎創(chuàng)意的快速原型制作;也適合科學家和工程師們在無需額外成本增加的前提下,實現(xiàn)不同參數(shù)的創(chuàng)新3D結(jié)構(gòu)的制作。


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QuantumXshape作為理想的快速成型制作工具,可實現(xiàn)通過簡單工作流程進行高精度和高設計自由度的制作。作為2019年推出的頭一臺雙光子灰度光刻(2GL®)系統(tǒng)QuantumX的同系列產(chǎn)品,QuantumXshape提升了3D微納加工能力,即完美平衡精度和速度以實現(xiàn)高精度增材制造,以達到高水平的生產(chǎn)力和打印質(zhì)量??偠灾?,工業(yè)級QuantumX打印系統(tǒng)系列提供了從納米到中觀尺寸結(jié)構(gòu)的非常先進的微制造工藝,適用于晶圓級批量加工。高速3D微納加工系統(tǒng)QuantumXshape可實現(xiàn)出色形狀精度和高精度制作。這種高質(zhì)量的打印效果是結(jié)合了特別先進的振鏡系統(tǒng)和智能電子系統(tǒng)控制單元的結(jié)果,同時還離不開工業(yè)級飛秒脈沖激光器以及平穩(wěn)堅固的花崗巖操作平臺。QuantumXshape具有先進的激光焦點軌跡控制,可操控振鏡加速和減速至特別快的掃描速度,并以1MHz調(diào)制速率動態(tài)調(diào)整激光功率。卡爾斯魯厄高精度雙光子聚合無掩光刻Nanoscribe中國分公司-納糯三維邀您一起探討什么是雙光子聚合微納加工系統(tǒng)。

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QuantumXshape技術(shù)特點概要:快速原型制作,高精度,高設計自由度,簡易明了的工程流程;工業(yè)驗證的晶圓級批量生產(chǎn);200個標準結(jié)構(gòu)的通宵產(chǎn)量;通用及專門使用的打印材料;兼容自主及第三方打印材料QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn),以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設計自由度。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領域應用有著重大意義。歡迎咨詢

   雙光子聚合技術(shù)(2PP)是一種“納米光學”3D打印方法,類似于光固化快速成型技術(shù),未來學家ChristopherBarnatt認為這種技術(shù)未來可能會成為主流3D打印形式。國際上,維也納科技大學的科學家們一致致力于提高感光性樹脂性能和成像技術(shù)。而英國帝國理工學院還通過德國的Nanoscribe設備打印出只有100微米長的中國長城模型贈送給我們國家。NanoScribe這樣的雙光子聚合技術(shù)潛在的應用范圍和影響力是很特殊的。其應用領域包括:光子學(Photonics):光子晶體、超穎材料、激光分布回饋術(shù)(DFBLasers)光子共振環(huán)、繞射光學微光子學(MicroOptics):微光學器件、整合型光學微流道技術(shù)(MicroFluidics):生醫(yī)芯片系統(tǒng)、物質(zhì)研究開發(fā)與分析、三維基礎結(jié)構(gòu)與微流道通路生命科學(LifeSciences):細胞外數(shù)組結(jié)構(gòu)、干細胞分離術(shù)、細胞成長研究、細胞遷移研究、組織工程納米與微米工藝(Nano-andMicrotechnology):超細分辨率光學掩膜、壁虎與蓮花效應分析你知道雙光子聚合、飛秒激光加工、雙光子顯微成像區(qū)別在哪里嗎?

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Nanoscribe稱,QuantumX是世界上**基于雙光子灰度光刻技術(shù)(two-photongrayscalelithography,2GL)的工業(yè)系統(tǒng),目前該技術(shù)正在申請專利。2GL將灰度光刻技術(shù)與Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)相結(jié)合,可生產(chǎn)折射和衍射微光學以及聚合物母版的原型。該系統(tǒng)配備三個用于實時過程控制的攝像頭和一個樹脂分配器。為了簡化硬件配置之間的轉(zhuǎn)換,物鏡和樣品夾持器識別會自動運行。多層衍射光學元件(diffractiveopticalelement,DOE)可以通過在掃描平面內(nèi)調(diào)制激光功率來完成,從而減少多層微制造所需的打印時間。Nanoscribe表示,折射微光學也受益于2GL工藝的加工能力,可制作單個光學元件、填充因子高達100%的陣列,以及可以在直接和無掩模工藝中實現(xiàn)各種形狀,如球面和非球面透鏡。QuantumX的軟件能實時控制和監(jiān)控打印作業(yè),并通過交互式觸摸屏控制面板進行操作。為了更好地管理和安排用戶的項目,打印隊列支持連續(xù)執(zhí)行一系列打印作業(yè)。雙光子聚合可以通過控制激光的光強和聚焦位置來實現(xiàn)加工的精度和形狀,表現(xiàn)出很強的可控性??査刽敹蚋呔入p光子聚合無掩光刻

科學家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù),實現(xiàn)微流道母版制造和密閉通道系統(tǒng)內(nèi)部的芯片內(nèi)直接打印??査刽敹蚋呔入p光子聚合無掩光刻

雙光子聚合3D打印技術(shù)是一項未來制造業(yè)的創(chuàng)新科技。它以其高精度、高效率和多材料打印的特點,正在改變著傳統(tǒng)制造業(yè)的面貌。雙光子聚合3D打印技術(shù)利用激光束將光敏樹脂材料逐層固化,從而實現(xiàn)三維物體的打印。與傳統(tǒng)的3D打印技術(shù)相比,雙光子聚合3D打印技術(shù)具有更高的分辨率和更快的打印速度。它可以打印出更加精細、復雜的結(jié)構(gòu),滿足各種領域的需求。雙光子聚合3D打印技術(shù)的應用領域非常多。在醫(yī)療領域,它可以用于打印人體模型,幫助醫(yī)生進行手術(shù)模擬和培訓。在航空航天領域,它可以用于打印輕量化零部件,提高飛機的燃油效率。在汽車制造領域,它可以用于打印汽車零部件,加快汽車的研發(fā)和生產(chǎn)速度。在建筑領域,它可以用于打印建筑模型,提高設計效率和減少成本??査刽敹蚋呔入p光子聚合無掩光刻