陜西桌面無掩模光刻機讓你隨意進行納米圖案化

來源: 發(fā)布時間:2025-08-04

Polos系列通過無掩模技術減少化學廢料產生,同時低能耗設計(如固態(tài)激光光源)符合綠色實驗室標準。例如,其光源系統(tǒng)較傳統(tǒng)DUV光刻機能耗降低30%,助力科研機構實現碳中和目標。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領域。該系統(tǒng)的經濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。微流體領域:支持 1-100μm 微通道定制,助力organ芯片血管網絡precise建模。陜西桌面無掩模光刻機讓你隨意進行納米圖案化

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Polos-BESM在電子器件原型開發(fā)中展現高效性。例如,其軟件支持GDS文件直接導入,多層曝光疊加功能簡化了射頻器件(如IDC電容器)的制造流程。研究團隊利用同類設備成功制備了高頻電路元件,驗證了其在5G通信和物聯網硬件中的潛力。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優(yōu)勢。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優(yōu)勢。安徽POLOSBEAM光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米亞微米級精度:0.8 μmmost小線寬,支持高精度微流體芯片與MEMS器件制造。

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在organ芯片研究中,模擬人體organ微環(huán)境需要微米級精度的三維結構。德國 Polos 光刻機憑借無掩模激光光刻技術,幫助科研團隊在 PDMS 材料上構建出仿生血管網絡與組織界面。某再生醫(yī)學實驗室使用 Polos 光刻機,成功制備出肝芯片微通道,其內皮細胞黏附率較傳統(tǒng)方法提升 40%,且可通過軟件實時調整通道曲率,precise模擬肝臟血流動力學。該技術縮短了organ芯片的研發(fā)周期,為藥物肝毒性測試提供了更真實的體外模型,相關成果入選《自然?生物技術》年度創(chuàng)新技術案例。

某材料實驗室利用 Polos 光刻機的亞微米級圖案化能力,在鋁合金表面制備出仿荷葉結構的超疏水涂層。其激光直寫技術在 20μm 間距的微柱陣列上疊加 500nm 的納米脊,使材料表面接觸角達 165°,滾動角小于 3°。該涂層在海水環(huán)境中浸泡 30 天后,防腐蝕性能較未處理表面提升 10 倍。其靈活的圖案編輯功能還支持在同一樣品上實現超疏水與超親水區(qū)域的任意組合,被用于微流控芯片的液滴定向輸運,液滴驅動電壓降低至傳統(tǒng)方法的 1/3。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領域。該系統(tǒng)的經濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。德國 SPS Polos:深耕微納加工 35 年,專注半導體與生命科學領域,全球布局 6 大技術中心,服務 500 + 科研機構。

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Polos光刻機在微機械加工中表現outstanding。其亞微米分辨率可制造80 μm直徑的開環(huán)諧振器和2 μm叉指電極,適用于傳感器與執(zhí)行器開發(fā)。結合雙光子聚合技術(如Nanoscribe系統(tǒng)),用戶還能擴展至3D微納結構打印,為微型機器人及光學元件提供多尺度制造方案。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優(yōu)勢。POLOS μ 光刻機:桌面級設計,2-23μm 可調分辨率,兼容 4 英寸晶圓,微機電系統(tǒng)加工誤差 < 5μm。黑龍江德國桌面無掩模光刻機分辨率1.5微米

柔性電子:曲面 OLED 驅動電路漏電降 70%,彎曲半徑達 1mm,適配可穿戴設備。陜西桌面無掩模光刻機讓你隨意進行納米圖案化

德國 Polos 光刻機系列是電子學領域不可或缺的精密設備。其無掩模激光光刻技術,讓電路圖案曝光不再受限于掩模,能夠實現超高精度的圖案繪制。在芯片研發(fā)過程中,Polos 光刻機可precise刻畫出納米級別的電路結構,為芯片性能提升奠定基礎。? 科研團隊使用 Polos 光刻機,成功開發(fā)出更高效的集成電路,降低芯片能耗,提高運算速度。而且,該光刻機可輕松輸入任意圖案,滿足不同電子元件的多樣化設計需求。無論是新型傳感器的電路制作,還是微型處理器的研發(fā),Polos 光刻機都能以高精度、低成本的優(yōu)勢,為電子學領域的科研成果產出提供有力保障,推動電子技術不斷創(chuàng)新。陜西桌面無掩模光刻機讓你隨意進行納米圖案化