晶圓運送機械吸臂的高速度和高精度,能夠滿足封裝和測試過程中對運輸速度和精度的要求。光刻和薄膜沉積:在光刻和薄膜沉積過程中,晶圓運送機械吸臂被用于將晶圓從一個工序轉(zhuǎn)移到另一個工序。它能夠?qū)⒕A準確地吸附在機械臂上,并將其運送到光刻機或薄膜沉積設(shè)備上,以完成后續(xù)的光刻和薄膜沉積工作。晶圓運送機械吸臂的高精度和穩(wěn)定性能,能夠確保光刻和薄膜沉積過程中的精確定位和穩(wěn)定運輸。
晶圓運送機械吸臂在半導(dǎo)體行業(yè)中扮演著重要的角色。它的應(yīng)用范圍廣,能夠滿足不同工序的晶圓運輸需求。晶圓運送機械吸臂的高精度、高速度和穩(wěn)定性能,能夠提高生產(chǎn)效率,保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的不斷發(fā)展,晶圓運送機械吸臂的應(yīng)用前景將更加廣闊。 所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。南京庫存晶圓運送機械吸臂企業(yè)
例如:尋找,運輸,握取,對準,裝配,檢驗等動作. 為了明確地描述工業(yè)機械人,美國機械人協(xié)會在1979年將機械人定義為一個可用程式控制,多功能的操作器,它透過程式控制和多變化的動作設(shè)計來移動材料,工件,工具或特別設(shè)備,以完成一連串的工作.所以,雖然許多工業(yè)機械人并非有人的形態(tài),但只要它們符合機械人的定義,便可以稱為機械人.工業(yè)機械人雖然已被廣泛應(yīng)用在多種制造行業(yè)內(nèi),但估計在不久將來還會有數(shù)以十萬計的工業(yè)機械人投入服務(wù).現(xiàn)時,不少研究人員正為機械人研究如何加入視覺和感覺,令機械人可以完成更復(fù)雜的工作.而研究機械人的學(xué)問稱為機械人學(xué)。汕尾新款晶圓運送機械吸臂批發(fā)吸臂材質(zhì)優(yōu),具有良好的耐腐蝕性和耐磨性。
晶圓運送機械吸臂的應(yīng)用非常廣,主要包括以下幾個方面:晶圓生產(chǎn)線:在晶圓生產(chǎn)線上,晶圓運送機械吸臂被廣泛應(yīng)用于晶圓的裝載和卸載過程。它能夠?qū)⒕A從載體上吸附起來,并將其準確地運送到目標位置,以完成各種工序,如清洗、切割、涂覆等。晶圓運送機械吸臂的高精度和穩(wěn)定性能,能夠確保晶圓在整個生產(chǎn)過程中的安全和穩(wěn)定運輸。半導(dǎo)體封裝和測試:在半導(dǎo)體封裝和測試過程中,晶圓運送機械吸臂被用于將封裝好的芯片從一個工序轉(zhuǎn)移到另一個工序。它能夠?qū)⑿酒瑴蚀_地吸附在機械臂上,并將其運送到封裝或測試設(shè)備上,以完成后續(xù)的封裝和測試工作。
進行光刻:
將設(shè)計好的電路掩模,置于光刻機的紫外射線下,然后再在它的下面放置Wafer,這一刻,Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,刻上了電路圖。然后將光刻膠去除,光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經(jīng)過多次光刻。而隨著技術(shù)革新,極紫光刻出現(xiàn)了,現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高,甚至于可以達到光刻一次完成。
注射:
在真空下,將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。 普遍認為機械臂是實現(xiàn)智能制造的很好的載體,可以實現(xiàn)五軸數(shù)控無法實現(xiàn)的大操作空間與靈活性。
一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,其特征在于,包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺;設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形,所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段;位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺,所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型,所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi);在垂直于所述手臂的方向上,所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出;所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。南京庫存晶圓運送機械吸臂企業(yè)
機器人機械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮。南京庫存晶圓運送機械吸臂企業(yè)
可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。
單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。
適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測設(shè)備等的晶圓搬運。
機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應(yīng)2個FOUP(210mm臂長)
或者3個FOUP(280mm臂長)雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化
能夠高速,高精度地搬運半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 南京庫存晶圓運送機械吸臂企業(yè)
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