旋片泵的旋片把轉(zhuǎn)子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分。當(dāng)轉(zhuǎn)子按箭頭方向旋轉(zhuǎn)時,與吸氣口相通的空間A的容積逐漸增大,正處于吸氣過程;而與排氣口相通的空間C的容積逐漸縮小,正處于排氣過程;居中的空間B的容積也逐漸減小,正處于壓縮過程。由于空間A的容積逐漸增大(即膨脹),氣體壓強(qiáng)降低,泵的入口處外部氣體壓強(qiáng)大于空間A內(nèi)的壓強(qiáng),因此將氣體吸入。當(dāng)空間A與吸氣口隔絕時,即轉(zhuǎn)至空間B的位置,氣體開始被壓縮,容積逐漸縮小,***與排氣口相通。當(dāng)被壓縮氣體超過排氣壓強(qiáng)時,排氣閥被壓縮氣體推開,氣體穿過油箱內(nèi)的油層排至大氣中。如果排出的氣體通過氣道而轉(zhuǎn)入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。電容真空計的校準(zhǔn)通常需要使用已知真空度的標(biāo)準(zhǔn)真空源或真空計進(jìn)行比對。天津大氣壓真空計公司
陶瓷薄膜真空計應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造:用于工藝過程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜:確保鍍膜質(zhì)量??蒲袑嶒灒河糜诟呔日婵諟y量。醫(yī)療設(shè)備:如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點優(yōu)點:高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環(huán)境要求嚴(yán)格。維護(hù)與保養(yǎng)定期校準(zhǔn)以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機(jī)械沖擊和振動??偨Y(jié)陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩(wěn)定性,在多個領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,盡管成本較高,但其性能優(yōu)勢明顯。高質(zhì)量真空計設(shè)備公司真空計使用過程中需要注意的事項?
真空計的特點7.多種信號輸出模擬信號:如4-20mA、0-10V,便于與控制系統(tǒng)連接。數(shù)字信號:如RS485、Modbus,支持?jǐn)?shù)字化管理和遠(yuǎn)程監(jiān)控。8.可靠性與穩(wěn)定性長期穩(wěn)定:高質(zhì)量真空計具有長期穩(wěn)定性,減少校準(zhǔn)頻率??垢蓴_:在復(fù)雜環(huán)境中,真空計能抵抗電磁干擾和其他干擾因素。9.成本效益經(jīng)濟(jì)實惠:部分真空計成本較低,適合預(yù)算有限的應(yīng)用。長期成本低:低維護(hù)和校準(zhǔn)需求,降低長期使用成本。10.廣泛應(yīng)用工業(yè)應(yīng)用:如半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、真空爐等??蒲袑嶒灒喝绺吣芪锢?、材料科學(xué)、空間模擬等。日常生活:如真空包裝、醫(yī)療設(shè)備等??偨Y(jié)真空計具有寬量程、高精度、快速響應(yīng)、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、多種測量原理、易于安裝與維護(hù)、多種信號輸出、高可靠性、成本效益高和廣泛應(yīng)用等特點。這些特點使其在工業(yè)、科研和日常生活中發(fā)揮重要作用。
真空計是用于測量真空系統(tǒng)中壓力的儀器,具有多種特點,使其在不同應(yīng)用中表現(xiàn)出色。以下是真空計的主要特點:1. 寬量程適用:真空計可覆蓋從低真空到超高真空的范圍(如10^-1 Pa到10^-10 Pa)。多類型選擇:不同類型的真空計適用于不同的壓力范圍。2. 高精度精確測量:現(xiàn)代真空計具有高精度,能提供準(zhǔn)確的真空度測量。高分辨率:能夠檢測到微小的壓力變化。3. 快速響應(yīng)實時監(jiān)測:真空計對壓力變化反應(yīng)迅速,適合需要實時監(jiān)測的應(yīng)用。動態(tài)測量:在快速變化的環(huán)境中,真空計能提供穩(wěn)定的測量結(jié)果。4. 環(huán)境適應(yīng)性耐高溫:部分真空計能在高溫環(huán)境下穩(wěn)定工作。耐腐蝕:適用于腐蝕性氣體環(huán)境,選擇耐腐蝕材料制成的真空計??刮廴荆涸谖廴練怏w環(huán)境中,部分真空計具有抗污染能力。5. 多種測量原理熱傳導(dǎo):如皮拉尼真空計,基于氣體熱傳導(dǎo)變化測量壓力。電離:如電離真空計,通過測量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來確定壓力。電容:如電容式真空計,通過測量電容變化來確定壓力。6. 易于安裝與維護(hù)多種安裝方式:提供法蘭連接、螺紋連接等多種安裝方式,適應(yīng)不同系統(tǒng)需求。易于維護(hù):設(shè)計簡單,易于清潔和維護(hù),部分真空計具有自校準(zhǔn)功能。什么是真空測量?真空如何測量?
真空計與氣體脫附效應(yīng)材料放氣(如橡膠釋出H?O)會導(dǎo)致測量值虛高。解決措施:① 選用低放氣材料(Viton替代橡膠);② 烘烤(150℃可加速脫附);③ 分離測量(將規(guī)管安裝在抽氣口遠(yuǎn)端)。超高真空系統(tǒng)放氣率需<10?1? Pa·m3/s·cm2。18. 真空計的電磁兼容性電離規(guī)的高壓電源(2 kV)可能輻射EMI,需屏蔽層≥60 dB。MEMS規(guī)對RF場敏感,5 GHz Wi-Fi可能導(dǎo)致±5%讀數(shù)偏移。航天級真空計需通過MIL-STD-461G標(biāo)準(zhǔn)測試。
測量兩個腔室壓差,量程1~10?? Pa,精度±0.1%。應(yīng)用包括檢漏儀(氦質(zhì)譜儀參考端壓力監(jiān)控)和分子泵前級壓力控制。硅諧振式傳感器(如橫河EJA系列)溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1%FS/年。 真空計使用時應(yīng)該注意什么?重慶金屬真空計供應(yīng)商
哪些行業(yè)會使用到真空計?天津大氣壓真空計公司
電容薄膜真空計:屬彈性元件真空計,其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室,即參考壓強(qiáng)室和測量室。測量低壓強(qiáng)(P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強(qiáng)近似為零。當(dāng)測量室壓強(qiáng)不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應(yīng)改變,通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強(qiáng)值。電容薄膜真空計可直接測量氣體或蒸氣的壓強(qiáng),測量值與氣體種類無關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤,如對不同壓強(qiáng)范圍采用不同規(guī)頭,可得到較高精度。它可用于高純氣體監(jiān)測、低真空精密測量和壓強(qiáng)控制,也可用作低真空測量的副標(biāo)準(zhǔn)。天津大氣壓真空計公司